山本鍍金 電鍍?cè)O(shè)備 電源 低紋波 

山本 A-57-15031WA 微安級(jí)超精密程控電鍍電源，DC0~15V/0~3A 超高分辨率輸出，內(nèi)置一體式 1kW 溫控，支持電腦聯(lián)機(jī)數(shù)據(jù)采集仿真，專為 2~4 英寸小尺寸晶圓、MEMS 微結(jié)構(gòu)超薄貴金屬精密電鍍研發(fā)設(shè)計(jì)。

山本鍍金 電鍍?cè)O(shè)備 電源 低紋波 

核心產(chǎn)品特點(diǎn)

微安級(jí)超高精微調(diào)節(jié)（差異化核心）

極小電流調(diào)節(jié)細(xì)膩可控，適配納米級(jí)超薄鍍層、微量鍍金 / 鈀、高深寬比 TSV 微孔填充，抑制微小電流波動(dòng)帶來(lái)的膜厚偏差，面內(nèi)膜厚均勻性控制能力行業(yè)。

恒壓 / 恒流分段程控工藝

機(jī)身本地多段階梯編程，可設(shè)定定時(shí)停機(jī)、累計(jì)庫(kù)侖電量截止，自動(dòng)完成打底、填孔、增厚多步驟電鍍流程，實(shí)驗(yàn)重復(fù)性、數(shù)據(jù)溯源性。

機(jī)身集成一體式 1kW 溫控驅(qū)動(dòng)

無(wú)需額外搭配 B-93 獨(dú)立溫控主機(jī)，直接驅(qū)動(dòng)原廠防腐加熱棒；可外接 A-60 液位傳感器，實(shí)現(xiàn)低液位自動(dòng)斷電防干燒聯(lián)鎖保護(hù)，簡(jiǎn)化操作臺(tái)布線。

電腦聯(lián)機(jī) + 電鍍仿真分析系統(tǒng)

配套專屬 Plate Laboratory 軟件，可遠(yuǎn)程啟?？刂啤⑷屉妷弘娏髑€實(shí)時(shí)記錄、鍍層厚度預(yù)判仿真、工藝配方存儲(chǔ)導(dǎo)出，適配論文數(shù)據(jù)歸檔、工藝定型驗(yàn)證。

三語(yǔ)言液晶交互界面

大屏雙顯實(shí)時(shí)查看設(shè)定值、實(shí)際輸出值，支持中文 / 日文 / 英文切換，旋鈕 + 按鍵復(fù)合微調(diào)，小電流精細(xì)調(diào)校便捷，國(guó)內(nèi)實(shí)驗(yàn)室上手簡(jiǎn)單。

低紋波線性輸出電路

小電流輸出脈動(dòng)極小，弱化濃差極化擾動(dòng)，大幅改善盲孔、微孔藥液置換效果，解決高深孔電鍍空洞、填充不飽滿缺陷。

原廠全系統(tǒng)模塊化兼容

無(wú)縫匹配 A-52 全系陰極卡匣、陽(yáng)極夾具、減壓預(yù)處理槽、擺動(dòng)對(duì)流機(jī)構(gòu)、A-53 微型槽、A-56 智能燒杯槽，整套接線即可聯(lián)動(dòng)運(yùn)行，無(wú)需改制適配。