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內容聲明：
您訪問的硅材料氧碳含量測試儀產(chǎn)品信息，由杭州科博儀器有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關于硅材料氧碳含量測試儀型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
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產(chǎn)品簡介
硅材料氧碳含量測試儀詳細信息
硅單晶/多晶中氧碳含量自動測量系統(tǒng)的氧碳含量技術參數(shù)符合（符合國家GB/T1557-2006）（符合國家GB/T1558-2009）
測試方法：把測量樣品用硅片固定架放入儀器樣品室，開始測量，計算機讀取1107CM-1,SI-O-SI帶特征吸收峰和607CM-1, C-SI帶特征吸收峰，由峰高法計算出硅單晶中氧碳含量. 測量硅片厚度：0.04-4.0MM, 硅片檢測下限：1.0X1016CM-3（常溫）
| 類 別 | 儀 器 名 稱 | 型 號 | 技 術 參 數(shù) 及 配 置 | 數(shù) 量 |
| 系統(tǒng) | 硅單晶/多晶中氧碳含量自動測量系統(tǒng)及反型N/P硅外延層厚度測量系統(tǒng)F-650 | 氧碳 | 1．用于硅晶體中間隙中氧、碳含量測量。檢測下線1.0x 符合國家標準（GB/T1557-2006）氧，（GB/T1558-2009）碳。 2.反型N/P硅外延層厚度的紅外干涉測量。（2009年第16屆全國半導體、硅材料學術會議的論文） 光譜范圍：4000~ 信噪比：15000：1p-p值（測試條件：DTGS檢測器在 光 源：長壽命高強度空氣冷卻紅外光源（國外進口） | 1套 |
| 操作系統(tǒng) | 系統(tǒng)功能 | | 用戶登錄功能 自我診斷功能 提供操作及數(shù)據(jù)處理軟件，*升級軟件 智能濕度提醒裝置：無需開機可以更換干燥保護裝置，無需開機可以調節(jié)儀器能量 | 1套 |
| 附 件 | 硅片樣品固定工具 | | | 1套 |
| 檢測軟件 | | 符合國家標準（GB/T1558-2009），（GB/T1557-2006） | 1套 | |
| 標準硅片 | | 符合國家標準（GB/T1557-2006）標準硅片 | 1套 | |
| 電腦及打印機 | | 可通過打印機輸出結果及報告 | 1套 |
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移動站：硅材料氧碳含量測試儀
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