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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
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EBARA 荏原 EV-S20 干式真空泵完整產(chǎn)品詳情 玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
EV-S20整機
EV-S20正面
一、三大細分型號區(qū)分（國內(nèi)在售 3 款）
| 型號 | 配置說明 | 適用工況 |
|---|---|---|
| EV-S20（標準版） | 普通碳鋼內(nèi)腔、無氮氣吹掃 | 潔凈氣體、實驗室、SEM、鍍膜 Loadlock、無腐蝕工藝 |
| EV-S20P | 標配N?氮氣吹掃裝置、普通腔體 | 微量水汽、輕微腐蝕性揮發(fā)氣體 |
| EV-S20N | 鎳合金防腐腔體 + 內(nèi)置氮氣吹掃 | 弱酸 / 鹵素腐蝕氣體（HF、BCl?、Cl?）、半導(dǎo)體蝕刻、濕制程 |
二、核心技術(shù)參數(shù)（原廠標準）
抽氣速率：1670 L/min（50/60Hz 通用，變頻不受電網(wǎng)頻率影響）
極限真空
EV-S20/20P：氣鎮(zhèn) OFF=3Pa；氣鎮(zhèn) ON=5Pa
EV-S20N：氣鎮(zhèn) ON=5Pa
接口規(guī)格：進氣 NW50、排氣 NW25
功率：極限工況 0.4kW，滿載額定 0.75kW
電源：三相 200～220V 50/60Hz
冷卻方式：全風冷，無需接冷卻水（核心賣點）
噪音：≤57dB(A)
整機尺寸 (W×D×H)：395×575×352mm
凈重：65kg
三、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與核心優(yōu)勢
1、結(jié)構(gòu)：無油羅茨干式泵
無潤滑油腔體、轉(zhuǎn)子無接觸間隙密封，全程潔凈無油霧、不污染腔體樣品，不用更換真空泵油、油過濾器。
2、節(jié)能設(shè)計
自帶怠速休眠變頻，腔體到達設(shè)定真空自動降轉(zhuǎn)速，同規(guī)格比國產(chǎn)干泵省電 30%；直流驅(qū)動，50/60Hz 抽速一致。
3、電控系統(tǒng)
機身自帶 LCD 智能控制面板：故障代碼報警、運行履歷存儲、可編程聯(lián)鎖、RS485 通訊接口（對接設(shè)備 PLC），符合SEMI-S2、CE、NRTL 工業(yè)安全標準。
4、安裝便捷
純風冷無需水冷管路，落地小型化，實驗室 / 設(shè)備機臺內(nèi)置均可安裝。
四、適用行業(yè) & 設(shè)備（國內(nèi)熱銷場景）
科研實驗室：SEM 掃描電鏡、X 射線熒光儀、質(zhì)譜儀、鍍膜機預(yù)抽
半導(dǎo)體：Loadlock 真空腔、小型 CVD、中小腔體刻蝕、晶圓轉(zhuǎn)運預(yù)真空
光電 / LED / 光伏：芯片封裝、小型蒸鍍、鋰電材料真空預(yù)處理
化工醫(yī)藥：溶劑蒸餾、藥品真空干燥（20N 防腐款）
五、選型快速建議
潔凈無腐蝕：選EV-S20（性價比高，國內(nèi)常規(guī)備貨主力）
含水汽、少量有機溶劑：選EV-S20P（氮氣吹掃）
酸性、鹵素腐蝕性廢氣：選EV-S20N（鎳防腐 + 吹掃）
六、日常維護
無機油更換，僅年度清理進氣濾芯，維保成本極低。
七、 采購渠道
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道906號電商集團7樓整層玉崎科學(xué)
項目負責人：林經(jīng)理
