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旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)是利用旋轉(zhuǎn)的離心力和吸入氣流的作用，將晶圓上的水滴和水分烘干的設(shè)備。我們的平衡技術(shù)和氣流控制最大限度地提高了工件的干燥效率，即使是脆弱的工件也能干凈安全地干燥。我們的旋轉(zhuǎn)干燥機(jī)擁有從設(shè)計(jì)到制造（包括控制）的一體化生產(chǎn)系統(tǒng)，并擁有制造商的無(wú)塵室和質(zhì)量控制系統(tǒng)。我們提供廣泛的選項(xiàng)和定制，例如自動(dòng)平衡器。紫外線照射機(jī)紫外線照射器是一種照射和固化紫外線固化膠帶/薄膜的設(shè)備。在半導(dǎo)體等芯片制造工序中研磨或切割工件的背面研磨和切割等工序中，作為剝離保護(hù)膠帶時(shí)的硬化劑使用。有照射任意累計(jì)光量*1的累計(jì)照射模式和照射任意時(shí)間量的照射時(shí)間模式兩種模式，可以根據(jù)設(shè)定條件照射UV。全自動(dòng)型有LED規(guī)格、高壓水銀規(guī)格、黑光規(guī)格，手動(dòng)型有黑光規(guī)格。晶圓傳送機(jī)晶圓傳輸機(jī)是一種自動(dòng)機(jī)器，可將晶圓從載具雙向傳輸或從載具傳輸?shù)街勖?。支持面?duì)面轉(zhuǎn)賬和背對(duì)背轉(zhuǎn)賬。特征：防止顆粒物產(chǎn)生，電機(jī)驅(qū)動(dòng)可防止產(chǎn)生顆粒。晶圓卡盤結(jié)構(gòu)我們的晶圓卡盤結(jié)構(gòu)抑制了晶圓轉(zhuǎn)移過程中的晃動(dòng)，保證了向石英舟的可靠轉(zhuǎn)移，即使是復(fù)合晶圓等重物也能準(zhǔn)確安全地轉(zhuǎn)移。
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