
日本KOKUSAN科庫森(國産遠(yuǎn)心機(jī))鈴田上海代理原廠半導(dǎo)體晶圓專用對(duì)向式甩干離心干燥設(shè)備,行業(yè)成熟量產(chǎn)機(jī)型,依靠離心力 + 潔凈氣流協(xié)同完成晶圓表面精密脫水干燥,適配半導(dǎo)體光刻、清洗后工序潔凈制程株式會(huì)社コクサン。KOKUSAN 科庫森 H840SA 對(duì)向式離心干燥機(jī),
KOKUSAN科庫森自轉(zhuǎn)式離心干燥機(jī)Spin Dryer、KOKUSAN科庫森自轉(zhuǎn)式離心干燥機(jī)Spin Dryer

KOKUSAN 科庫森 SPD-180 自轉(zhuǎn)式離心干燥機(jī)(Spin Dryer)
這是一款作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)用晶圓干燥裝置擁有許多實(shí)際經(jīng)驗(yàn)的設(shè)備。
通過離心力和氣流將工件在清潔的水中切割并干燥。
通過提升機(jī)構(gòu),自動(dòng)提升提升架。
| 電源 | AC200V 3φ 50/60Hz 8A |
|---|
| 驅(qū)動(dòng)空氣 | 0.3兆帕 (3千克/平方厘米2) |
|---|
| 最大處理量 | 8英寸×25枚載體 1載體 |
|---|
| ULPA過濾器 | 有 |
|---|
| 離子發(fā)生器 | 有 |
|---|
| 控制 | PLC?逆變器 |
|---|
| 操作部 | 觸摸屏 |
|---|
| 駕駛食譜注冊(cè)數(shù) | 5種類 |
|---|
| 轉(zhuǎn)數(shù) | 3,500轉(zhuǎn)/分鐘 (適用于5英寸及以下,6英寸及以上為3,000轉(zhuǎn)/分鐘) |
|---|
| 電機(jī) | 逆變器電機(jī) |
|---|
| 寸法 | 652(寬)×1135(深)×1080(高)毫米 蓋開時(shí)的高度1352(高)毫米 |
|---|
| 重量 | 110Kg |
|---|
※我們還有8英寸及以下的設(shè)備、手動(dòng)機(jī)、自動(dòng)機(jī)等產(chǎn)品。
在半導(dǎo)體以外的應(yīng)用中,也請(qǐng)隨時(shí)與我們咨詢。
電話咨詢:CHINA區(qū)域一級(jí)代理商鈴田科技(上海)有限公司

KOKUSAN 科庫森 SPD-180 自轉(zhuǎn)式離心干燥機(jī) 半導(dǎo)體晶圓專用高速甩干機(jī)
自轉(zhuǎn)式 Spin Dryer SPD-180 高潔凈 ULPA 除靜電晶圓離心脫水干燥設(shè)備
日本國產(chǎn)離心機(jī) SPD-180 4/6/8 英寸硅片清洗后精密離心干燥機(jī)
日本 KOKUSAN 科庫森 SPD-180 自轉(zhuǎn)式離心干燥機(jī) 8 英寸晶圓甩干機(jī) 半導(dǎo)體旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)
原裝科庫森 SPD-180 自旋式甩干機(jī) 硅片清洗無水痕離心干燥機(jī) Spin Dryer
KOKUSAN SPD-180 晶圓離心干燥機(jī) 單花籃高速自轉(zhuǎn)式脫水機(jī) 濕法工藝甩干設(shè)備
用戶評(píng)論
發(fā)布評(píng)論