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一、工作原理:皮拉尼熱傳導(dǎo)真空測量技術(shù)
核心機制:燈絲通恒定電流加熱,真空腔體內(nèi)氣體分子碰撞燈絲帶走熱量;壓力越高(氣體分子越多),散熱越快,燈絲溫度與電阻越低。通過檢測燈絲電阻變化,換算為對應(yīng)真空壓力值。
補償設(shè)計:內(nèi)置溫度補償傳感器,抵消環(huán)境溫度波動對測量精度的影響,確保工業(yè)工況下穩(wěn)定性。
一體式架構(gòu):傳感單元(燈絲 + 傳感器)與控制單元(信號處理 / 輸出 / 通信)集成于 70×70×130mm 腔體,相比分體式真空計,節(jié)省 40% 安裝空間、降低布線復(fù)雜度、減少信號干擾。
二、核心技術(shù)升級:從可靠到智能的突破
1. 超寬量程覆蓋,一臺適配全場景
2. 鉑燈絲 + 不銹鋼本體,嚴(yán)苛工況高耐久
燈絲材質(zhì):采用高耐腐蝕鉑(Pt)燈絲,對比傳統(tǒng)鎢燈絲,耐氧化、耐水汽、耐腐蝕性氣體(如 H?S、Cl?)能力提升 3 倍,使用壽命長達(dá) 5 年 +,適配半導(dǎo)體刻蝕、光伏鍍膜等腐蝕性工況。
本體結(jié)構(gòu):SUS304 不銹鋼外殼,抗沖擊、抗振動(10~500Hz),耐受 - 10℃~60℃環(huán)境溫度,適配工業(yè)現(xiàn)場振動、溫差波動場景。
3. 智能互聯(lián):USB 直連,遠(yuǎn)程可控
遠(yuǎn)程參數(shù)設(shè)置(壓力閾值、校準(zhǔn)參數(shù))
實時數(shù)據(jù)讀取與歷史記錄導(dǎo)出
一鍵零點 / 大氣壓校準(zhǔn)(免拆機、免專業(yè)工具)
故障診斷與預(yù)警(燈絲老化、傳感器異常)
相比老款 SW1-N1(僅按鍵操作),調(diào)試效率提升 50%+,維護(hù)成本降低 60%。
4. 易維護(hù)設(shè)計:規(guī)管可單觸更換
模塊化規(guī)管:測量元件(規(guī)管)與主體分離,支持單觸快速更換,用戶無需專業(yè)工具,3 分鐘內(nèi)完成規(guī)管替換,無需整機返廠。
校準(zhǔn)便捷:支持一鍵零點校準(zhǔn)(5×10?2Pa 級)與大氣壓校準(zhǔn)(1×10?Pa),校準(zhǔn)后精度穩(wěn)定,減少定期校準(zhǔn)頻次。
三、核心性能參數(shù)(SW100N-A/R 對比)
| 參數(shù)項 | SW100N-A(模擬型) | SW100N-R(通信型) |
|---|---|---|
| 測量范圍(N?) | 5.0×10?2Pa~1.0×10?Pa | 5.0×10?2Pa~1.0×10?Pa |
| 測量精度 | 0.1~10?Pa:±10%;其余區(qū)間:±15% | 0.1~10?Pa:±10%;其余區(qū)間:±15% |
| 重復(fù)性 | ±2%(0.1~10?Pa) | ±2%(0.1~10?Pa) |
| 輸出信號 | 0–10V/4–20mA(可選)+2 點繼電器 | RS-232C/RS-485(波特率 9600/19200/38400bps) |
| 供電 | DC14–30V(常用 24V) | DC14–30V(常用 24V) |
| 接口規(guī)格 | NW16(KF16)、NW25、R1/8、CF16 | NW16(KF16)、NW25、R1/8、CF16 |
| 材質(zhì) | 燈絲:鉑(Pt);主體:SUS304 | 燈絲:鉑(Pt);主體:SUS304 |
| 尺寸 / 重量 | 70×70×130mm/350g | 70×70×130mm/350g |
| 認(rèn)證 | CE、RoHS | CE、RoHS |
四、典型應(yīng)用場景
1. 半導(dǎo)體 / 電子制造
CVD/PVD 鍍膜設(shè)備:監(jiān)測真空腔壓力,確保鍍膜均勻性
蝕刻設(shè)備:控制低真空區(qū)間,保障蝕刻精度
真空排氣臺:監(jiān)測排氣過程壓力,防止壓力波動超標(biāo)
2. 光伏 / 光學(xué)鍍膜
真空鍍膜機:監(jiān)測腔體內(nèi)壓力,適配 AR/AF 膜、金屬膜鍍膜工藝
真空爐:控制燒結(jié) / 退火過程真空度,提升產(chǎn)品良率
3. 工業(yè)制造
真空焊接:監(jiān)測焊接腔真空度,避免氧化缺陷
真空包裝:控制包裝機真空壓力,保障密封效果
檢漏儀配套:作為基準(zhǔn)真空計,校準(zhǔn)檢漏儀靈敏度
4. 科研 / 實驗室
真空系統(tǒng):監(jiān)測實驗室真空管路壓力
分析儀器:適配質(zhì)譜、色譜、電子顯微鏡真空測量
環(huán)境模擬設(shè)備:模擬低真空環(huán)境,開展材料性能測試
五、選型與安裝要點
1. 型號選擇
SW100N-A:適配傳統(tǒng) PLC 控制系統(tǒng),需模擬信號(0–10V/4–20mA)輸出場景
SW100N-R:適配工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)(IIoT)、遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng),需 RS-485 通信組網(wǎng)場景
2. 接口匹配
3. 安裝與校準(zhǔn)
安裝位置:垂直安裝,避免振動與熱源直射,遠(yuǎn)離真空泵排氣口
校準(zhǔn)周期:常規(guī)工況每 6 個月校準(zhǔn) 1 次;腐蝕性工況每 3 個月校準(zhǔn) 1 次

