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HORIBA S48/32 氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) | 產(chǎn)品種類(lèi) | 其他 |
| 價(jià)格區(qū)間 | 1-5千 | 介質(zhì)分類(lèi) | 氣體 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,電氣 |
HORIBA S48/32 氣體質(zhì)量流量控制器詳細(xì)信息
HORIBA S48/32 氣體質(zhì)量流量控制器
S48/32質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品介紹
氣體質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）（Mass gas flow controller(meter)縮寫(xiě)為 MFC(MFM)）是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制的設(shè)備。
S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）
特點(diǎn)： ☆工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用 VITON®、聚四氟乙烯等。適 用于各種耐腐蝕性氣體。線路板、閥體、彈等為重要零部件，均執(zhí)行 嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。 ☆具有精度高、重復(fù)性好、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定可靠。
☆電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。 ☆配合 MT-51 系列流量積算儀，可對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行計(jì) 量。
S48/32 質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）主要應(yīng)用領(lǐng)域：
半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制；
各種形式的真空鍍膜設(shè)備；
環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測(cè)和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測(cè)系統(tǒng)等。
S48/32質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品規(guī)格
S48 系列質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)） 質(zhì)量流量計(jì)，用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量測(cè)量計(jì)量； 質(zhì)量流量控制器，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量計(jì)量功能，還具有自動(dòng)控制氣 體的質(zhì)量流量功能。
主要技術(shù)指標(biāo) 質(zhì)量流量控制器（流量計(jì)）流量出廠通常用氮?dú)猓∟2）標(biāo)定。 質(zhì)量流量單位為：標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) mL/min（毫升/分鐘） （SCCM 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）； 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) L/min （升/分鐘） （SLM 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)）。 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃） 氣壓----101325Pa（1atm） F.S.(Full Scale)：表示滿(mǎn)量程值
HORIBA S48/32 氣體質(zhì)量流量控制器
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