一、引言

在半導(dǎo)體、FPD（平板顯示）、電子器件等制造領(lǐng)域，工藝環(huán)境對(duì)真空度的清潔性要求日益嚴(yán)苛。傳統(tǒng)的油封式真空泵因存在油返流和油霧問(wèn)題，已難以滿(mǎn)足高潔凈度工藝的需求。ULVAC（愛(ài)發(fā)科）推出的RDA系列多級(jí)羅茨型干式真空泵，正是為解決這一行業(yè)痛點(diǎn)而設(shè)計(jì)。其中，RDA-281H作為該系列的典型代表，憑借其大排氣量、小型化設(shè)計(jì)及優(yōu)異的綜合性能，在分析設(shè)備、半導(dǎo)體制造、涂布設(shè)備等諸多領(lǐng)域獲得了廣泛應(yīng)用。

二、工作原理與技術(shù)架構(gòu)

多級(jí)羅茨型干泵是一種在真空腔體內(nèi)不使用油或任何密封液體的機(jī)械真空泵。RDA-281H的核心結(jié)構(gòu)由兩個(gè)三葉轉(zhuǎn)子構(gòu)成，它們被封裝在稱(chēng)為“殼體”的箱體內(nèi)，通過(guò)一對(duì)精密齒輪驅(qū)動(dòng)，以相同轉(zhuǎn)速沿相反方向同步旋轉(zhuǎn)。

其關(guān)鍵技術(shù)特征在于非接觸式設(shè)計(jì)——轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與殼體之間互不接觸，始終保持微米級(jí)間隙進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而完成氣體的輸送與壓縮。轉(zhuǎn)子采用六級(jí)排氣結(jié)構(gòu)，通過(guò)多級(jí)逐級(jí)壓縮，最終將氣體壓縮至大氣壓并排入大氣。齒輪和軸承部分使用潤(rùn)滑油進(jìn)行潤(rùn)滑，但通過(guò)特殊的密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效防止了潤(rùn)滑油進(jìn)入泵體腔室。

此外，RDA-281H內(nèi)置了恒溫器（Thermostat），能夠?qū)Ρ皿w溫度進(jìn)行監(jiān)控與管理，確保在各類(lèi)工況下的運(yùn)行穩(wěn)定性。

三、核心特點(diǎn)

3.1 清潔無(wú)污染

由于排氣室內(nèi)不使用真空油，RDA-281H從根本上杜絕了真空油的返流和油霧現(xiàn)象。這一特性對(duì)于半導(dǎo)體刻蝕、離子清洗等對(duì)顆粒和有機(jī)污染物極為敏感的工藝尤為關(guān)鍵。

3.2 全壓力范圍運(yùn)行

RDA-281H能夠從大氣壓到極限真空的全壓力范圍內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)行。這一特性使其無(wú)需像傳統(tǒng)機(jī)械增壓泵那樣需要前級(jí)泵配合即可獨(dú)立工作，簡(jiǎn)化了真空系統(tǒng)的配置。

3.3 無(wú)摩擦部件，長(zhǎng)壽命

由于轉(zhuǎn)子采用非接觸式設(shè)計(jì)，泵內(nèi)不存在滑動(dòng)摩擦部件，大幅延長(zhǎng)了設(shè)備的使用壽命。這對(duì)于需要長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行的工業(yè)場(chǎng)景具有重要意義，可顯著降低維護(hù)頻率和綜合運(yùn)營(yíng)成本。

3.4 優(yōu)異的耐水蒸氣性能

RDA-281H對(duì)水蒸氣具有很強(qiáng)的耐受性，最大水分吸引量可達(dá)300 g/h。這一特性使其在冷凍干燥、真空干燥等含水蒸氣較多的工藝中表現(xiàn)尤為出色。

3.5 無(wú)需冷卻水

該泵采用空冷設(shè)計(jì)，無(wú)需外接冷卻水。這不僅簡(jiǎn)化了安裝條件，也降低了運(yùn)行成本，尤其適用于冷卻水資源受限的使用場(chǎng)景。

3.6 電源兼容性強(qiáng)

一款機(jī)型即可支持單相（100～115V / 200～240V）和三相（200～240V）電源。這種靈活的電源適配能力使其能夠適應(yīng)不同國(guó)家和地區(qū)的供電標(biāo)準(zhǔn)，便于設(shè)備的全球化部署。

四、技術(shù)規(guī)格

RDA-281H的主要技術(shù)參數(shù)如下：

其中，“F.A”（Flush Air）為吹掃空氣功能，開(kāi)啟時(shí)可進(jìn)一步降低極限壓力。

五、應(yīng)用領(lǐng)域

RDA-281H憑借其清潔、高效、可靠的性能，在多個(gè)工業(yè)領(lǐng)域獲得了廣泛應(yīng)用：

• 半導(dǎo)體制造工藝：刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)

• 分析設(shè)備：各類(lèi)質(zhì)譜分析、表面分析儀器的真空系統(tǒng)

• 涂布設(shè)備：真空鍍膜、涂布工藝的真空環(huán)境維持

• TMP（渦輪分子泵）前級(jí)泵：為高真空泵提供必要的前級(jí)真空

• 氦氣泄漏檢測(cè)儀：檢漏系統(tǒng)的真空抽氣

• 真空熱處理：燒結(jié)爐、滲碳爐等熱處理設(shè)備的真空排氣

• 鋰電池制造：電極干燥、脫泡、注液等設(shè)備的真空系統(tǒng)

• 醫(yī)療與食品設(shè)備：冷凍干燥、真空干燥設(shè)備

• 氣體回收系統(tǒng)：工藝氣體的回收與處理

六、使用注意事項(xiàng)

為確保RDA-281H的安全運(yùn)行和長(zhǎng)壽命，需注意以下事項(xiàng)：

1. 防止粉末吸入：粉末和生成物吸入會(huì)導(dǎo)致泵損壞，建議在吸氣口安裝吸氣阱或過(guò)濾器。

2. 嚴(yán)禁抽除危險(xiǎn)氣體：請(qǐng)勿用于抽除爆炸性氣體、有毒氣體、腐蝕性氣體及有機(jī)溶劑氣體等，否則可能因氣體本身特性或引發(fā)爆炸、火災(zāi)而導(dǎo)致泵故障。

3. 室內(nèi)使用：該泵為室內(nèi)專(zhuān)用設(shè)備，請(qǐng)勿安裝在可能淋雨、淹水或室外環(huán)境中。

七、總結(jié)

ULVAC RDA-281H多級(jí)羅茨型干泵代表了干式真空泵技術(shù)在中低真空領(lǐng)域的重要成果。其六級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)、非接觸式轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)以及全壓力范圍運(yùn)行能力，使其在清潔度、可靠性和適用性方面均達(dá)到了較高水平。無(wú)需冷卻水、支持單相/三相電源的靈活設(shè)計(jì)，進(jìn)一步降低了用戶(hù)的部署門(mén)檻和運(yùn)營(yíng)成本。

在半導(dǎo)體、電子器件、分析儀器、鋰電池等制造領(lǐng)域?qū)φ婵窄h(huán)境要求不斷提升的背景下，RDA-281H憑借其大排氣量、小型尺寸、長(zhǎng)壽命、清潔無(wú)油的綜合優(yōu)勢(shì)，已成為諸多精密制造工藝中值得信賴(lài)的真空解決方案。