中級(jí)會(huì)員·3年聯(lián)系電話
AA100W 是日本荏原制作所（EBARA Corporation）推出的一款單級(jí)、氣冷式、干式螺旋真空泵。它屬于荏原干式真空泵系列中的中型機(jī)型，定位于為半導(dǎo)體、平板顯示（FPD）、光伏、分析儀器及一般工業(yè)領(lǐng)域提供清潔、可靠、易維護(hù)的粗真空環(huán)境。
“干式"意味著泵腔內(nèi)不需要油或水作為密封或潤(rùn)滑介質(zhì)。排出的氣體潔凈無(wú)油霧，不會(huì)污染工藝環(huán)境或被抽容器。這使得 AA100W 成為傳統(tǒng)油旋片泵和液環(huán)泵的理想升級(jí)替代品。
2. 工作原理
AA100W 采用螺桿式（螺旋式）干壓縮原理：泵腔內(nèi)裝有一對(duì)相互嚙合的螺旋轉(zhuǎn)子，在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下同步反向旋轉(zhuǎn)。氣體從進(jìn)氣口被吸入，隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動(dòng)被逐步壓縮，最終從排氣口排出。轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵腔之間保持著極小的間隙，依靠精密的加工工藝實(shí)現(xiàn)密封，無(wú)需任何潤(rùn)滑油。
壓縮過(guò)程中產(chǎn)生的熱量，通過(guò)泵體表面的散熱片和內(nèi)置的強(qiáng)制風(fēng)冷風(fēng)扇散發(fā)出去——這就是“氣冷式"的由來(lái)，無(wú)需連接冷卻水管。
3. 核心特性
無(wú)油，排氣潔凈：排氣中不含油霧，不會(huì)污染車(chē)間環(huán)境；沒(méi)有油蒸氣回流，不會(huì)污染被抽容器或工藝氣體；無(wú)需油霧過(guò)濾器、油水分離器等耗材。
氣冷設(shè)計(jì)，無(wú)需水冷：采用強(qiáng)制風(fēng)冷，自帶冷卻風(fēng)扇，只要周?chē)L(fēng)良好即可正常運(yùn)行。安裝簡(jiǎn)單，無(wú)需水處理設(shè)備，無(wú)水路堵塞、漏水之憂。
耐腐蝕能力強(qiáng)：泵體內(nèi)部流道經(jīng)過(guò)特殊涂層處理（如化學(xué)鍍鎳或特氟龍涂層），能夠耐受半導(dǎo)體和化工工藝中常見(jiàn)的腐蝕性氣體（如氯氣、氯化氫、氟化物等）。
低噪音、低振動(dòng)：得益于精密的螺旋轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡設(shè)計(jì)，運(yùn)行安靜，可直接安裝在機(jī)臺(tái)內(nèi)部或普通支架上。
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便：無(wú)油品更換、無(wú)油過(guò)濾器、無(wú)油霧分離器等耗材，日常維護(hù)主要是檢查進(jìn)氣口濾網(wǎng)和清理散熱片。
可處理水汽和少量粉塵：對(duì)水汽和少量粉塵有一定耐受能力，可通過(guò)氮?dú)獯祾吖δ苓M(jìn)一步保護(hù)泵體。
二、技術(shù)參數(shù)
注意：以下參數(shù)基于 EBARA AA100W 代表性規(guī)格整理。不同版本（標(biāo)準(zhǔn)型/耐腐蝕型/高排氣溫度型）可能存在差異，請(qǐng)以最新規(guī)格書(shū)為準(zhǔn)。
1. 基本性能參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 抽速（50Hz） | 約 100 m3/h（≈ 1670 L/min） |
| 抽速（60Hz） | 約 120 m3/h（≈ 2000 L/min） |
| 極限壓力 | ≤ 2.0 Pa（絕對(duì)壓力） |
| 最大入口壓力 | 大氣壓（1013 hPa） |
| 最大排氣壓力 | 大氣壓（直排） |
2. 電機(jī)與電氣參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 電機(jī)功率 | 約 2.2 kW ～ 3.0 kW（視電壓/頻率） |
| 電源電壓 | 三相 AC 200V～230V / 380V～460V（50/60Hz） |
| 額定電流 | 約 8A～12A（視電壓） |
| 啟動(dòng)方式 | 直接啟動(dòng)或星三角啟動(dòng) |
| 電機(jī)防護(hù)等級(jí) | IP54 或 IP55 |
| 絕緣等級(jí) | F 級(jí) |
3. 冷卻方式
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 冷卻方式 | 強(qiáng)制風(fēng)冷（內(nèi)置風(fēng)扇） |
| 環(huán)境溫度范圍 | 5℃ ～ 40℃ |
| 最高排氣溫度 | 約 80℃ ～ 120℃（視工況） |
4. 接口與連接尺寸
