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EV-S 系列是日本荏原制作所（EBARA Corporation）推出的單級、干式、氣冷式螺旋真空泵。該系列定位于為半導體、分析儀器、科研實驗室及一般工業(yè)提供無油、潔凈、耐腐蝕的粗真空環(huán)境。
EV-S 系列是荏原干式真空泵中的標準型/經(jīng)濟型產(chǎn)品線，在保證核心性能的同時，以緊湊結(jié)構、氣冷設計、低維護成本為突出特點，特別適合對安裝空間和運行成本有要求的用戶。
2. 工作原理
EV-S 系列采用單級螺旋（螺桿）干式壓縮原理：
一對相互嚙合的螺旋轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)同步反向旋轉(zhuǎn)
氣體從進氣口吸入，在轉(zhuǎn)子與泵腔之間被逐步壓縮
最終從排氣口排出，直接排向大氣
轉(zhuǎn)子之間及轉(zhuǎn)子與泵腔之間保持精密間隙，無需任何潤滑油密封
壓縮熱通過泵體散熱片和內(nèi)置強制風冷風扇散發(fā)，因此無需連接冷卻水。
3. 核心特性
無油、潔凈真空
泵腔內(nèi)無油，排氣不含油霧
無油蒸氣回流，不污染工藝腔體或樣品
無需油霧過濾器、油水分離器等耗材
氣冷設計、無需水冷
自帶冷卻風扇，只需保證通風良好
無需鋪設冷卻水管，安裝簡便
無水路堵塞、漏水、結(jié)垢之憂
適合缺水地區(qū)或不便接水的場所
耐腐蝕能力強
泵體內(nèi)部流道經(jīng)過特殊涂層處理（如 Ni-P 化學鍍鎳或 PTFE 涂層）
可耐受半導體工藝中常見的腐蝕性氣體（Cl?、BCl?、SF?、HF 等）
可選更高等級涂層以適應強腐蝕應用
低噪音、低振動
精密動平衡的螺旋轉(zhuǎn)子，運行平穩(wěn)
可直接安裝在機臺內(nèi)部或普通支架上
適合噪音敏感的實驗室或潔凈廠房
結(jié)構緊湊、輕量化
單級設計，零部件少
體積小、重量輕，節(jié)省安裝空間
維護簡便、運行成本低
無油品更換、無油過濾器、無油霧分離器
日常維護：檢查進氣口濾網(wǎng)、清理散熱片
軸承采用長效潤滑脂，壽命長
可處理水汽和微量粉塵
對水汽和少量粉塵有一定耐受能力
可選配氮氣吹掃功能，稀釋腐蝕性氣體和可凝性蒸氣
二、技術參數(shù)（以 EV-SA20 為代表）
注意：以下參數(shù)為 EV-SA20 的典型值。EV-S 系列中不同型號（如 SA10、SA15、SA20）的抽速和尺寸不同，其他參數(shù)類似。
1. 基本性能參數(shù)
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 抽速（50Hz） | 約 20 m3/h（≈ 330 L/min） |
| 抽速（60Hz） | 約 24 m3/h（≈ 400 L/min） |
| 極限壓力 | ≤ 2.0 Pa（絕對壓力） |
| 最大入口壓力 | 大氣壓（1013 hPa） |
| 最大排氣壓力 | 大氣壓（直排） |
2. 電機與電氣參數(shù)
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 電機功率 | 約 0.75 ～ 1.5 kW（視型號） |
| 電源電壓 | 單相 AC 100V～115V / 200V～230V，或三相 200V（視型號） |
| 額定電流 | 約 5A～10A（視電壓） |
| 啟動方式 | 直接啟動 |
| 電機防護等級 | IP54（標準型） |
| 絕緣等級 | F 級 |
3. 冷卻方式
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 冷卻方式 | 強制風冷（內(nèi)置風扇） |
| 環(huán)境溫度范圍 | 5℃ ～ 40℃ |
| 最高排氣溫度 | 約 80℃ ～ 110℃（視工況） |
4. 接口與連接尺寸
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 進氣口法蘭 | ISO-KF 25 / KF 25（或 NW25） |
| 排氣口法蘭 | ISO-KF 16 / KF 16（帶消音器） |
| 吹掃氣體接口 | 1/8英寸或1/4英寸卡套（可選） |
5. 材質(zhì)與耐腐蝕性
| 部件 | 材質(zhì) |
|---|---|
| 泵體 | 鋁合金（經(jīng)涂層處理） |
| 轉(zhuǎn)子 | 鋁合金或球墨鑄鐵（經(jīng)涂層處理） |
| 涂層（標準型） | Ni-P 化學鍍鎳 |
| 涂層（耐腐蝕型） | PTFE（特氟龍）或 PFA |
| 密封件 | FKM（氟橡膠）或 FFKM（全氟醚橡膠） |
| 軸承 | 密封式深溝球軸承（長效潤滑脂） |
6. 噪音與振動
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 噪音（1m處，帶消音器） | ≤ 58 ～ 62 dB(A)（視型號） |
