化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>其它半導(dǎo)體行業(yè)儀器設(shè)備>其它半導(dǎo)體設(shè)備>B-J350 MIYUKI美幸輝 B-J 系列 氣動(dòng)真空蝶閥
B-J350 MIYUKI美幸輝 B-J 系列 氣動(dòng)真空蝶閥
| 參考價(jià) | ¥1888-¥99999/件 |
- 公司名稱 玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司
- 品牌MIYUKI/美幸輝
- 型號(hào)B-J350
- 所在地深圳市
- 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間2026/6/16 14:02:47
- 訪問次數(shù) 9
聯(lián)系方式:譚維濤18825222238 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
進(jìn)口光學(xué)設(shè)備、電子計(jì)測儀器、科學(xué)儀器、機(jī)械加工設(shè)備、環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學(xué)用品、FA自動(dòng)化
| 價(jià)格區(qū)間 | 10萬-30萬 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|
MIYUKI美幸輝 B-J 系列 氣動(dòng)真空蝶閥
MIYUKI美幸輝 B-J 系列 氣動(dòng)真空蝶閥
一、產(chǎn)品定位
B-J:單氣缸 2 位(全關(guān) / 全開),僅做通斷隔離
BH-J:雙氣缸兩段式,支持慢抽 + 快抽雙開度
BAR-J/BJ4:電機(jī)伺服調(diào)節(jié)型,用于真空壓力精密調(diào)控
二、核心產(chǎn)品優(yōu)勢
超薄面間大通導(dǎo)
閥體厚度極薄,同等口徑下流導(dǎo)遠(yuǎn)優(yōu)于閘閥 / 角閥,抽氣速率高,縮短腔體預(yù)抽時(shí)間;無安裝流向限制,水平、垂直任意角度均可裝配。
超高潔凈低產(chǎn)塵
閥體、蝶板全 SUS304 不銹鋼,內(nèi)腔鏡面電解拋光;無塵室裝配檢測,無金屬滑動(dòng)摩擦結(jié)構(gòu),晶圓、光學(xué)膜等高潔凈場景無顆粒污染風(fēng)險(xiǎn)。
氦檢級超低泄漏
閥內(nèi)密封泄漏:≤1×10?? Pa?m3/s
閥桿軸封外泄漏:≤1×10?1? Pa?m3/s
滿足半導(dǎo)體高真空氦檢漏標(biāo)準(zhǔn),長期保壓無漏氣。
緩沖氣缸長壽命
齒輪齒條驅(qū)動(dòng),氣缸內(nèi)置氣墊緩沖,啟閉無沖擊、低噪音;標(biāo)準(zhǔn)壽命≥100 萬次啟閉,適配產(chǎn)線高頻循環(huán)工況。
完整信號(hào)反饋
標(biāo)配內(nèi)置微動(dòng)開關(guān)(NPN/PNP 可選),實(shí)時(shí)輸出閥門全開 / 全關(guān)到位信號(hào),直接對接 PLC 自動(dòng)化聯(lián)控。
多密封耐腐蝕可選
標(biāo)準(zhǔn) FKM 氟橡膠 O 圈;強(qiáng)腐蝕 / 高溫工況可升級 Kalrez 全氟醚密封,耐鹵素、酸堿工藝氣體。
三、通用標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 規(guī)格參數(shù) |
|---|---|
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 單作用 / 雙作用氣動(dòng)氣缸(標(biāo)準(zhǔn)雙作用) |
| 氣源條件 | 0.4~0.6MPa 潔凈干燥無油壓縮空氣 |
| 真空適用區(qū)間 | 常壓 10? Pa ~ 高真空 1×10?? Pa |
| 標(biāo)準(zhǔn)法蘭 | JIS(B-J 命名來源),可選 KF/NW、ISO、CF 法蘭 |
| 口徑規(guī)格 | DN25A /40A /50A /63A /80A /100A /160A /200A /250A /300A /350A |
| 接觸介質(zhì)材質(zhì) | 閥體 / 蝶板 SUS304 不銹鋼(電解拋光) |
| 標(biāo)準(zhǔn)密封 | FKM 氟橡膠;可選 Kalrez 全氟醚 |
| 最高烘烤溫度 | 閥體 150℃(氣缸≤40℃,烘烤需避開驅(qū)動(dòng)頭) |
| 啟閉動(dòng)作時(shí)間 | ≤1s |
| 閥位輸出 | NPN/PNP 微動(dòng)開關(guān)到位信號(hào) |
| 安裝方式 | 無流向限制,任意角度安裝 |
四、型號(hào)命名規(guī)則(舉例解析)
B:單氣缸兩位氣動(dòng)蝶閥(通斷型)
J:JIS 標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口
80:公稱通徑 DN80A
B-N63:KF (NW) 快裝法蘭款
B-C100:CF 超高真空法蘭款
B-J200-KLZ:升級 Kalrez 全氟醚密封
B-J160-SV:配套集成 DC24V 電磁閥一體款
五、結(jié)構(gòu)組成
閥體主體:超薄不銹鋼蝶閥本體,中線蝶板密封結(jié)構(gòu),全關(guān)零滲漏;
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)氣缸:齒輪齒條傳動(dòng),內(nèi)置緩沖減震;
閥位檢測模組:透明可視開關(guān)倉,直觀觀察觸點(diǎn)狀態(tài);
閥桿密封組件:雙層 FKM 軸封,杜絕外部大氣滲入真空腔體;
法蘭密封 O 圈:蝶板邊緣一體式彈性密封。
六、適用行業(yè)與典型工況
半導(dǎo)體制造
PVD 濺射、CVD 沉積、刻蝕設(shè)備分子泵前端隔離閥、腔體預(yù)抽管路切斷、工藝氣體真空隔斷;
光學(xué) / 真空鍍膜
光學(xué)玻璃、偏光片、AR 膜鍍膜爐主抽閥、靶室隔離閥;
鋰電新能源
極片真空烘烤、隔膜涂布真空設(shè)備、注液真空腔體通斷;
科研 / 光伏
真空退火爐、光伏鍍膜設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室高真空管路切換;
精密電子
晶圓貼膜、撕膜機(jī)真空吸附管路隔斷。
相關(guān)分類
該廠商的其他產(chǎn)品
- GAR-J300 MIYUKI美幸輝 電動(dòng)伺服閘板式 真空調(diào)節(jié)閥
- GAR-J250 MIYUKI美幸輝 電動(dòng)伺服閘板式 真空調(diào)節(jié)閥
- GAR-J200 MIYUKI美幸輝 電動(dòng)伺服閘板式 真空調(diào)節(jié)閥
- GAR-J160 MIYUKI美幸輝 電動(dòng)伺服閘板式 真空調(diào)節(jié)閥
- GAR-J100 MIYUKI美幸輝 電動(dòng)伺服閘板式 真空調(diào)節(jié)閥
- GAR-J80 MIYUKI美幸輝 電動(dòng)伺服閘板式 真空調(diào)節(jié)閥
- GAR-J50 MIYUKI美幸輝 電動(dòng)伺服閘板式 真空調(diào)節(jié)閥
- GAR-J40 MIYUKI美幸輝 電動(dòng)伺服閘板式 真空調(diào)節(jié)閥



采購中心
化工儀器網(wǎng)