韓國DK-LOK手動隔膜閥半導(dǎo)體氣柜主路閥

二通直通一體式鍛造閥體，兩端為光管對焊式接口（無外螺紋，直接對接潔凈不銹鋼管路焊接），方體一體化不銹鋼閥體結(jié)構(gòu)，剛性、抗形變。

頂部為深綠色防滑手動操作手輪，頂面帶 OPEN/CLOSE 開閉狀態(tài)刻度標(biāo)識與位置指針，閥門行程可視化，可精準(zhǔn)判斷開閉程度，無需額外工具手動旋擰操作。

閥體本體激光刻印 DK-LOK 品牌、316L 材質(zhì)、潔凈等級、產(chǎn)品溯源編號。

內(nèi)部核心結(jié)構(gòu)

原廠高純軟密封隔膜閥核心結(jié)構(gòu)：無填料函閥桿結(jié)構(gòu)、無外露泄漏點，杜絕外界雜質(zhì)滲入、管路氣體外漏；內(nèi)部流線型低死區(qū)流道設(shè)計，無氣體滯留死角，氣體置換 適配半導(dǎo)體超高純氣體嚴(yán)苛潔凈要求。

內(nèi)部閥桿驅(qū)動結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，手動旋擰行程精準(zhǔn)可控，兼顧全開、微調(diào)節(jié)流、全關(guān)鎖閉多檔位精準(zhǔn)控制。

韓國DK-LOK手動隔膜閥半導(dǎo)體氣柜主路閥工作原理

純手動機(jī)械驅(qū)動閥門，無電動 / 氣動外接驅(qū)動，依靠人工旋動手輪實現(xiàn)全行程精準(zhǔn)控制：

逆時針旋松手輪：閥桿抬升，帶動高純隔膜片回彈抬起，內(nèi)部流道貫通，管路介質(zhì)順暢導(dǎo)通；

順時針旋緊手輪：閥桿下壓隔膜片，緊密貼合密封閥座，實現(xiàn)零氣泡級氣密關(guān)斷，阻斷管路氣路；

可實現(xiàn)中間行程微調(diào)節(jié)流控制，精準(zhǔn)調(diào)控管路氣體流量，手輪自帶行程刻度，操作位置可精準(zhǔn)復(fù)現(xiàn)。

五、原廠完整技術(shù)參數(shù)

閥體材質(zhì)：一體精密鍛造 316L 不銹鋼，結(jié)構(gòu)強(qiáng)度高，抗應(yīng)力腐蝕、抗高壓形變、耐機(jī)械沖擊性能優(yōu)異。

潔凈處理等級：全閥體EP 級電解拋光，內(nèi)壁粗糙度 Ra≤0.6μm，原廠超純水潔凈清洗、百級潔凈車間組裝、全流程氦檢氣密測試、真空潔凈獨立封裝，滿足半導(dǎo)體 6N（99.9999%）及以上超高純氣體標(biāo)準(zhǔn)，無顆粒析出、無氣體吸附、無二次管路污染。

隔膜密封材質(zhì)：高純 PCTFE（三氟氯乙烯） 專用隔膜，耐絕大多數(shù)半導(dǎo)體腐蝕性特種工藝氣體（含氟蝕刻氣、MO 源金屬有機(jī)前驅(qū)體、酸性工藝氣體），耐高低溫、抗老化，百萬次啟閉密封性能不衰減，長期使用無泄漏。

內(nèi)部閥桿彈簧：Elgiloy 鈷基合金耐腐蝕彈簧，彈力恒定無疲勞衰減，啟閉壽命長。

壓力等級：最高工作耐壓 6000 psig（413bar），覆蓋半導(dǎo)體中大管徑主氣路全高低壓工況。

工作溫度范圍：-40℃ ~ +200℃，寬溫域適配低溫氣源、高溫工藝管路全場景環(huán)境。

接口規(guī)格：25mm 外徑光管對焊接口，專為中大管徑 BA/EP 級潔凈不銹鋼管路焊接設(shè)計，焊接對接密封性強(qiáng)、流道銜接順滑無臺階。

密封性能：零氣泡級氣密關(guān)斷，無內(nèi)泄、無外漏，保障高危特氣系統(tǒng)運行安全。