山本鍍金 電鍍?cè)O(shè)備 攪拌槳葉裝置轉(zhuǎn)速控

A-52-ST-P04D 往復(fù)槳式攪拌裝置，平行晶圓往復(fù)擾動(dòng)更新表面鍍液，削弱濃差極化、優(yōu)化微孔離子補(bǔ)給，提升整片晶圓鍍層均勻性，A-52 旋轉(zhuǎn)電鍍系統(tǒng)標(biāo)配流場(chǎng)強(qiáng)化配件。

山本鍍金 電鍍?cè)O(shè)備 攪拌槳葉裝置轉(zhuǎn)速控

單面 / 雙面電鍍雙構(gòu)型可選

單面款匹配 P02B/P02C 密封陰極盒；雙面款適配 P02A 敞開(kāi)式陰極卡匣，一套機(jī)構(gòu)兼容兩類(lèi)電鍍模式選型。

耐蝕防腐槳葉材質(zhì)

槳桿、槳葉采用 PEEK/PTFE 耐酸堿材質(zhì)，長(zhǎng)期浸泡各類(lèi)酸性、堿性電鍍藥液不腐蝕、不變形，適配常規(guī)電鍍恒溫工況。

原廠模塊化無(wú)縫裝配

對(duì)位 A-52-ST 全系列槽體開(kāi)孔，直接原位安裝替換，原有陽(yáng)極架、循環(huán)過(guò)濾、溫控、液位組件全部兼容，無(wú)需改制加工。

抑制氣泡減少鍍層瑕疵

動(dòng)態(tài)擺動(dòng)剝離晶圓表面析氫氣泡，杜絕針孔、麻點(diǎn)、局部漏鍍，提升高深寬比結(jié)構(gòu)填充飽滿度與良率。

運(yùn)行穩(wěn)定重復(fù)性優(yōu)異

擺動(dòng)勻速平穩(wěn)、流場(chǎng)一致性可控，多批次平行電鍍?cè)囼?yàn)數(shù)據(jù)偏差小，滿足工藝定型、論文數(shù)據(jù)溯源要求。

安全合規(guī)防護(hù)配置

整機(jī)滿足 IEC61010、EN61326 安規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，可選配 PVC 外殼防濺防護(hù)板，防止電鍍液飛濺，實(shí)驗(yàn)室操作安全性更高。