HEIDENHAIN敞開式光柵尺LIC4100技術(shù)參數(shù)

時(shí)間：2026/6/4閱讀：16

HEIDENHAIN敞開式光柵尺LIC4100技術(shù)參數(shù)

參數(shù)類別	具體數(shù)值
測(cè)量類型	絕對(duì)式位置測(cè)量
測(cè)量基準(zhǔn)	METALLUR 相位光柵，20μm 周期，4μm 信號(hào)周期
尺身材質(zhì)選項(xiàng)	玻璃（8×10??K?1）、玻璃陶瓷（0×10??K?1）、不銹鋼鋼帶（11.5×10??K?1）
精度等級(jí)	±1μm/m、±2μm/m、±3μm/m
測(cè)量長(zhǎng)度范圍	100mm~28000mm（100mm~3040mm 玻璃 / 玻璃陶瓷，最長(zhǎng) 28m 鋼帶）
最大速度	480m/min (8m/s)
最小測(cè)量步距	<1nm（EnDat 2.2 接口，高倍插值）
輸出信號(hào)	絕對(duì)位置信號(hào)（EnDat 2.2、Fanuc、Mitsubishi、Panasonic、Yaskawa）
參考點(diǎn)	絕對(duì)位置天然參考，無需額外參考點(diǎn)
防護(hù)等級(jí)	敞開式設(shè)計(jì)，掃描頭 IP 64
工作溫度	0°C~40°C（標(biāo)準(zhǔn)），真空型支持 - 20°C~60°C
電源	3.6V~14V DC，<300mA
掃描頭尺寸	緊湊型設(shè)計(jì)，高度 25mm，寬度 35mm
安裝方式	四種機(jī)械安裝方式可選，適配不同熱膨脹需求

HEIDENHAIN敞開式光柵尺LIC4100技術(shù)參數(shù)

典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體與電子制造：晶圓加工設(shè)備、光刻機(jī)、電子束 / 離子束設(shè)備、PCB 組裝機(jī)等納米級(jí)對(duì)位精度要求設(shè)備
超精密機(jī)床：金剛石刀具加工光學(xué)器件機(jī)床、磁盤端面車床、鐵氧體元件磨床等高精度加工設(shè)備
直驅(qū)電機(jī)系統(tǒng)：直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的高速定位平臺(tái)、自動(dòng)化生產(chǎn)線、機(jī)器人第七軸等高動(dòng)態(tài)應(yīng)用
真空環(huán)境設(shè)備：真空鍍膜機(jī)、半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備、太空模擬實(shí)驗(yàn)室等特殊環(huán)境應(yīng)用
測(cè)量與測(cè)試設(shè)備：高精度坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、比較儀、測(cè)量顯微鏡、大型結(jié)構(gòu)件疲勞測(cè)試設(shè)備
醫(yī)療與科研儀器：精密醫(yī)療設(shè)備、生物芯片制造設(shè)備、粒子加速器定位系統(tǒng)等科研應(yīng)用

中文字幕少妇熟女,成人av一区二区在线,日本不卡在线视频播放,久久狠色av噜噜系列,老熟女六十路丰满,久久久久九九久久久久久久999,欧美亚洲另类在线日韩,亚洲日本高清一二三区,久久99人妻一区