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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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EBARA 荏原 AA100W 風(fēng)冷干式螺桿真空泵｜產(chǎn)品全詳情
一、產(chǎn)品基礎(chǔ)概述
品牌：日本荏原 EBARA｜系列：AA 單級(jí)風(fēng)冷螺桿干泵｜型號(hào)：AA100W無油干式螺桿結(jié)構(gòu)、全風(fēng)冷無需冷卻水，半導(dǎo)體 / 光伏 / 實(shí)驗(yàn)室通用中型干泵，替代油旋片泵，潔凈無油蒸氣污染。
工作原理
一對高精度螺旋轉(zhuǎn)子無接觸反向嚙合，泵腔無潤滑油密封，間隙精密控壓；氣體從入口吸入→轉(zhuǎn)子容積壓縮→直排大氣，壓縮熱量靠機(jī)身散熱 + 頂部風(fēng)冷風(fēng)扇散熱。
二、核心技術(shù)參數(shù)
| 參數(shù)項(xiàng)目 | 規(guī)格數(shù)值 |
|---|---|
| 標(biāo)稱抽速 (50Hz) | 100m3/h=1670L/min |
| 標(biāo)稱抽速 (60Hz) | 120m3/h=2000L/min |
| 極限真空 (空載) | ≤2.0Pa（2×10?2mbar） |
| 電機(jī)功率 | 2.2~3.0kW，三相 200/220V 50/60Hz |
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷（整機(jī)無需外接冷卻水） |
| 噪音 | 69~73dB(A) |
| 整機(jī)重量 | ≈115kg |
| 進(jìn)氣法蘭 | DN40/DN50 標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭 |
| 排氣 | 常壓直排 |
三、機(jī)型細(xì)分選配版本
AA100W（標(biāo)準(zhǔn)版）：鑄鐵泵體，常規(guī)惰性氣體、潔凈工藝
AA100W-CR 耐腐蝕版：螺桿 / 泵體內(nèi)壁耐酸堿涂層，適配微量腐蝕性工藝氣體（蝕刻、CVD 尾氣）
AA100W-HT 高溫型：泵體伴熱，防粉體、溶劑冷凝結(jié)塊
四、產(chǎn)品核心優(yōu)勢
全風(fēng)冷免水冷：現(xiàn)場不用鋪設(shè)水路，安裝簡單，節(jié)省配套成本
全干式無油：無回油污染，適配半導(dǎo)體潔凈制程，優(yōu)于油式真空泵
低維護(hù)：轉(zhuǎn)子無摩擦損耗，日常僅更換空濾、密封件，保養(yǎng)周期 8000~10000h
自帶電控面板：電流、泵溫、故障報(bào)警、啟停聯(lián)鎖，支持 PLC 遠(yuǎn)程觸點(diǎn)控制
緊湊型機(jī)身：占地小，設(shè)備機(jī)臺(tái)內(nèi)置安裝友好
五、主流應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)：LoadLock 預(yù)抽、小型蝕刻機(jī)腔體粗抽、CVD 前級(jí)真空、離子注入輔抽
光伏 / LED：PECVD 鍍膜粗抽、電池片邊緣干法蝕刻
FPD 面板：小型 OLED/LCD 濺射腔體預(yù)抽
科研儀器：SEM/TEM 電鏡前級(jí)泵、質(zhì)譜 / XPS 表面分析、實(shí)驗(yàn)室真空鍍膜
通用工業(yè)：真空脫泡、真空封裝、小型熱處理爐抽真空.
六、采購渠道
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道906號(hào)電商集團(tuán)7樓整層玉崎科學(xué)
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理
