MiScan 高效混合直寫光刻系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 華兆科技（廣州）有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2026/5/8 16:17:45
- 訪問次數(shù) 87
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MiScan 高效混合直寫光刻系統(tǒng)是為中國市場定制的先進曝光設備，提供多種光源選擇及靈活的運動平臺配置。其亮點在于高分辨率、精細的灰度等級以及精密的套刻對準精度，并支持百級凈化環(huán)境下的曝光操作。該系列設備適用于需要高精度加工的領域。
MiScan 高效混合直寫光刻系統(tǒng)技術特點
可選配大功率光源405nmLD、355nmDPSSL（Dpssl355nm激光光源壽命大于20000小時）
標準支持12英寸幅面基板，其他幅面可定制
多維光刻(偏振曝光、干涉曝光、1024階3D曝光)
高精密工件臺
高精度環(huán)控系統(tǒng)
自動聚焦，實時對準
分區(qū)定位，多基片，多任務曝光
支持自動與手動對準
GDSII、BMP、STL等文件格式支持
采購中心
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