韓國DK-LOK半導體主氣路控制閥整體結(jié)構(gòu)

產(chǎn)品由強化型方體閥體+頂部全密封氣動執(zhí)行器兩部分組成，通體 316L 不銹鋼精密鍛造一體結(jié)構(gòu)，兩端為標準高純外螺紋直通接口，閥體本體激光刻印品牌、材質(zhì)、潔凈等級、產(chǎn)品溯源編號。

頂部氣動執(zhí)行器全封閉外殼，頂面印有 N.C.（Normal Close 常閉型） 狀態(tài)標識，是半導體氣路通用安全型氣動閥默認規(guī)格，斷電 / 斷氣源默認保持關閉，滿足產(chǎn)線安全規(guī)范。

內(nèi)部核心結(jié)構(gòu)

內(nèi)部為高純軟密封隔膜式閥芯結(jié)構(gòu)，在基礎 PVBC 閥體基礎上，專屬優(yōu)化大口徑流線型內(nèi)腔流道，擴大有效流通通徑；內(nèi)部依舊為無填料函結(jié)構(gòu)、無閥桿外露泄漏點，低死區(qū)腔體設計，無氣體滯留死角。

內(nèi)部隔膜、彈簧、密封件全部采用強化耐腐高純材質(zhì)，適配高危腐蝕性特種工藝氣體。

韓國DK-LOK半導體主氣路控制閥工作原理

氣動驅(qū)動全自動控制閥門，無需人工現(xiàn)場操作，適配半導體自動化產(chǎn)線閉環(huán)控制：

常閉基準狀態(tài)（N.C.）：無外接驅(qū)動氣源時，執(zhí)行器內(nèi)部預緊彈簧推力下壓隔膜，緊密貼合閥座，閥門默認關斷，管路氣密鎖閉，從源頭保障特氣系統(tǒng)安全。

正向?qū)ǎ和ㄈ霕藴黍?qū)動潔凈氣源，氣壓推力克服內(nèi)部彈簧力，抬起隔膜閥芯，閥體大流通流道敞開，管路介質(zhì)順暢導通。

安全關斷：斷開驅(qū)動氣源、氣源泄壓 / 產(chǎn)線緊急斷電時，彈簧自動復位下壓隔膜，閥門瞬間嚴密關斷，自帶ESD 緊急切斷安全功能。

閥門開關全程無內(nèi)泄、無外漏，機械結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，開關行程一致性高，可適配 PLC 系統(tǒng)遠程自動化控制、聯(lián)鎖保護。

五、原廠完整技術參數(shù)

閥體材質(zhì)：一體精密鍛造 316L 不銹鋼，結(jié)構(gòu)強度高，抗應力腐蝕、抗高壓形變性能優(yōu)異。

潔凈處理等級：全閥體EP 級電解拋光，內(nèi)壁粗糙度 Ra≤0.6μm，原廠超純水潔凈清洗、百級潔凈車間組裝、全流程氦檢氣密測試、真空潔凈獨立封裝，半導體 6N（99.9999%）及以上超高純氣體輸送標準。

隔膜密封材質(zhì)：高純 PCTFE（三氟氯乙烯） 特種隔膜，耐絕大多數(shù)半導體腐蝕性特氣（含氟蝕刻氣、MO 源金屬有機前驅(qū)體、酸性工藝氣體），耐高低溫、抗老化，百萬次啟閉密封性能無衰減。

內(nèi)部彈簧材質(zhì)：Elgiloy 鈷基合金耐腐蝕彈簧，彈力恒定無疲勞衰減，長期啟閉動作穩(wěn)定。

壓力等級：最高工作耐壓 6000 psig（413bar），覆蓋半導體特氣系統(tǒng)全高低壓工況。

工作溫度范圍：-40℃ ~ +200℃，寬溫域全場景適配。

核心升級（HF 高流量特性）：相比基礎 PVBC，有效流通通徑提升，內(nèi)部流道阻力大幅降低，同等壓差下氣體流量顯著提升，適合大流量工藝氣路供氣場景。

適配口徑：覆蓋半導體常用 1/4"、3/8"、1/2" 中大口徑管路規(guī)格。

接口形式：標準高純外螺紋接口，可直接轉(zhuǎn)接 VCR 接頭、雙卡套接頭、對焊管路，適配集成氣柜、特氣面板、機臺主氣路全場景對接。

驅(qū)動氣源：半導體車間通用潔凈干燥壓縮空氣，標準驅(qū)動壓力 0.4~0.6MPa。