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日本 UNIOPT 半導(dǎo)體晶圓晶體缺陷檢測(cè)儀 日本 UNIOPT 半導(dǎo)體晶圓晶體缺陷檢測(cè)儀

1. 品牌簡(jiǎn)介

ユニオプト株式會(huì)社（UNIOPT），日本專業(yè)光學(xué)測(cè)量設(shè)備廠商，核心標(biāo)語Light as the measurement probe，依托多波段激光、Schlieren 紋影光學(xué)技術(shù)，面向光學(xué)元件、半導(dǎo)體、流體實(shí)驗(yàn)提供高精度可視化檢測(cè)設(shè)備。

2. 產(chǎn)品概述

UMY-10 脈理觀察器采用施利倫（Schlieren）紋影光學(xué)法，搭配高靈敏工業(yè)相機(jī)、10 倍變焦鏡頭、超高亮度白光 LED 光源，可直觀捕捉透明材料局部折射率紊亂（脈理），畫面實(shí)時(shí)輸出至顯示器，無需專業(yè)培訓(xùn)即可完成高靈敏度無損檢測(cè)；配套立式鋁型材機(jī)架，視野 Φ75mm，適配光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓、氣流流體觀測(cè)多場(chǎng)景。

3. 完整硬件核心參數(shù)

表格

項(xiàng)目參數(shù)規(guī)格

光學(xué)原理Schlieren 施利倫紋影法

成像相機(jī)高靈敏度工業(yè)相機(jī)

鏡頭10 倍變焦鏡頭

照明光源超高輝度白色 LED 光源

有效視野Φ75mm

整機(jī)結(jié)構(gòu)立式鋁型材升降機(jī)架，臺(tái)面式載物平臺(tái)

觀測(cè)輸出實(shí)時(shí)顯示器成像

4. 同系列機(jī)型區(qū)分

UMY-10：標(biāo)準(zhǔn)立式垂直光路，常規(guī)平板透明件、晶圓檢測(cè)；

UMY-20：光軸水平型，搭配專用治具，曲面鏡片無需浸液法，觀測(cè)操作更簡(jiǎn)便。

四、可觀測(cè)檢測(cè)對(duì)象（脈理定義）

脈理：玻璃等透明介質(zhì)局部折射率突變區(qū)域，設(shè)備可檢出以下缺陷 / 現(xiàn)象：

光學(xué)玻璃內(nèi)部脈理、表面劃傷、研磨不均（柚子皮紋理）；

氣體氣流折射率擾動(dòng)：噴涂噴嘴出氣氣流、風(fēng)道紊流、空氣對(duì)流可視化；

化合物半導(dǎo)體晶圓內(nèi)部晶體缺陷；

曲面透鏡類工件：可采用折射率匹配浸液法消除曲面干擾完成觀測(cè)；UMY-20 水平款可免浸液簡(jiǎn)易檢測(cè)曲面鏡片。

五、四大核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. Schlieren 紋影高靈敏成像，微小折射率缺陷可視化

肉眼無法分辨的細(xì)微折射率紊亂直接成像，檢出精度覆蓋光學(xué)加工、半導(dǎo)體晶圓微觀缺陷。

2. 操作門檻低，無需專業(yè)檢測(cè)培訓(xùn)

一體化光學(xué)光路 + 顯示器實(shí)時(shí)成像，普通操作員即可完成批量巡檢，降低人工培訓(xùn)成本。

3. 一機(jī)多用途，固體 / 流體雙向觀測(cè)

兼顧固體透明件缺陷質(zhì)檢、流體氣流可視化實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)室與產(chǎn)線通用。

4. 大視野 Φ75mm，適配中大尺寸工件

單次觀測(cè)覆蓋大范圍樣品，減少多次移動(dòng)載臺(tái)，提升批量檢測(cè)效率。

六、三大應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)行業(yè)：光學(xué)玻璃、透鏡、棱鏡脈理、劃痕、研磨不良全檢；

半導(dǎo)體行業(yè)：化合物半導(dǎo)體晶圓晶體缺陷無損篩查；

流體實(shí)驗(yàn)室：氣流、噴涂氣流、風(fēng)道紊流可視化觀測(cè)實(shí)驗(yàn)。