行程與分辨率決定儀器檢測適配能力,該款輪廓儀核心運動部件參數明確:傳感器測量行程30mm,分辨率高達0.02μm;驅動器行程120mm,分辨率0.1μm;立柱有效行程420mm。多級行程搭配,可兼顧微小精密零件與中等尺寸工件的輪廓檢測,滿足多規(guī)格工件檢測需求。
儀器標定精度嚴苛,在標準實驗環(huán)境下:Z1軸線性精度≤±(0.8+|0.05H|)μm;圓弧測量精度≤±(2+R/8)μm;角度測量誤差≤±2′;平晶直線度精度≤0.5μm/100mm。設備X、Z軸均為電動驅動,輪廓測量速度可控在0.1-0.5mm/s,低速工況下檢測穩(wěn)定性更高。
整機搭載全套原廠標準化配件,核心包含A系列數字式輪廓傳感器、標準驅動器與立柱,搭配人體工學一體式機臺。配套電氣系統(tǒng)、采集控制系統(tǒng)、調整臺、精密平口鉗,同時配齊計算機、打印機、標準球、量塊、專用測針及工具箱,出廠配置齊全,可直接投入標準化檢測作業(yè)。
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