在半導(dǎo)體行業(yè)中，離子色譜柱主要用于半導(dǎo)體原材料、超純水以及廢液中痕量離子的精準(zhǔn)檢測與分析，是半導(dǎo)體制程管控、產(chǎn)品純度保障及環(huán)保合規(guī)的核心耗材之一。例如，半導(dǎo)體芯片制造過程中，超純水作為關(guān)鍵清洗試劑，其純度直接影響芯片的良率和性能，水中痕量的陰離子和陽離子會(huì)導(dǎo)致芯片表面出現(xiàn)缺陷、氧化失效等問題；離子色譜柱可實(shí)現(xiàn)對(duì)這些痕量離子的高靈敏度、高分離度檢測，精準(zhǔn)把控離子含量，為制程優(yōu)化和產(chǎn)品質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

安譜實(shí)驗(yàn)推出多款高性能離子色譜柱，覆蓋陰離子、陽離子及專用分析柱，產(chǎn)品體系完整，配套保護(hù)柱齊全，兼容主流離子色譜儀，支持從常規(guī)無機(jī)離子到復(fù)雜有機(jī)離子的檢測需求，是半導(dǎo)體行業(yè)檢測分析的可靠選擇。

應(yīng)用一：

超純水中7種無機(jī)陰離子的分析

（碳酸根淋洗液）

色譜柱：CNWSep CS-P3 陰離子交換色譜柱 4.0×150mm,5μm（貨號(hào)：LAEQ-4015N3）

檢測器：電導(dǎo)檢測器 抑制電流：40mA

淋洗液：4.5mM Na₂CO₃ +1mM NaHCO₃

流速：1.0mL/min

進(jìn)樣體積：25μL

柱溫：30℃

應(yīng)用二：

超純水中10種無機(jī)陰離子的分析

（碳酸根淋洗液）

色譜柱：CNWSep CS-P4 陰離子交換色譜柱 4.0×250mm,5μm（貨號(hào)：LAEQ-4025N4）

檢測器：電導(dǎo)檢測器 抑制電流：40mA

淋洗液：4.5mM Na₂CO₃ +1mM NaHCO₃

流速：1.0mL/min

進(jìn)樣體積：25μL

柱溫：30℃

應(yīng)用三：

超純水中無機(jī)陰離子的分析

（氫氧根淋洗液）

色譜柱：CNWSep AS-P1 陰離子交換色譜柱 4.0×150mm，5μm（貨號(hào)：LAEQ-4015M1）

檢測器：電導(dǎo)檢測器 抑制電流：72 mA

淋洗液：20mM KOH

流速：1.2mL/min

進(jìn)樣體積：25μL

柱溫：30℃

應(yīng)用四：

非抑制法測定6種常見陽離子

色譜柱：CNWSep MS-P3 非抑制陽離子交換色譜柱 4.6×250mm，5μm（貨號(hào)：LAEQ-4625L3）

檢測器：電導(dǎo)檢測器 池溫：35℃

淋洗液：3mM MSA

流速：1.0mL/min

進(jìn)樣體積：25μL

柱溫：30℃