| 振動 | ≤ 1.5 mm/s（RMS） |
7. 環(huán)境與安裝
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 工作環(huán)境溫度 | 5℃ ～ 40℃ |
| 工作環(huán)境濕度 | ≤ 80% RH（無凝結(jié)） |
| 安裝方式 | 水平安裝（橡膠減震腳墊） |
| 防護等級 | IP54（標準型） |
8. 外形尺寸與重量
| 項目 | EV-SA20 典型值 |
|---|---|
| 長度（L） | 約 350 ～ 450 mm |
| 寬度（W） | 約 200 ～ 280 mm |
| 高度（H） | 約 250 ～ 320 mm |
| 重量 | 約 25 ～ 35 kg |
具體尺寸請以產(chǎn)品圖紙為準。
9. 吹掃功能（可選）
| 項目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 吹掃氣體 | N?（氮氣）或干燥空氣 |
| 吹掃流量 | 5 ～ 20 L/min（典型） |
| 作用 | 稀釋腐蝕性氣體、稀釋可凝性蒸氣、防止粉塵堆積 |
三、典型用途
1. 半導體制造（小型設備）
Load Lock（晶圓傳輸腔的快速抽空）
測量設備（如膜厚儀、缺陷檢測設備的前級抽空）
小型蝕刻/沉積設備的輔助抽空
2. 分析儀器與科研
電子顯微鏡（SEM/TEM）：樣品交換室預抽，避免油蒸氣污染主腔體
質(zhì)譜儀：作為前級泵，配合分子泵或渦輪分子泵
表面分析設備（XPS、AES、TOF-SIMS）：提供潔凈的粗真空
泄漏檢測儀（氦質(zhì)譜檢漏儀）的輔助泵
3. 實驗室鍍膜系統(tǒng)
蒸發(fā)鍍膜（熱蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)）的粗抽
濺射鍍膜（小型磁控濺射臺）的粗抽
4. 一般工業(yè)
真空包裝（小型真空包裝機）
真空脫氣（樹脂、環(huán)氧樹脂脫泡）
真空吸附/搬運（自動化產(chǎn)線上的小型工件抓取）
真空干燥箱、真空烘箱
5. 化學與制藥（需耐腐蝕版本）
溶劑回收（小型蒸餾裝置）
反應釜排氣（抽除反應產(chǎn)生的少量氣體）
四、EV-S 系列各型號差異（選型參考）
| 型號 | 抽速（50Hz） | 典型用途 |
|---|---|---|
| EV-SA10 | 約 10 m3/h | 分析儀器、小型實驗室設備 |
| EV-SA15 | 約 15 m3/h | 電子顯微鏡、小型鍍膜機 |
| EV-SA20 | 約 20 m3/h | 半導體小型設備、實驗室通用 |
| EV-SA30 | 約 30 m3/h | 更大腔體的預抽 |
具體參數(shù)請咨詢荏原代理商或查閱規(guī)格書。
五、與其他真空泵的對比
| 對比項 | EV-S 系列（干式） | 油旋片泵（同抽速） | 隔膜泵（同抽速） |
|---|---|---|---|
| 排氣潔凈度 | 無油 | 有油霧 | 無油 |
| 極限壓力 | ≤2 Pa | ≤0.5 Pa | ≤10 Pa |
| 抽速穩(wěn)定性 | 良好 | 良好 | 較低 |
| 耐腐蝕 | 良好（涂層） | 差（油易變質(zhì)） | 一般 |
| 噪音 | ≤62 dB | ≤60 dB | ≤55 dB |
| 維護頻率 | 低（無耗材） | 高（每月?lián)Q油） | 中（更換膜片） |
| 總擁有成本 | 低 | 高 | 中 |
六、使用注意事項
前級泵配合：EV-S 系列可直接排大氣，無需另配前級泵。
確保通風良好：氣冷設計依賴空氣對流，泵周圍需留出足夠空間（至少 10-15cm），不得堵塞進/出風口。
腐蝕性氣體處理：抽除腐蝕性氣體時，建議啟用氮氣吹掃功能，并在停機前吹掃 5-10 分鐘，延長涂層和軸承壽命。
粉塵過濾：進氣口建議安裝 100 目左右的不銹鋼濾網(wǎng)，防止大顆粒異物進入泵腔。
定期清理：每 1-3 個月用壓縮空氣吹掃散熱片，防止灰塵堵塞導致過熱。
環(huán)境溫度：避免在高于 40℃ 的環(huán)境中運行，高溫會降低冷卻效果和抽速。
七、總結(jié)
EBARA 荏原 EV-S 系列（以 EV-SA20 為代表）是一款小抽速（10-30 m3/h）、風冷、無油、耐腐蝕的干式螺旋真空泵。
核心優(yōu)勢：
無油：排氣潔凈，適合分析儀器和潔凈工藝
風冷設計：無需冷卻水，安裝簡便
耐腐蝕：涂層保護，適應半導體等嚴苛工藝
緊湊輕量：節(jié)省安裝空間
低維護：無耗材，運行成本低
低噪音：≤62 dB，適合室內(nèi)使用
典型應用：
電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等分析儀器
半導體小型設備（Load Lock、測量設備）
實驗室鍍膜系統(tǒng)
真空包裝、真空脫氣等一般工業(yè)
