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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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EBARA 日本荏原 EV-X 系列 干式螺桿真空泵全產(chǎn)品詳情
EV-X 是荏原新一代中負(fù)荷緊湊型無(wú)油干式真空泵，替代老款 EV-M/EV-S 系列，主打小型化、超節(jié)能、一機(jī)多用、耐半導(dǎo)體制程腐蝕，專為半導(dǎo)體、光伏、面板鍍膜嚴(yán)苛工況開(kāi)發(fā)，符合 SEMI-S2 工業(yè)規(guī)范，全系列日本原裝。結(jié)構(gòu)形式：多級(jí)非接觸式螺桿復(fù)合轉(zhuǎn)子、全干式無(wú)油潤(rùn)滑。
二、全系列主力型號(hào)核心參數(shù)（50/60Hz 通用）
| 型號(hào) | 標(biāo)稱抽速 | 極限真空 | 主電機(jī)功率 | 冷卻方式 | 進(jìn)氣法蘭 | 整機(jī)重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| EV-X30N | 3000L/min（180m3/h） | ≤0.1Pa | 2.2kW | 全風(fēng)冷 | DN40 | 72kg |
| EV-X100N | 10000L/min（600m3/h） | ≤0.1~0.5Pa | 4.0kW | 全風(fēng)冷 | DN50 | 128kg |
| EV-X200N | 20000L/min（1200m3/h） | ≤0.2~0.5Pa | 7.5kW | 風(fēng)冷 / 水冷可選 | DN65 | 215kg |
| EV-X300N | 30000L/min（1800m3/h） | ≤0.5Pa | 11kW | 標(biāo)配水冷 | DN80 | 320kg |
備注：N = 標(biāo)準(zhǔn)耐腐蝕標(biāo)配機(jī)型，另有 CR 耐強(qiáng)酸氟化氣體定制款
三、五大核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
極小型化，占地縮減 30%~38%
同抽速體積遠(yuǎn)小于 EV-S/EV-M，Subfab 機(jī)房密集排布優(yōu)勢(shì)明顯，機(jī)臺(tái)內(nèi)嵌安裝友好。
IE5 高效電機(jī)，節(jié)能 25%~50%
空載低真空自動(dòng)降功率運(yùn)行，極限真空待機(jī)功耗僅 0.9~1.5kW，大幅降低工廠電費(fèi)；50/60Hz 自適應(yīng)變頻，出口 / 國(guó)內(nèi)通用電壓 3φ200~220V。
全機(jī)溫控防凝設(shè)計(jì)，適配中重腐蝕制程
泵體分段恒溫伴熱，抑制 SiO?、有機(jī)副產(chǎn)物凝結(jié)結(jié)塊；標(biāo)準(zhǔn)泵腔 316L 不銹鋼，可選鎳基防腐內(nèi)襯（HF、Cl?、F 系蝕刻氣體專用）。
模塊化集成、易維護(hù)
整機(jī)零件精簡(jiǎn)，常規(guī)保養(yǎng)僅更換進(jìn)氣濾芯、排氣濾芯，保養(yǎng)周期≥8000h，備品通用性強(qiáng)、維保成本低。
智能電控系統(tǒng)
自帶一體式控制面板：溫度、電流、過(guò)載、缺水、堵轉(zhuǎn)故障報(bào)警，標(biāo)配無(wú)源觸點(diǎn)，可直連設(shè)備 PLC 遠(yuǎn)程啟停聯(lián)鎖。
四、版本選配區(qū)分
標(biāo)準(zhǔn)版 EV-X□□N（常規(guī)）：全風(fēng)冷、316L 泵體，適配 PVD 濺射、Loadlock 預(yù)抽、灰化、普通 CVD
CR 耐腐蝕定制版：內(nèi)壁耐氟 / 氯強(qiáng)酸涂層，用于干法蝕刻、HDP-CVD、離子注入尾氣
HT 高溫款：全泵體加強(qiáng)伴熱，高粉塵、高溶劑冷凝工況專用
水冷款（X200/X300 選配）：大功率連續(xù)滿載、高溫環(huán)境使用，散熱更穩(wěn)定
五、主流應(yīng)用行業(yè)
1. 半導(dǎo)體晶圓（主力場(chǎng)景）
干法蝕刻、PECVD/HDP-CVD、濺射 PVD、離子注入、灰化除膠、Loadlock 腔體預(yù)抽、檢測(cè)設(shè)備 SEM/XPS 前級(jí)真空
2. 光伏 & LED
電池片 PECVD 鍍膜、干法邊緣蝕刻、MiniLED 濺射腔體抽氣
3.FPD 面板
OLED/LCD 蒸鍍、小型腔體預(yù)抽真空
4. 通用工業(yè)
真空鍍膜、凍干、脫泡、實(shí)驗(yàn)室科研真空設(shè)備
六、 采購(gòu)渠道
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道906號(hào)電商集團(tuán)7樓整層玉崎科學(xué)
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理
