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產品簡介
SCREEN VM-1020顯微鏡式光學干涉膜厚測量儀產品參數(shù)
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 綜合 |
SCREEN VM-1020顯微鏡式光學干涉膜厚測量儀詳細信息
SCREEN Semiconductor Solutions 推出的 VM-1020 光譜膜厚測量系統(tǒng)。這是一款專為研發(fā)（R&D）設計的顯微鏡型測量設備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
產品概覽
VM-1020 是一款結合了顯微鏡和光譜儀的精密儀器。它通過分析樣品表面的反射光，在可見光范圍內同時測量所有波長，從而實現(xiàn)對薄膜厚度的快速、高精度測定。
核心特性
高速高精度測量：采用光纖輸入型 CCD 光譜儀，能夠同時測量全波段光譜，配合高性能 CPU 進行高速運算，可立即顯示膜厚數(shù)值。
操作簡便：系統(tǒng)內置“配方向導”功能，極大地簡化了復雜配方的創(chuàng)建過程，同時改進了配方的注冊與管理。
專為研發(fā)設計：其顯微鏡結構使其特別適合在研發(fā)環(huán)境中進行精確的局部測量。
主要測量功能
該系統(tǒng)具備強的大的分析能力，可滿足多樣化的測量需求：
多層膜測量：支持 25 種類型的層狀薄膜測量（UV 模式下支持 29 種），并可同時測量最多 四層 的層狀薄膜。
光譜分析：能夠測量光譜反射率。
數(shù)據(jù)可視化：提供測量數(shù)據(jù)的三維映射圖及其他統(tǒng)計輸出。
蝕刻率計算：可計算蝕刻速率。
自定義功能：允許用戶注冊新的薄膜類型。
技術規(guī)格
| 項目 | 詳細參數(shù) |
|---|---|
| 產品名稱 | VM-1020 |
| 產品類型 | 光譜膜厚測量系統(tǒng) |
| 適用場景 | 研發(fā)（R&D） |
| 晶圓尺寸 | 50mm - 300mm |
SCREEN VM-1020顯微鏡式光學干涉膜厚測量儀，這是一款專為研發(fā)（R&D）設計的顯微鏡型測量設備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
SCREEN VM-1020顯微鏡式光學干涉膜厚測量儀，這是一款專為研發(fā)（R&D）設計的顯微鏡型測量設備，旨在提供高精度、高速度的薄膜厚度分析解決方案。
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