AS-one 快速退火爐
- 公司名稱(chēng) 上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) AS-one
- 產(chǎn)地 法國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/6/23 15:00:34
- 訪問(wèn)次數(shù) 277
聯(lián)系方式:王先生15021495336 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
真空快速退火爐AS-OneAS-One是一種通用的RTP系統(tǒng),可用于開(kāi)發(fā)快速熱退火和快速熱CVD工藝??梢源钆浞肿颖脤?shí)現(xiàn)高真空下熱處理工藝。最高溫度1500 ℃,最快升溫速率200℃/Second。
AS-One是一種通用的RTP系統(tǒng),可用于開(kāi)發(fā)快速熱退火和快速熱CVD工藝。
可以搭配分子泵實(shí)現(xiàn)高真空下熱處理工藝。
最高溫度1500℃,升溫速率200℃/Second。
全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過(guò)沖,控溫精度準(zhǔn)確。
快速退火爐應(yīng)用:
RTA(快速熱退火)
RTO(快速熱氧化)
歐姆接觸退火
植入退火
石墨烯和hBN的快速熱化學(xué)氣相沉積RTCVD
硒化,硫化
結(jié)晶和致密化
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷(低噪音水平,無(wú)需壓縮空氣)
2、加熱由功率控制而非電壓控制,避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問(wèn)題,保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性,即使在后續(xù)使用過(guò)程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到最初的熱處理效果
3、石英腔體,腔體冷卻采用水冷,冷壁設(shè)計(jì),雙層不銹鋼
冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點(diǎn)在于:
1、無(wú)記憶
2、工藝重復(fù)性高
3、冷卻速度快
4、反應(yīng)腔室的設(shè)計(jì),氣體的進(jìn)入口設(shè)計(jì)在wafer的表面,避免在退火過(guò)程中冷點(diǎn)的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過(guò)程中的均溫性
5、快速數(shù)字PID控溫
6、熱電偶配合高溫計(jì)控溫,測(cè)試樣品的溫度
7、大氣和真空工藝均適合,凈化氣體配針閥
8、最多5路工藝氣體,配數(shù)字質(zhì)量流量控制器
9、電腦通過(guò)以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度
10、可選配石墨托盤(pán)表面涂SiC薄膜設(shè)計(jì),用于小樣品測(cè)試
11、可選配分子泵,用于高真空測(cè)試
產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)配置及規(guī)格參數(shù):
1、樣品尺寸:AS-One100:4-inch;AS-One150 :6-inch;
2、溫度范圍:
AS-One100室溫~1250 ℃;(室溫~1500 ℃可選)
AS-One150室溫~1200 ℃;(室溫~1300 ℃可選)
3、升溫速率:
AS-One100 :0.1 ℃~250℃/s ;
AS-One150 :0.1 ℃~200℃/s ;
4、溫度控制:快速數(shù)字PID控制;
5、熱電偶:2個(gè)K型熱電偶;
6、低溫高溫計(jì)溫度范圍:150℃~1100℃;
7、高溫高溫計(jì)溫度范圍:400℃~1500℃;
8、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計(jì);
9、配置真空泵及真空規(guī)。



采購(gòu)中心
化工儀器網(wǎng)