?? 工作原理

• 核心結(jié)構(gòu) ：設(shè)備內(nèi)部由一個(gè)薄彈性膜片隔開為兩個(gè)腔室，分別是測(cè)量腔和參考腔。參考腔內(nèi)有一個(gè)固定的電極，膜片與電極之間形成電容。
• 壓力測(cè)量 ：當(dāng)待測(cè)氣體進(jìn)入測(cè)量腔后，與參考腔之間形成壓力差，這會(huì)使彈性膜片產(chǎn)生微小的偏轉(zhuǎn)或形變。
• 電容變化 ：膜片的形變會(huì)改變它與固定電極之間的距離，進(jìn)而引起電容量的變化。這個(gè)電容變化量與壓力差成正比。
• 信號(hào)輸出 ：內(nèi)置的電子電路會(huì)將這種電容變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)（如電壓或電流），從而實(shí)時(shí)反映壓力值。其測(cè)量結(jié)果只與壓力有關(guān)，與被測(cè)氣體的種類無關(guān)。

?? 應(yīng)用行業(yè)

• 半導(dǎo)體制造 ：這是其最主要的應(yīng)用領(lǐng)域，高達(dá)80%。它在刻蝕、沉積、離子注入等需要高真空環(huán)境的設(shè)備中廣泛應(yīng)用，為晶圓進(jìn)腔、工藝啟停、腔體檢漏等提供關(guān)鍵參數(shù)依據(jù)。
• 光伏制造 ：在太陽能電池等光伏產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中也有應(yīng)用。
• 航空航天 ：用于需要高精度真空測(cè)量的場(chǎng)合。
• 核燃料制造 ：由于采用特殊合金材料（如Inconel合金）制成的膜片具有高抗腐蝕性，使其能在高腐蝕性氣氛下穩(wěn)定工作，因此也適用于核燃料制造領(lǐng)域。
• 蘇州昀控電子科技有限公司致力于開發(fā)精準(zhǔn)、穩(wěn)定、快速、可重復(fù)性高的流體測(cè)量和控制產(chǎn)品，為客戶提供可持續(xù)性發(fā)展價(jià)值。主要產(chǎn)品有高精度電容薄膜真空計(jì)、高精度氣體質(zhì)量流量控制器和高精度壓力控制器等，部分產(chǎn)品可適配或?qū)?biāo)國(guó)外同類產(chǎn)品的應(yīng)用場(chǎng)景。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于航天航空、半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)藥、化學(xué)工業(yè)、石油冶煉、電子器件等相關(guān)領(lǐng)域以及各大科研院校。憑借穩(wěn)定的性能和良好的客戶服務(wù)，產(chǎn)品贏得了市場(chǎng)的廣泛認(rèn)可。