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ULVAC（愛發(fā)科）CR30B 是 CR 系列 Ver.B 風(fēng)冷式多級(jí)羅茨干泵的主力機(jī)型，由高斯摩國際原裝供應(yīng)。它以無油潔凈、空冷免水、氣鎮(zhèn)耐濕、低維護(hù)長壽命四大核心優(yōu)勢，實(shí)現(xiàn) 30 m3/h 抽速與≤2 Pa 極限真空，精準(zhǔn)匹配半導(dǎo)體、光伏鍍膜、工業(yè)真空干燥等中高真空潔凈工藝需求，是工業(yè)干式真空系統(tǒng)的優(yōu)選核心設(shè)備。
一、核心工作原理：多級(jí)羅茨非接觸壓縮
CR30B 采用多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子串聯(lián)壓縮結(jié)構(gòu)，泵腔內(nèi)部無真空油，轉(zhuǎn)子與氣缸間維持微米級(jí)精密間隙，實(shí)現(xiàn)非接觸式運(yùn)轉(zhuǎn)。
氣體由吸氣口進(jìn)入，經(jīng)各級(jí)羅茨腔逐步壓縮，最終從排氣口排出，壓縮比高且過程無機(jī)械磨損。
無油設(shè)計(jì)消除油蒸汽返流風(fēng)險(xiǎn)，從源頭保障真空腔室與工藝介質(zhì)的潔凈度，適配高精度潔凈工藝。
非接觸運(yùn)轉(zhuǎn)無粉塵產(chǎn)生、無部件磨損，年均性能漂移＜0.1%，長期運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng)，大幅延長設(shè)備使用壽命。
二、核心技術(shù)優(yōu)勢：四大壁壘，適配嚴(yán)苛工況
1. 無油潔凈，杜絕污染
泵腔零真空油設(shè)計(jì)，無油蒸汽返流，適配半導(dǎo)體濺射 / 蒸發(fā)、光學(xué)鍍膜、真空退火等高潔凈度要求工藝。
轉(zhuǎn)子與氣缸非接觸運(yùn)轉(zhuǎn)，無機(jī)械摩擦、無粉塵生成，避免工藝污染，提升產(chǎn)品良率。
2. 空冷節(jié)能，免水免維護(hù)
強(qiáng)制風(fēng)冷設(shè)計(jì)：無需冷卻水、無需氮?dú)獯祾撸喕F(xiàn)場管路布局，降低基建與運(yùn)維成本 30%+。
標(biāo)配DC 密封電機(jī)：1.5 kW 低功耗，高效節(jié)能、氣密性強(qiáng)、輕量化設(shè)計(jì)，運(yùn)行噪音低至約 65 dB，適配車間長期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
3. 標(biāo)配氣鎮(zhèn)，耐水汽工況
內(nèi)置氣鎮(zhèn)（Gas Ballast）機(jī)構(gòu)，可安全抽除水蒸氣，最大水蒸氣處理量＜500 g/h，適配真空干燥、溶劑回收、冷凍干燥等含水工況。
泵腔材質(zhì)適配潔凈氣體與弱腐蝕性介質(zhì)，抗腐蝕、穩(wěn)定性強(qiáng)，拓展工況適配范圍。
4. 緊湊可靠，安裝靈活
整機(jī)僅48 kg，尺寸約 521×240×244 mm，體積小巧，支持落地 / 機(jī)架 / 壁掛多方式安裝，便于設(shè)備集成與現(xiàn)場布局。
符合CE、cTUVus 國際認(rèn)證，防護(hù)等級(jí)可選 IP54，適配全球工業(yè)安全標(biāo)準(zhǔn)，運(yùn)行安全可靠。
三、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)（CR30B）
表格
| 參數(shù)項(xiàng) | 規(guī)格數(shù)值 |
|---|---|
| 最大抽速 | 30 m3/h（500 L/min） |
| 極限真空 | ≤2×10?2 mbar（≈2 Pa，無氣鎮(zhèn)） |
| 電機(jī)功率 / 電源 | 1.5 kW / 三相 200V |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制空冷（無水、無氮?dú)猓?/td> |
| 氣鎮(zhèn)功能 | 標(biāo)配，最大耐水蒸氣流率＜500 g/h |
| 吸氣口 / 排氣口 | KF40 真空法蘭 |
| 重量 | 48 kg |
| 尺寸 | 約 521×240×244 mm |
| 認(rèn)證 | CE、cTUVus（IP54 可選） |
| 適用氣體 | 空氣、惰性氣體、水蒸氣（氣鎮(zhèn)模式） |
四、典型應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體 / 電子制造
濺射、蒸發(fā)、PVD/CVD 鍍膜設(shè)備配套，提供潔凈中高真空環(huán)境。
真空排氣臺(tái)、晶圓制程真空控制，保障工藝穩(wěn)定性與產(chǎn)品良率。
2. 光伏 / 光學(xué)鍍膜
真空鍍膜機(jī)（AR/AF 膜、金屬膜）、真空爐、真空退火設(shè)備，適配精密鍍膜與熱處理工藝。
3. 工業(yè)制造
真空干燥、真空脫氣、溶劑回收、冷凍干燥，適配含水汽工況。
真空焊接、真空包裝、檢漏儀前級(jí)泵，保障真空度穩(wěn)定。
4. 科研 / 實(shí)驗(yàn)室
中高真空系統(tǒng)、分析儀器（質(zhì)譜 / 色譜）、環(huán)境模擬設(shè)備，適配精密實(shí)驗(yàn)真空需求。
五、選型參考（CR 系列 Ver.B）
表格
| 型號(hào) | 抽速 | 功率 | 重量 | 定位 |
|---|---|---|---|---|
| CR16B | 16 m3/h | 0.72 kW | 35 kg | 小流量緊湊型 |
| CR30B | 30 m3/h | 1.5 kW | 48 kg | 通用主力型（均衡抽速 / 真空 / 成本） |
| CR60B | 55 m3/h | 2.2 kW | 75 kg | 大流量型 |
六、高斯摩國際｜原裝正品?全鏈路服務(wù)
作為 ULVAC（愛發(fā)科）經(jīng)銷商，高斯摩國際為客戶提供：
? 日本原裝正品，CE/RoHS 認(rèn)證，可溯源，2 年質(zhì)保。
? 成都 / 深圳雙倉備貨，常規(guī)型號(hào)現(xiàn)貨直發(fā)，縮短交付周期。
? 免費(fèi)選型指導(dǎo)、安裝調(diào)試、技術(shù)培訓(xùn)，全流程技術(shù)支持。
? 售后維保服務(wù)，快速響應(yīng)，降低運(yùn)維成本，保障設(shè)備長效運(yùn)行。
