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電子級八甲基環(huán)四硅氧烷 - 水分含量的測定(微量水分測定儀)
GB/T 46697-2025 電子級八甲基環(huán)四硅氧烷
范圍
本文件規(guī)定了半導(dǎo)體行業(yè)用電子級八甲基環(huán)四硅氧烷的技術(shù)要求、檢驗規(guī)則、包裝、標(biāo)志、隨貨資料、運輸、貯存及安全警告的要求，描述了對應(yīng)的檢測方法。
本文件適用于沉積氧化硅、碳氧摻雜硅、碳化硅等硅基膜的電子級八甲基環(huán)四硅氧烷，以其優(yōu)異的絕緣性和耐高溫性在半導(dǎo)體領(lǐng)域用作封裝隔離層、集成電路絕緣層和介電層等。
術(shù)語和定義
本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。
技術(shù)要求
電子級八甲基環(huán)四硅氧烷應(yīng)符合表1的規(guī)定。|
檢測方法
水分含量的測定
所用微量水分測定儀應(yīng)符合 GB/T 26793 規(guī)定，測定方法應(yīng)按 GB/T 6324.8 中的規(guī)定執(zhí)行。
可采用其他等效的方法測定八甲基環(huán)四硅氧烷中水含量。當(dāng)測定結(jié)果有異議時，以 GB/T 6324.8 規(guī)定的方法為仲裁方法。
GB/T 26793-2011 庫侖法微量水分測定儀
GB/T 6324.8-2014 有機化工產(chǎn)品試驗方法 第8部分: 液體產(chǎn)品水分測定 卡爾·費休庫侖電量法
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