高溫磁場加熱系統(tǒng) GC350-200的技術參數(shù)

高溫(磁場)退火爐系統(tǒng),可以在高溫和外加磁場條件下對需要處理的樣品進行退火處理。通過系統(tǒng)軟件,可以設定溫度和磁場變化曲線,從而實現(xiàn)所需的退火步驟。此系統(tǒng)操作簡單方便,可以輕松達到改善材料性能、改變材料中原子磁矩的方向和排布等目的。
錦正茂高溫磁場退火爐是由升溫高溫爐,高溫爐加熱電源,Labview控制軟件,電磁鐵,雙極性恒溫電源,分子泵組,水冷機組共同組成的一套反饋調節(jié)的加熱系統(tǒng)。
GC350-200主要技術指標:
※ 溫度范圍:室溫-350℃(硅片上邊溫度)
※ 控溫精度:±1℃
※ 溫度分辨率:0.1℃
※ 樣品尺寸:8英寸(需要有固定夾具,還有10mmx10mm,20mmx20mm樣品也需要考慮單獨固定)
※ 樣品溫度:精圓上單獨放一個溫度計,測量精圓表面溫度(溫度計封裝在鍍金無氧銅塊內,銅塊與精圓接觸測 溫,使用比較細的軟線方便移動與測量)
※ 磁場強度:>1000oe(樣品測試處磁場)
※ 持續(xù)工作時間:5小時
※ 樣品臺尺寸:210mm (根據(jù)實際可更改,不小于8英寸),
※ 樣品臺采用三維移動方式,移動行程:±110mm,移動精度:10um
※ 樣品臺主要零部件材質均為**無磁合金制作;
※ 在室溫到350度,升溫速率優(yōu)于10K/min,*高加熱溫度350℃;控溫精度:±1℃;
※ 加熱時,加熱絲被封裝在石英管內,極大程度的減少由于加熱絲的揮發(fā)造成樣品表面附著物的污染;
※ 匹配磁鐵電源:雙極性,穩(wěn)定度優(yōu)于±25ppm/h,平滑過零無斷點;
※ 匹配電磁鐵:長時間運行穩(wěn)定度<±0.5Gs;
※ 冷卻方式:自然冷卻。
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