OKK大宮工業(yè)半導(dǎo)體硅晶圓（Si Wafer）清洗+干燥一體設(shè)備

日本OKK大宮工業(yè)株式會(huì)社（Omiya Kogyo）SPD 系列是專為半導(dǎo)體晶圓研發(fā)的高精度離心旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)（Spin Dryer），主要用于晶圓清洗后的高效、潔凈脫水，是半導(dǎo)體制造工藝中的關(guān)鍵設(shè)備。

日本OKK大宮工業(yè) Spin Dryer SPD系列 是專為半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的晶圓離心脫水設(shè)備，主要用于清洗后晶圓（2–12英寸）的高效、無污染干燥。該系列設(shè)備依托OKK原創(chuàng)的?自動(dòng)平衡技術(shù)（FAB）?與?潔凈室兼容設(shè)計(jì)?，實(shí)現(xiàn)低振動(dòng)、高潔凈度脫水，避免顆粒污染，適用于前道工藝后的濕法處理環(huán)節(jié)。

日本SPINDRYER甩干機(jī)  半導(dǎo)體行業(yè)用SPD160RN/SPD180RN/H840A/H1120RN/SPD-100/SPD-200/SPD-300/

核心技術(shù)與特點(diǎn)

• 干燥原理

  結(jié)合高速離心力與潔凈氣流，將晶圓表面的藥液、水漬快速甩除，并通過氣流吹掃實(shí)現(xiàn)干燥。

• 潔凈設(shè)計(jì)

• 標(biāo)配 ULPA 超高效過濾器，確保干燥環(huán)境無塵。

• 內(nèi)置 離子發(fā)生器（Ionizer），消除靜電，防止晶圓吸附微塵。

• 腔體及轉(zhuǎn)籃采用 SUS304/316 不銹鋼 電解研磨，耐腐蝕、不發(fā)塵。

• 精密平衡

  應(yīng)用 OKK 專有動(dòng)平衡技術(shù)，高速旋轉(zhuǎn)時(shí)低振動(dòng)、低噪音，保護(hù)脆弱晶圓。

• 智能控制

• PLC + 觸摸屏操作，可存儲(chǔ)多組工藝配方（Recipe）。

• 轉(zhuǎn)速、時(shí)間多段可編程（通常 0-999 秒，8 段速可調(diào)）。

• 安全聯(lián)鎖：門蓋檢測、門鎖機(jī)構(gòu)、異常停機(jī)保護(hù)。

?日本OKK大宮工業(yè)Spin Dryer SPD系列?是一種專用于半導(dǎo)體晶圓制造后段清洗工藝的旋轉(zhuǎn)干燥設(shè)備，利用高速旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力與精確控制的氣流，高效去除晶圓表面的殘留水分，確保干燥過程潔凈、安全且不損傷脆弱工件。該系列設(shè)備具備優(yōu)異的平衡技術(shù)與ULPA過濾系統(tǒng)，支持多種晶圓尺寸（如2~12英寸），適用于高潔凈度要求的FAB環(huán)境。

設(shè)備核心特點(diǎn)包括：

?高效率干燥?：結(jié)合離心力與定向氣流，實(shí)現(xiàn)短時(shí)間干燥

?安全穩(wěn)定?：標(biāo)配離子發(fā)生器與ULPA過濾器，減少靜電與二次污染

?靈活配置?：支持自動(dòng)平衡、多托架設(shè)計(jì)及定制化選項(xiàng)

?廣泛兼容?：可適配不同尺寸晶圓（8inch/12inch等）與自動(dòng)化傳送系統(tǒng)