KOFLOC 科賦樂流量設(shè)備微量流體熱傳感與變截面測控技術(shù)

KOFLOC 科賦樂創(chuàng)立于 1949 年，核心研發(fā)方向聚焦微量氣體、腐蝕性介質(zhì)、潔凈流體的流量測量與閉環(huán)控制，產(chǎn)品線依托熱擴(kuò)散傳感、變截面浮子、卡門渦街三類成熟測量原理搭建，整機(jī)流道、閥體、傳感元件采用模塊化精密加工，可覆蓋從實(shí)驗(yàn)室微量載氣到產(chǎn)線大流量吹掃全量程工況，設(shè)備精度、響應(yīng)速度、耐介質(zhì)腐蝕性能適配半導(dǎo)體、光伏、精細(xì)化工、生物制藥多類潔凈制程標(biāo)準(zhǔn)。

品牌兩大核心測量技術(shù)具備明確差異化參數(shù)表現(xiàn)。其一為變截面浮子流量測控技術(shù)，RK 系列采用高精度錐形成型管搭配球形浮標(biāo)，集成一體式精密微調(diào)針閥，依靠流體浮力與流通截面積平衡實(shí)現(xiàn)可視流量讀數(shù)，量程覆蓋 0.5mL/min 至 200L/min，常規(guī)機(jī)型測量精度穩(wěn)定在 ±2% FS，高精密版本可達(dá) ±1% FS；機(jī)身區(qū)分 Pyrex 玻璃、SUS316 不銹鋼、PFA 樹脂多種接觸介質(zhì)材質(zhì)，低壓款壓損低至 0.6KPa，適配低壓氣源長期穩(wěn)定供氣場景，整機(jī)無電子元件，無需供電即可持續(xù)監(jiān)測流體流量。其二為熱式質(zhì)量流量控制技術(shù)，全系 MFC 搭載高速熱繞組傳感器，配合比例電磁閥形成閉環(huán)調(diào)控，全量程響應(yīng)時(shí)長控制在 1 秒以內(nèi)，控制區(qū)間覆蓋滿量程 2% 至 100%；腐蝕工況機(jī)型采用 EP 拋光全金屬密封流道，可通入氯氣、硅烷等特種工藝氣體，支持 RS485、EtherCAT 工業(yè)通訊協(xié)議，可直接接入自動(dòng)化產(chǎn)線控制系統(tǒng)完成遠(yuǎn)程流量參數(shù)調(diào)節(jié)與數(shù)據(jù)采集。液體監(jiān)測設(shè)備采用卡門渦街檢測結(jié)構(gòu)，壓電元件外置不接觸介質(zhì)，PFA 無密封圈流路規(guī)避微粒析出，內(nèi)置溫度補(bǔ)償模塊抵消液體溫度波動(dòng)帶來的測量偏差，適合高純藥液、清洗液定量輸送監(jiān)測。

晶圓加工產(chǎn)線長期批量使用科賦樂熱式 MFC 與浮子流量計(jì)，可作為品牌落地行業(yè)技術(shù)應(yīng)用案例。該產(chǎn)線開展 8 英寸功率芯片刻蝕、薄膜沉積全流程加工，前期通用流量控制器存在流量波動(dòng)大、腐蝕性氣體長期使用出現(xiàn)內(nèi)部滲漏、小量程供氣精度不足等問題，刻蝕工序氣體配比失衡直接造成晶圓表面蝕刻不均，批量產(chǎn)品良率波動(dòng)明顯。更換 KOFLOC 半導(dǎo)體專用 3200 系列金屬密封質(zhì)量流量控制器搭配 RK1200 微量吹掃流量計(jì)后，熱傳感閉環(huán)控制穩(wěn)定各工藝氣體供給比例，全金屬焊接流道降低特種氣體泄漏風(fēng)險(xiǎn)，微量吹掃回路依靠浮子針閥精準(zhǔn)調(diào)節(jié)氮?dú)廨d氣流速，刻蝕、沉積工序工藝參數(shù)一致性提升，批次產(chǎn)品外觀與電性不良占比持續(xù)收窄。相關(guān)產(chǎn)線僅市場化采購標(biāo)準(zhǔn)化流量設(shè)備投入加工使用，未參與品牌傳感、閥體結(jié)構(gòu)聯(lián)合開發(fā)，屬于常規(guī)潔凈流體測控應(yīng)用場景，直觀體現(xiàn)科賦樂設(shè)備在精密半導(dǎo)體制程中的穩(wěn)定適配能力。

依托不同流體介質(zhì)與工藝需求，科賦樂設(shè)備可對(duì)應(yīng)多細(xì)分產(chǎn)業(yè)技術(shù)要求。半導(dǎo)體制造領(lǐng)域選用低泄漏全金屬 MFC、鈦合金流道浮子流量計(jì)，適配刻蝕、鍍膜、晶圓吹掃、清洗高純流體管控；光伏硅片生產(chǎn)匹配防爆款質(zhì)量流量控制器，針對(duì)硅烷等易燃易爆氣體設(shè)置流量超幅自動(dòng)切斷機(jī)制，保障沉積、擴(kuò)散工序供氣安全；精細(xì)化工與環(huán)境分析儀器采用微量玻璃管流量計(jì)，精準(zhǔn)控制色譜儀載氣、實(shí)驗(yàn)室反應(yīng)釜配比氣體流量；生物制藥產(chǎn)線選用 PFA 材質(zhì)渦街液體流量計(jì)，無析出流道滿足藥液輸送、培養(yǎng)基定量添加潔凈標(biāo)準(zhǔn)；通用自動(dòng)化設(shè)備、離子風(fēng)機(jī)、點(diǎn)膠機(jī)配套經(jīng)濟(jì)型 RK 系列浮子流量計(jì)，完成設(shè)備內(nèi)部氮?dú)?、干燥空氣旁路吹掃監(jiān)測；燃燒、烘箱供熱場景選用耐高溫大流量金屬管機(jī)型，耐受 120℃介質(zhì)工作環(huán)境。

科賦樂主流技術(shù)產(chǎn)品線及對(duì)應(yīng)工藝特性劃分清晰，覆蓋全行業(yè)流體測控需求。第一類 RK 系列變截面浮子流量計(jì)，包含微量實(shí)驗(yàn)室款、通用設(shè)備嵌入款、耐高溫金屬款、低壓損專用款，優(yōu)勢(shì)為無源可視讀數(shù)、流量手動(dòng)微調(diào)、多材質(zhì)適配；第二類熱式質(zhì)量流量控制器 MFC，分通用模擬通訊機(jī)型、半導(dǎo)體耐腐蝕全金屬機(jī)型、微流量低泄漏機(jī)型，主打高速響應(yīng)、自動(dòng)化閉環(huán)調(diào)控、特種氣體兼容；第三類 FM 系列卡門渦街液體流量計(jì)，全 PFA 接觸介質(zhì)、無移動(dòng)磨損部件、溫度自動(dòng)補(bǔ)償，用于高純液體定量監(jiān)測；第四類配套數(shù)顯流量采集模塊，支持多臺(tái)流量計(jì)集中數(shù)據(jù)匯總、流量累計(jì)、異常信號(hào)輸出，適配產(chǎn)線集中監(jiān)控改造需求。