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Flon氟隆化工氟食素迷你三路連接閥NR1128

Flon氟隆化工氟食素迷你三路連接閥NR1128

一、產(chǎn)品基礎(chǔ)概述

NR1128 是日本 Flon 氟隆化工氟食素全氟樹脂系列微型三通切換閥，定位半導體、高純化學、微量腐蝕流體管路專用小型三通球閥，業(yè)內(nèi)統(tǒng)稱迷你三路連接閥；“氟食素” 為 Flon 自研高純 PCTFE/PFA 復合氟樹脂材料體系，主打無金屬析出、耐蝕、微型化集成管路切換場景。

基礎(chǔ)型號信息

完整型號：NR1128

品類：微型三通 L 型切換球閥（三路連通，90° 手動換向）

品牌：Flon（日本氟隆化工，專攻高純氟流體元器件）

結(jié)構(gòu)形式：一體式全氟塑料閥體，無金屬過流部件

適配管路：標準 1/4 英寸高純氟管（PFA/PTFE 管卡套快插）

二、核心材質(zhì)（氟食素材料核心優(yōu)勢）

過流全部位：氟食素高純 PCTFE + 改性 PFA 復合料

介質(zhì)接觸閥體、球芯、閥座、密封環(huán)全部為氟食素氟樹脂，不含不銹鋼、銅、橡膠等易析出金屬 / 雜質(zhì)部件；化學惰性覆蓋濃酸堿、光刻藥液、蝕刻液、各類高純有機溶劑，無溶出、無離子污染，適配半導體超凈制程。

外部操作手柄：改性防靜電 PFA

防靜電設(shè)計，避免潔凈車間靜電擊穿晶圓 / 藥液；低摩擦不粘藥液，表面光滑。

密封結(jié)構(gòu)：一體成型氟樹脂硬密封，無軟膠圈老化滲漏隱患。

三、工作原理與流路切換邏輯

屬于L 型三通微型球閥，手動 90° 旋轉(zhuǎn)手柄完成三種流路模式切換：

工位 1：入口 A ? 出口 B 導通，C 通道關(guān)閉；

工位 2：入口 A ? 出口 C 導通，B 通道關(guān)閉；

中位全關(guān)：A/B/C 三路切斷，可管路泄壓、取樣、設(shè)備隔離。

球芯一體式精密注塑成型，內(nèi)腔流道光滑無滯留死角，微量流體切換無殘液交叉污染，適合微量藥劑配比、取樣、清洗管路分時切換。

四、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

通徑與尺寸

迷你微型結(jié)構(gòu)，流通內(nèi)徑 φ4mm；整體閥體長寬僅 32×26mm，占用極小安裝空間，適配設(shè)備內(nèi)部密集集成管路。

承壓范圍

常溫額定工作壓力：0~0.7MPa；短時耐壓 1.0MPa；真空工況可穩(wěn)定使用，無滲透、無脫層。

使用溫度

-20℃ ~ 120℃，高低溫下氟樹脂密封不硬化、不變形；冷熱藥液交替工況穩(wěn)定。

連接方式

三端口統(tǒng)一 1/4" 卡套快插接口，直插 PFA/PTFE 軟管，無需膠水焊接，拆裝快速，滿足無塵車間快速換管需求。

潔凈等級

出廠超純水超聲清洗 + 無塵真空包裝，符合半導體 Class100 潔凈標準，金屬離子析出量＜1ppb。

操作扭矩

氟樹脂自潤滑，手柄旋轉(zhuǎn)扭矩極小，單手輕松換向，長期反復開關(guān)無卡滯。

五、結(jié)構(gòu)創(chuàng)新亮點

全氟無金屬一體式閥體

無內(nèi)嵌金屬閥芯、金屬閥桿，杜絕腐蝕析出，區(qū)別于市面襯氟金屬微型閥；閥體一體注塑，無拼接縫隙，杜絕介質(zhì)滲入夾層腐蝕。

迷你緊湊型集成設(shè)計

同通徑下體積遠小于常規(guī)三通閥，可密集排布在設(shè)備機臺內(nèi)部、微型藥液分配模組、小型清洗腔體。

零死腔流道

球芯流道圓弧過渡，無凹槽死角，藥液、高純試劑不會殘留滋生雜質(zhì)，避免批次交叉污染。

防靜電本體

氟食素添加防靜電配方，半導體光刻、清洗工序防靜電擊穿，適配晶圓制程。

耐老化長壽命：氟樹脂耐紫外線、耐氧化，連續(xù)開關(guān) 10 萬次以上密封無泄漏。

六、適用介質(zhì)與應用行業(yè)

適配介質(zhì)

硝酸、硫酸、強堿液、顯影液、蝕刻液、高純 IPA、各類電子級有機溶劑、超純水、微量腐蝕化工試劑。

核心應用場景

半導體 / 面板：晶圓清洗機、顯影蝕刻設(shè)備微量藥液切換、取樣閥；

精密化工：實驗室微量腐蝕藥劑配比、小型反應釜管路換向；

光伏鋰電：高純電解液、清洗液分時切換管路；

醫(yī)療生物：高純腐蝕試劑輸送、潔凈流體取樣；

實驗室設(shè)備：小型耐腐蝕流體分配模組。

七、標準維護保養(yǎng)方法

日常巡檢

每周目視檢查閥體有無裂紋、卡套接口是否松動；無肉眼可見藥液結(jié)晶附著即為正常。

定期清潔

切換不同藥液前，通入超純水沖洗內(nèi)腔 3~5 分鐘，清除殘液；結(jié)晶輕微附著可用稀硝酸浸泡沖洗，不可使用硬質(zhì)毛刷刮擦內(nèi)腔氟樹脂表面。

密封與壽命維護

每 6 個月完整開關(guān) 20 次防止球芯粘連；若出現(xiàn)內(nèi)漏，直接更換整套閥體（密封與閥體一體，不可單獨更換密封件）。

禁止工況

不可長期超 120℃高溫、不可通入含硬質(zhì)顆粒漿料（易劃傷氟樹脂密封面）、不可外力暴力掰動手柄。

儲存要求

閑置閥門保持三路全開，真空避光存放，避免長時間受壓變形。

八、產(chǎn)品核心優(yōu)勢對比

對比金屬襯氟三通閥：無金屬基材，零離子析出，體積縮小 60%；

對比普通 PFA 微型閥：氟食素復合材質(zhì)耐性能提升，防靜電，使用壽命翻倍；

對比二通閥：單閥實現(xiàn)兩路流體分時切換，減少管路接頭，降低泄漏點，節(jié)省設(shè)備安裝空間。