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致力于提供表面性能處理以及檢測整體解決方案，集研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的國家高新技術(shù)企業(yè)。核心產(chǎn)品系列有接觸角測量儀、等離子清洗機、USC千式超聲波除塵清洗機、離子靜電消除裝置、接觸角精密噴射系統(tǒng)等表面性能處理及檢測儀器設(shè)備。
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半自動快速退火爐產(chǎn)品參數(shù)
| 溫度范圍 | 室溫~1250℃ | 最高升溫速度 | ≤25℃/s（SiC載盤） |
| 溫控方式 | 快速PID溫控 | 溫度控制重復(fù)性 | ±1℃ |
半自動快速退火爐詳細信息
半自動快速退火爐RTP-SA-12是在保護氣氛下的半自動立式快速退火系統(tǒng)，可兼容4-12英寸晶圓Wafer。
半導(dǎo)體快速退火爐的產(chǎn)品優(yōu)勢
?采用紅外鹵素?zé)艄芗訜?，冷卻采用風(fēng)冷；
?快速PID溫控，可精準控制溫度升溫，保證良好的重現(xiàn)性和溫度均勻性；
?采用平行氣路進氣方式，氣體進出口設(shè)置在晶圓表面，避免退火過程中冷點產(chǎn)生，保證良好的溫度均勻性；
?大氣與真空處理方式均可選擇，實現(xiàn)進氣前氣體凈化處理；
?標配兩組工藝氣體，最多可擴展至6組工藝氣體。
晟鼎精密核心產(chǎn)品系列有接觸角測量儀、等離子清洗機、USC干式超聲波除塵清洗機、離子靜電消除裝置、半導(dǎo)體快速退火爐等表面性能處理及檢測儀器設(shè)備。
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移動站：半自動快速退火爐
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