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近年來，美辛輝的產品已經能夠為各個領域的客戶做出貢獻。有液晶，有機EL，電池相關，半導體和空間業(yè)務等各種應用。真空技術仍然是一個可以廣泛使用的領域。我們期待您繼續(xù)惠顧我們的產品。此外，牢記創(chuàng)始人平澤美奈子的公司座右銘，“讓我們保持交貨日期并擴大信任”，我們將繼續(xù)以可靠的技術和開發(fā)能力為客戶提供各種各樣的產品。
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MIYUKI美幸輝 電動伺服閘板式 真空調節(jié)閥產品參數
| 價格區(qū)間 | 10萬-30萬 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
MIYUKI美幸輝 電動伺服閘板式 真空調節(jié)閥詳細信息
MIYUKI美幸輝 電動伺服閘板式 真空調節(jié)閥
MIYUKI美幸輝 電動伺服閘板式 真空調節(jié)閥
一、產品定位與型號命名
1. 系列定義
GAR 屬于G 精密控制大類，閘板式電動伺服無級連續(xù)調節(jié)閥，主打DN80~DN400 大口徑主管路真空壓力閉環(huán)穩(wěn)壓；對比 BAR 蝶閥，閘板流道線性更佳、微小開度控流更穩(wěn)定，適配鋰電、寬幅卷繞鍍膜、大型半導體量產設備主抽管路動態(tài)調壓。
2. 完整型號規(guī)則
GAR + 法蘭代碼 + 公稱通徑 + BGAR：閘板式電動伺服連續(xù)調節(jié)閥（0~90° 全行程無級）
法蘭代碼：J=JIS 日標 / N=KF 快裝 / I=ISO-F 歐標 / C=CF 超高真空刀口
數字：DN 通徑（25/40/50/63/80/100/160/200/250/300/350/400）
后綴 B：內置電磁剎車，斷電鎖止當前開度（標準標配）
示例：
GAR-I300B：ISO 法蘭 DN300 大口徑量產主抽調節(jié)閥
GAR-J150B：JIS 法蘭 DN150 日系半導體設備配套
GAR-C63B：CF 法蘭 DN63 超高真空可烘烤科研閥
二、核心工作原理
搭配MS-VP 開度控制器 / MGCS-11 真空閉環(huán)控制器，接收 PLC 輸出 DC0~10V/4~20mA 模擬指令；
伺服電機直驅閘板（無齒輪傳動、零背隙），0° 全關～90° 全開連續(xù)線性定位；
內置高精度角度傳感器實時回傳當前開度，形成閥位閉環(huán)；
MGCS 可接入真空計，自動 PID 運算輸出信號調節(jié) GAR 開度，實現腔體真空全自動穩(wěn)壓，控制精度 ±0.1% 設定壓力。
三、核心產品優(yōu)勢（閘板式差異化）
閘板流道，微小開度線性穩(wěn)定
相比蝶閥，0~10° 極小節(jié)流區(qū)間氣流無畸變，鍍膜分壓、刻蝕低壓工況壓力無漂移，適合精密工藝微量控流。
大口徑高推力伺服直驅
覆蓋 DN80~400 超大口徑，電機扭矩充足，大管路啟閉、長期高頻調節(jié)無卡頓，適配連續(xù)式量產真空爐主抽。
電磁剎車斷電保護（標配 B 型）
斷電瞬間鎖死閘板開度，腔體壓力不突變；可定制失電自動全關版本，防止大氣沖入污染晶圓、卷材。
超高潔凈低發(fā)塵構造
閥體、閘板 SUS304 不銹鋼鏡面電解拋光，內部無金屬滑動摩擦結構，無塵車間組裝，Class1000 潔凈室兼容，顆粒析出極低。
氦檢級超低泄漏指標
閥座內泄漏：≤1×10?1? Pa?m3/s
閥桿軸封外泄漏：≤1×10?1? Pa?m3/s
滿足半導體、光學鍍膜嚴苛氦檢漏標準，長期保壓不漏氣。
耐高溫、耐腐蝕密封可選
標準 FKM 氟橡膠 O 圈；鹵素等離子、酸堿腐蝕工藝升級 Kalrez 全氟醚密封；閥體最高 150℃烘烤（伺服電機環(huán)境≤40℃，不可烘烤驅動頭）。
低噪音運行
啟閉、微量調節(jié)無沖擊震動，潔凈車間噪音控制達標；無流向限制，水平、垂直、倒置任意角度安裝。
四、標準通用技術參數
| 參數項目 | 標準規(guī)格 |
|---|---|
| 驅動結構 | 伺服電機直驅閘板式，零背隙，標配電磁剎車鎖止 |
| 控制輸入信號 | DC0~10V / 4~20mA 模擬量 |
| 開度反饋輸出 | DC0~10V / 4~20mA 實時閥位回傳 |
| 真空適用區(qū)間 | 常壓 10? Pa ~ 高真空 10?? Pa；CF 款可達 10?? Pa 超高真空 |
| 法蘭規(guī)格 | JIS / KF / ISO-F / CF 全法蘭覆蓋 |
| 標準口徑 | DN25~DN400；主力主推 DN80~400 大口徑 |
| 介質接觸材質 | SUS304 不銹鋼鏡面電解拋光 |
| 標準密封 | FKM 氟橡膠；可選 Kalrez 全氟醚密封 |
| 閥體烘烤上限 | 150℃；伺服驅動頭環(huán)境≤40℃ |
| 行程范圍 | 0° 全關～90° 全開 無級連續(xù)定位 |
| 泄漏性能 | 內漏≤1×10?1? Pa?m3/s；軸外漏≤1×10?1? Pa?m3/s |
| 保護機制 | 標準斷電鎖止；定制彈簧復位失氣 / 失電全關 |
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內容聲明：
您訪問的MIYUKI美幸輝 電動伺服閘板式 真空調節(jié)閥產品信息，由玉崎半導體（深圳）有限公司自行發(fā)布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于MIYUKI美幸輝 電動伺服閘板式 真空調節(jié)閥型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
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