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 進(jìn)氣口法蘭 | JIS VG 50 / ISO-KF 50（或 NW50） |
| 排氣口法蘭 | JIS VG 40 / ISO-KF 40（或 NW40，帶消音器） |
| 吹掃氣體接口 | 1/4英寸卡套接頭（用于 N? 吹掃，可選） |
5. 材質(zhì)與耐腐蝕性
| 部件 | 材質(zhì) |
|---|---|
| 泵體 | 鑄鐵或鋁合金（經(jīng)涂層處理） |
| 轉(zhuǎn)子 | 球墨鑄鐵（經(jīng)特殊涂層） |
| 涂層（標(biāo)準(zhǔn)型） | Ni-P 化學(xué)鍍鎳 |
| 涂層（耐腐蝕型） | PTFE（特氟龍）或 PFA |
| 密封件 | FKM（氟橡膠）或 FFKM（全氟醚橡膠） |
| 軸承 | 密封式深溝球軸承（長(zhǎng)效潤(rùn)滑脂） |
6. 噪音與振動(dòng)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 噪音（1m處，帶消音器） | ≤ 68 dB(A) |
| 振動(dòng) | ≤ 2.8 mm/s（RMS） |
7. 環(huán)境與安裝
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 工作環(huán)境溫度 | 5℃ ～ 40℃ |
| 工作環(huán)境濕度 | ≤ 90% RH（無(wú)凝結(jié)） |
| 安裝方式 | 水平安裝（橡膠減震腳墊） |
| 防護(hù)等級(jí) | IP54（標(biāo)準(zhǔn)型） |
8. 外形尺寸與重量
| 項(xiàng)目 | 尺寸/重量 |
|---|---|
| 長(zhǎng)度 | 約 500 ～ 600 mm |
| 寬度 | 約 300 ～ 400 mm |
| 高度 | 約 350 ～ 450 mm |
| 重量 | 約 80 ～ 100 kg（視配置） |
具體尺寸建議參考產(chǎn)品圖紙或咨詢(xún)荏原代理商。
9. 吹掃功能（可選）
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 吹掃氣體 | N?（氮?dú)猓┗蚋稍锟諝?/span> |
| 吹掃流量 | 10 ～ 50 L/min（典型） |
| 作用 | 稀釋腐蝕性氣體、稀釋可凝性蒸氣、冷卻轉(zhuǎn)子、防止粉塵堆積 |
三、典型用途
1. 半導(dǎo)體制造
AA100W 廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)線的各種工藝設(shè)備：蝕刻設(shè)備（干法蝕刻腔體的排氣和工藝氣體抽空）、CVD 設(shè)備（化學(xué)氣相沉積工藝前后的腔體抽空）、Load Lock（晶圓傳輸腔的快速抽空）、離子注入（束線腔和工藝腔的真空維持）。在這些應(yīng)用中，無(wú)油、耐腐蝕、可靠性高是核心要求。
2. 平板顯示（FPD）制造
LCD 和 OLED 面板制造中的沉積、蝕刻等工藝與半導(dǎo)體類(lèi)似，同樣需要清潔、耐腐蝕的真空環(huán)境。AA100W 的中等抽速非常適合面板產(chǎn)線的多種工藝腔體。
3. 光伏（太陽(yáng)能電池）制造
PECVD 設(shè)備（沉積氮化硅減反射膜時(shí)的工藝排氣）、干法蝕刻（邊緣隔離和 PSG 去除工藝）。
4. 分析儀器與科研
電子顯微鏡（SEM/TEM）（樣品交換室的預(yù)抽，避免油蒸氣污染主腔體）、質(zhì)譜儀（作為前級(jí)泵，配合分子泵或渦輪分子泵使用）、表面分析設(shè)備（XPS、AES）（提供潔凈的粗真空）、實(shí)驗(yàn)室鍍膜系統(tǒng)（蒸發(fā)鍍或?yàn)R射鍍的粗抽）。
5. 一般工業(yè)
真空包裝（食品或電子元件的真空封裝）、真空脫氣（樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂在灌封前的脫泡處理）、真空吸附/搬運(yùn)（自動(dòng)化產(chǎn)線上的工件抓?。?、熱處理爐（保護(hù)氣氛下的真空排氣）。
6. 化學(xué)與制藥（需耐腐蝕版本）
溶劑回收系統(tǒng)（粗真空下的蒸餾濃縮）、真空干燥（對(duì)熱敏感物料的低溫干燥）、反應(yīng)釜排氣（抽除反應(yīng)產(chǎn)生的氣體）。
四、總結(jié)
EBARA 荏原 AA100W 是一款中等抽速、風(fēng)冷、無(wú)油、耐腐蝕的干式螺旋真空泵。其核心優(yōu)勢(shì)在于：無(wú)油排氣、無(wú)需冷卻水、耐腐蝕涂層保護(hù)、低維護(hù)成本、運(yùn)行安靜可靠。
如果您正在尋找一種能夠替代油旋片泵、提升工藝潔凈度、降低維護(hù)負(fù)擔(dān)的粗真空解決方案——無(wú)論是半導(dǎo)體制造、分析儀器配套、實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用，還是一般工業(yè)抽空，AA100W 都是一個(gè)經(jīng)過(guò)驗(yàn)證、值得考慮的選擇。
