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當(dāng)前位置：寧波旗辰儀器有限公司>>技術(shù)文章>>EM-30臺式掃描電鏡工作與設(shè)計(jì)原理
在臺式掃描電鏡領(lǐng)域，傳統(tǒng)設(shè)備多依托BSD探測器完成成像工作，該成像方式存在分辨率不足、成像細(xì)節(jié)表現(xiàn)力差等固有局限，難以滿足精細(xì)化微觀檢測需求。EM-30超高分辨率臺式掃描電鏡打破了行業(yè)傳統(tǒng)設(shè)計(jì)思路，借鑒大型掃描電鏡的成熟成像原理，完成了設(shè)備結(jié)構(gòu)與成像系統(tǒng)的優(yōu)化升級。
設(shè)備核心采用創(chuàng)新雙聚光鏡成像技術(shù)，摒棄了傳統(tǒng)臺式電鏡的BSD探測成像模式，以二次電子探測器作為基礎(chǔ)成像核心單元。二次電子探測成像的核心優(yōu)勢在于能夠精準(zhǔn)捕捉樣品表面的微觀形貌信號，還原樣品表面的凹凸結(jié)構(gòu)、細(xì)微紋理等細(xì)節(jié)特征。搭配雙聚光鏡的聚焦優(yōu)化作用，可精準(zhǔn)收斂電子束，提升電子束的穩(wěn)定性與聚焦精度，有效減少成像過程中的信號干擾與圖像模糊問題。
這種專業(yè)化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，讓臺式小型電鏡實(shí)現(xiàn)了大型掃描電鏡的基礎(chǔ)成像能力，使設(shè)備成像分辨率可達(dá)5nm級別，真正實(shí)現(xiàn)了小型臺式設(shè)備的超高分辨率成像，解決了傳統(tǒng)臺式掃描電鏡微觀檢測精度不足的痛點(diǎn)，同時保留了臺式設(shè)備小型化的結(jié)構(gòu)優(yōu)勢。
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