?中瑞祥熱偶真空計(jì)熱電偶真空計(jì)?關(guān)機(jī)與維護(hù)?
是基于氣體熱傳導(dǎo)原理與熱電效應(yīng)實(shí)現(xiàn)真空度測量的儀器,核心原理與操作邏輯如下:?
一、核心工作原理
熱偶真空計(jì)屬于熱傳導(dǎo)真空計(jì)的一類,核心原理是利用?氣體熱傳導(dǎo)能力隨氣壓變化?的特性,結(jié)合熱電偶的熱電效應(yīng)間接測量氣壓:
給規(guī)管內(nèi)的加熱絲(鉑絲/鎢絲/鎳絲)通恒定電流,加熱絲產(chǎn)生的熱量會通過周圍氣體向外傳導(dǎo);
氣壓越高,氣體分子密度越大,帶走的熱量越多,加熱絲平衡溫度越低;反之氣壓越低,氣體導(dǎo)熱越少,加熱絲溫度越高;
熱電偶的熱端直接連接加熱絲,能將加熱絲的溫度變化轉(zhuǎn)化為熱電勢(電壓信號)變化;溫度越高,熱電勢越大,最后通過預(yù)先標(biāo)定的?校準(zhǔn)曲線?即可將熱電勢換算為對應(yīng)氣壓值,實(shí)現(xiàn)真空度測量。
二、基礎(chǔ)操作使用要點(diǎn)
?使用前校準(zhǔn)準(zhǔn)備?:
接通電源預(yù)熱約10分鐘,將選擇開關(guān)調(diào)至“加熱"檔,調(diào)節(jié)加熱電流至規(guī)管標(biāo)注的規(guī)定值(啟封電流),再切換到“測量"檔,可重復(fù)操作2-3次保證讀數(shù)穩(wěn)定。
?測量與讀數(shù)?:
保持加熱電流恒定,待示數(shù)穩(wěn)定后直接讀取毫伏表/顯示屏的數(shù)值,對照校準(zhǔn)曲線得到實(shí)際氣壓;由于熱絲存在熱慣性,壓強(qiáng)變化后需稍作等待再讀數(shù)。
?關(guān)機(jī)與維護(hù)?:
測量結(jié)束后先關(guān)閉規(guī)管電源,再關(guān)泵;儀器長期使用需定期校準(zhǔn)(找具備CNAS計(jì)量資質(zhì)的機(jī)構(gòu)),突然暴露大氣可能燒壞熱絲,需盡量避免。
三、適用測量范圍
受原理限制,熱偶真空計(jì)僅適用于?低真空到中真空?測量,常規(guī)測量范圍為 ?10?1Pa ~ 10?Pa?(典型常用區(qū)間是0.1~200Pa),高真空環(huán)境下氣體熱傳導(dǎo)效應(yīng)極弱,測量誤差會顯著增大,不適用高精度測量。