目錄:上海三研科技有限公司>>勻膠機(jī)/旋涂?jī)x>> SYSC-300A 高精度程控勻膠機(jī)
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更新時(shí)間：2026-06-03 09:30:53瀏覽次數(shù)：40評(píng)價(jià)
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一. SYSC-300A 高精度程控勻膠機(jī)功能特點(diǎn)
1. 旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專(zhuān)為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密高速伺服電機(jī)，具有高精度、高穩(wěn)定性、高可靠性。
2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能，最大真實(shí)負(fù)載加速度可達(dá)20000rpm/s。
3. 兩項(xiàng)安全互鎖功能：
1) 勻膠腔體具有開(kāi)啟、關(guān)閉的檢測(cè)功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng)，防止勻膠過(guò)程中飛片造成人身傷害；
2) 真空吸片具有真空檢測(cè)功能，若發(fā)生真空泄漏，則立即停止運(yùn)行。
4. 機(jī)身及樣品臺(tái)分別采用 PPH 及德國(guó)勞士領(lǐng) PP 材料，經(jīng) CNC 一體加工成型。
5. 旋轉(zhuǎn)真空密封系統(tǒng)，特種密封材質(zhì)及雙重唇口貼合式密封結(jié)構(gòu)。
6. 涂膜腔體內(nèi)有廢液排出孔。在涂膜過(guò)程中接儲(chǔ)脫離基片的廢液，并從排液孔排出。
7. 勻膠過(guò)程全自動(dòng)分段程序控制?？蓛?chǔ)存 30 組工藝程序，隨時(shí)調(diào)用。每組勻膠工藝可分 10 步進(jìn)行，每步的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)。
8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示，更直觀了解勻膠進(jìn)程；
9. 真空泵的開(kāi)啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制，無(wú)需手動(dòng)操作。
10. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時(shí)間"最多為 99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時(shí)間"最多為 99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對(duì)膜層造成損傷。
二. SYSC-300A 高精度程控勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù)
型號(hào)參數(shù) | SYSC-300A |
可鍍膜基片尺寸 | 圓片 Max. ?360 ；方片 Max. 260×260mm |
旋轉(zhuǎn)速度 | 0～8000rpm |
轉(zhuǎn)速分辨率 | 1rpm |
速度精度 | <0.2% |
旋涂加速度* | 0～20000rpm/s |
每步加速時(shí)間 | 0～999.9s |
每步旋轉(zhuǎn)時(shí)間 | 0～9999.9s |
旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率 | 0.1s |
預(yù)吸片時(shí)間 | 999s |
解吸片時(shí)間 | 999s |
腔體材料 | PPH 材料 |
樣品臺(tái)材料 | NPP 材料（勞士領(lǐng)） |
真空系統(tǒng)密封方式 | 雙唇口密封裝置 |
驅(qū)動(dòng)電機(jī)類(lèi)型 | 工業(yè)級(jí)精密高速伺服電機(jī) |
內(nèi)置程序 | 30 組內(nèi)置程序 |
旋轉(zhuǎn)控制方式 | 分步編程控制 |
安全保護(hù) | 腔體開(kāi)關(guān)互鎖以及真空壓力檢測(cè)保護(hù) |
膠液排出通道 | 腔體底部膠液排出孔 |
真空泵開(kāi)關(guān)方式 | 自動(dòng)程序控制 |
電機(jī)保護(hù) | “WALL"構(gòu)造體系防膠液浸入電機(jī) |
*旋涂加速度的最大值為有負(fù)載條件下(使用≤?150mm 基片)的真實(shí)加速度。基片尺寸＞150mm 時(shí)的最大加速度視基片尺寸而定。
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