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什么是光刻膠模具？
光刻膠模具是使用光刻膠（一種感光樹脂）制成的微制造模具。
光刻膠是一種樹脂，其性質(zhì)在暴露于光線下會因化學(xué)反應(yīng)而發(fā)生變化，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和電子基板的制造中。 在光刻膠模具中，光線通過光罩設(shè)計照射到施加在基底上的光刻膠上，多余的部分通過顯影過程溶解和去除。 剩余的光刻膠形成墻狀結(jié)構(gòu)，形成帶有細(xì)槽和孔洞的模具。
通過電鍍將金屬沉積到成型模具的凹槽中，可以制造出反映模具形狀的細(xì)金屬結(jié)構(gòu)。 由于能夠利用光刻的加工精度，其特點(diǎn)是能夠形成難以加工的細(xì)微圖案，且具有高度重復(fù)性的切割工藝。
光刻膠模具的應(yīng)用
光刻膠模具用于以下目的：
1. 微機(jī)電系統(tǒng)組件
在加速度計和陀螺傳感器等微機(jī)機(jī)系統(tǒng)組件中，微觀微觀結(jié)構(gòu)影響操作精度。 光刻膠模具的加工使得復(fù)雜形狀的金屬能夠以高尺寸精度生產(chǎn)。 由于光刻過程中圖案可以批量成型，即使批量生產(chǎn)相同結(jié)構(gòu)，也很容易將質(zhì)量差異降到最d低。
2. 電子元件與半導(dǎo)體封裝
利用光刻膠模具的電鍍工藝也用于半導(dǎo)體封裝內(nèi)的精細(xì)連接端子。 通過將銅和金等金屬鍍在基底上形成的光刻膠模具上，可以高精度地放置細(xì)電極。 隨著半導(dǎo)體日益集成，端子間距持續(xù)縮小，能夠高精度成型的光刻膠技術(shù)發(fā)揮著關(guān)鍵作用。
3. 微流路徑裝置
它還被用于制造醫(yī)療和化學(xué)分析領(lǐng)域的微流裝置。 用光刻膠在基板上形成流道壁，并在其上粘接蓋子以形成細(xì)密的流路結(jié)構(gòu)。 由于流路寬度和深度會影響分析的準(zhǔn)確性，因此該應(yīng)用需要通過光刻進(jìn)行高精度處理。
