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| ¥680000 |
| ≥100件 |
OTSUKA/日本大塚
經(jīng)銷商
GS-300
16
四川成都市
2026/6/23 9:00:43
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 10萬-20萬 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,食品/農(nóng)產(chǎn)品,電子/電池,電氣,綜合 |
特點(diǎn)
● 支持到300mmEFM單元備用端口的集成
● 實(shí)現(xiàn)嵌入在晶片中的布線圖案的圖案對(duì)齊
● 支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求
● 支持槽口對(duì)齊功能
● 小尺寸規(guī)格
● 高精度自動(dòng)校準(zhǔn)單元
規(guī)格
自動(dòng)Mapping系統(tǒng)式樣表 | |||
名稱 | 自動(dòng)Mapping系統(tǒng) | Load Port對(duì)應(yīng)膜厚儀 | |
型式 | - | - | GS-300 series |
樣品臺(tái)方式 | X-Y樣品臺(tái) | R-θ樣品臺(tái) | |
光學(xué)系 | 測(cè)量探頭 CCD相機(jī) | 同軸顯微測(cè)量頭 IR相機(jī) | |
最大晶圓尺寸 | 150mm以下 | 300mm以下 | 僅Ф300mm |
晶圓角度補(bǔ)正 | 有 | ||
Pattern對(duì)準(zhǔn) | 有 | ||
晶圓厚度范圍 | 視分光干涉式晶圓厚度傳感器的式樣而定 | ||
設(shè)備尺寸（W×D×H)mm | 本體:570x600x780 | 本體:773x760x600 | 500x500x1680 |
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大塚電子主要銷售用于光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查的裝置。其裝置用于在LED、OLED、汽車前燈等的光源?照明產(chǎn)業(yè)以及液晶顯示器、有機(jī)EL顯示器等平板顯示產(chǎn)業(yè)以及其相關(guān)材料的光學(xué)特性評(píng)價(jià)?檢查。以高速?高精度?高可靠性且有市場(chǎng)實(shí)際應(yīng)用的分光器MCPD系列為基礎(chǔ)，在中國(guó)的顯示器市場(chǎng)上有著20年以上銷售實(shí)例，為許多廠家在研究開發(fā)、生產(chǎn)部門所使用。并且在光源?照明相關(guān)方面，對(duì)國(guó)家級(jí)研究機(jī)構(gòu)、各個(gè)廠家的銷售量在逐步擴(kuò)大。
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