天瑞 EDX600PLUS 采用下照式 + 可視化定位 + 一鍵測(cè)試，操作流程清晰、自動(dòng)化程度高，以下是完整標(biāo)準(zhǔn)操作步驟：

一、開(kāi)機(jī)與預(yù)熱（必做）

1. 檢查環(huán)境：溫度 15–30℃、無(wú)強(qiáng)光、無(wú)強(qiáng)振動(dòng)、無(wú)塵。

2. 打開(kāi)儀器電源，啟動(dòng)電腦并運(yùn)行 EDX600PLUS 專用軟件，登錄賬號(hào)。

3. 軟件內(nèi)點(diǎn)擊預(yù)熱，預(yù)熱約30 分鐘，待 X 光管、探測(cè)器穩(wěn)定。

4. 預(yù)熱完成后，點(diǎn)擊初始化，儀器自動(dòng)自檢光路、探測(cè)器、高壓，約 10–30 秒完成。

二、校準(zhǔn)（日常 / 換樣品類型必做）

1. 打開(kāi)樣品倉(cāng)蓋，將對(duì)應(yīng)鍍層的標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)片（如 Ag、Au、Ni、Sn 標(biāo)準(zhǔn)片）放在樣品臺(tái)中間。

2. 關(guān)閉倉(cāng)蓋，通過(guò)軟件雙攝像頭（全景 + 局部）觀察，調(diào)節(jié) XY 平臺(tái)與 Z 軸對(duì)焦，使標(biāo)準(zhǔn)片測(cè)試點(diǎn)清晰、居中。

3. 選擇對(duì)應(yīng)校準(zhǔn)程序，點(diǎn)擊校準(zhǔn)，儀器自動(dòng)采集標(biāo)準(zhǔn)片信號(hào)并建立工作曲線。

4. 校準(zhǔn)完成后，軟件提示 “校準(zhǔn)成功"，可復(fù)測(cè)標(biāo)準(zhǔn)片驗(yàn)證偏差。

三、樣品放置與定位

1. 打開(kāi)倉(cāng)蓋，用鑷子輕放待測(cè)樣品，確保表面干凈、無(wú)油污、無(wú)氧化。

2. 關(guān)閉倉(cāng)蓋，打開(kāi)攝像頭曝光，調(diào)節(jié) XY 平臺(tái)移動(dòng)樣品，通過(guò)30 倍放大找到目標(biāo)測(cè)試點(diǎn)（如微小引腳、螺紋、深槽）。

3. 調(diào)節(jié) Z 軸自動(dòng)對(duì)焦，配合激光定位 + 距離補(bǔ)正，確保光斑精準(zhǔn)落在測(cè)試點(diǎn)，異型面（曲面 / 凹凸）也可清晰對(duì)焦。

4. 選擇對(duì)應(yīng)準(zhǔn)直器（0.1×0.2mm/Φ0.15mm 等），匹配樣品大小。

四、選擇測(cè)試方法與參數(shù)

1. 在軟件中選擇對(duì)應(yīng)鍍層類型程序（如 Au/Ni/Cu、Sn/Cu、Pd/Ni 等）。

2. 設(shè)置測(cè)試時(shí)間（常規(guī) 5–40 秒，推薦 10 秒）、重復(fù)次數(shù)（建議 2–3 次取平均）。

3. 確認(rèn)元素分析范圍與鍍層層數(shù)（最多 5 層），軟件自動(dòng)調(diào)用 EFP 算法。

五、一鍵測(cè)試與數(shù)據(jù)查看

1. 點(diǎn)擊軟件開(kāi)始測(cè)試或儀器面板一鍵測(cè)試按鈕，儀器自動(dòng)發(fā)射 X 射線、采集熒光信號(hào)、計(jì)算厚度。

2. 測(cè)試過(guò)程中，實(shí)時(shí)顯示計(jì)數(shù)率、能量譜圖、進(jìn)度條。

3. 測(cè)試完成，界面立即顯示各層厚度值、元素含量、RSD 重復(fù)性。

4. 可點(diǎn)擊保存存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，或導(dǎo)出 / 打印報(bào)告（PDF/Excel）。

六、批量測(cè)試與關(guān)機(jī)

1. 批量測(cè)試：更換樣品，重復(fù)定位→開(kāi)始測(cè)試，軟件自動(dòng)記錄所有數(shù)據(jù)。

2. 測(cè)試結(jié)束：先關(guān)閉軟件，再關(guān)閉儀器電源，清潔樣品臺(tái)與倉(cāng)蓋（酒精擦拭）。

3. 長(zhǎng)期不用：每周開(kāi)機(jī)預(yù)熱 30 分鐘，保持儀器狀態(tài)。

七、關(guān)鍵操作要點(diǎn)

• 光斑精準(zhǔn)：微小樣品用最小準(zhǔn)直器（0.1mm），確保光斑覆蓋測(cè)試點(diǎn)。

• 異型樣品：利用距離補(bǔ)正與變焦，螺紋、深槽、曲面均可穩(wěn)定測(cè)量。

• 數(shù)據(jù)可靠：同一點(diǎn)測(cè) 2–3 次取平均，RSD<3% 為合格。

• 安全：測(cè)試時(shí)嚴(yán)禁打開(kāi)倉(cāng)蓋，X 射線僅在倉(cāng)內(nèi)工作，安全聯(lián)鎖保護(hù)。