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一、基礎(chǔ)信息

核心特點(diǎn)

1. 大通導(dǎo)流導(dǎo)：閥板全開通流面積大，幾乎不會(huì)損耗真空泵抽氣速率，排氣阻力極低。

2. 超高氣密性：氦檢泄漏率≤1.3×10?? Pa?cm3/s，滿足高真空工況密封標(biāo)準(zhǔn)。

3. 閥體材質(zhì)可選：標(biāo)準(zhǔn)款 SS400 鍍鎳；耐腐蝕款 SUS304 不銹鋼閥體。

4. 密封件選配：標(biāo)配氟橡膠 FKM；普通真空環(huán)境可選 NBR 丁腈橡膠密封圈。

5. 法蘭標(biāo)準(zhǔn)：JIS B2290 VG 槽真空法蘭，匹配日系真空管路系統(tǒng)。

6. 結(jié)構(gòu)牢固免維護(hù)：純機(jī)械手動(dòng)結(jié)構(gòu)，無需氣源與電控，無電氣故障，適合現(xiàn)場手動(dòng)操作。

二、完整型號清單（標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)貨型號）

外形安裝尺寸（單位：mm）

三、技術(shù)參數(shù)

• 驅(qū)動(dòng)方式：手輪手動(dòng)機(jī)械啟閉

• 適用真空等級：高真空系統(tǒng)，極限真空可達(dá) 10?? Pa

• 法蘭：JIS VG 真空槽法蘭

• 靜態(tài)漏率：He 檢漏 ≤1.3E-9 Pa?cc/sec

• 閥體：SS400 鍍鎳（標(biāo)準(zhǔn)）/ SUS304 不銹鋼（耐蝕選型）

• 密封：FKM 氟橡膠（標(biāo)配）/ NBR 丁腈橡膠

• 適用溫度：常溫真空工況

• 配套升級：可后期加裝閥位指示開關(guān)

四、行業(yè)應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體真空設(shè)備：鍍膜機(jī)、濺射設(shè)備、晶圓清洗腔體手動(dòng)隔斷閥；SiC 碳化硅工藝真空管路手動(dòng)切斷。

2. 真空熱處理：真空退火爐、釬焊爐、燒結(jié)爐真空管道手動(dòng)開關(guān)。

3. 實(shí)驗(yàn)室科研設(shè)備：電子束蒸發(fā)設(shè)備、高真空腔體旁路手動(dòng)截止。

4. 凍干與鋰電行業(yè)：真空干燥箱、冷凍干燥機(jī)、原料脫泡設(shè)備真空主路手動(dòng)閥門。

5. 真空機(jī)組前端：旋片泵、干泵、擴(kuò)散泵入口手動(dòng)隔離閥，防止停機(jī)氣體返流污染泵體。