一、產(chǎn)品概述

在平板顯示（FPD）、半導(dǎo)體制造、電子器件生產(chǎn)以及各類(lèi)真空工藝應(yīng)用中，獲得潔凈、穩(wěn)定且無(wú)油的真空環(huán)境是保證產(chǎn)品質(zhì)量與良率的關(guān)鍵前提。日本ULVAC（愛(ài)發(fā)科）公司推出的CR系列多級(jí)羅茨型干泵，正是為滿(mǎn)足這一需求而設(shè)計(jì)的先進(jìn)真空獲取設(shè)備。其中，CR60B作為該系列的中堅(jiān)型號(hào)，憑借其風(fēng)冷設(shè)計(jì)、無(wú)油運(yùn)行和的穩(wěn)定性，成為工業(yè)與科研領(lǐng)域低中真空應(yīng)用的理想選擇。

CR60B隸屬于愛(ài)發(fā)科CR系列Ver.B版本，是一款獲得國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)（CE、cTUVus）認(rèn)證的空冷式羅茨型干泵。該泵采用多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)，泵頭內(nèi)部不使用真空油，轉(zhuǎn)子和氣缸之間以非接觸方式運(yùn)行，從而實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)和超長(zhǎng)使用壽命。無(wú)論是半導(dǎo)體前道工藝、真空鍍膜，還是實(shí)驗(yàn)室真空干燥，CR60B都能提供可靠、清潔的真空動(dòng)力。

二、核心技術(shù)原理

多級(jí)羅茨結(jié)構(gòu)

CR60B的核心技術(shù)在于其多級(jí)羅茨（Multi-Stage Roots） 設(shè)計(jì)。泵體內(nèi)部裝有成對(duì)的三葉羅茨轉(zhuǎn)子，它們通過(guò)精密齒輪以相同轉(zhuǎn)速、相反方向同步旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間始終保持微小間隙而非直接接觸，依靠這一間隙實(shí)現(xiàn)氣體的捕獲、輸送與壓縮。

與傳統(tǒng)單級(jí)羅茨泵不同，CR60B采用多級(jí)壓縮結(jié)構(gòu)——?dú)怏w依次通過(guò)多個(gè)壓縮級(jí)，逐級(jí)增壓至大氣壓后直接排入大氣。這一設(shè)計(jì)使得該泵能夠從大氣壓狀態(tài)下直接啟動(dòng)并工作，無(wú)需依賴(lài)前級(jí)泵，大幅簡(jiǎn)化了真空系統(tǒng)的配置。

無(wú)油干式運(yùn)行

CR60B的排氣室內(nèi)不使用真空油或任何密封液體。齒輪和軸承雖需潤(rùn)滑油潤(rùn)滑，但通過(guò)精密的密封結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效防止了潤(rùn)滑油向泵殼內(nèi)部的滲漏。這一設(shè)計(jì)帶來(lái)了兩大核心優(yōu)勢(shì)：一是排氣過(guò)程無(wú)油霧污染，確保被抽真空環(huán)境的高度潔凈；二是避免了油品老化、乳化等問(wèn)題對(duì)泵性能的影響，大幅延長(zhǎng)了維護(hù)周期。

三、核心技術(shù)參數(shù)

CR60B系列提供兩種配置型號(hào)——CR60B-S 與 CR60B-T。兩者的核心性能參數(shù)一致，區(qū)別主要體現(xiàn)在電源配置和部分接口規(guī)格上。主要技術(shù)規(guī)格如下：

（極限壓力為氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉時(shí)測(cè)得的值）

四、核心產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1. 全風(fēng)冷設(shè)計(jì)，無(wú)需輔助設(shè)施

CR60B采用空氣冷卻方式，無(wú)需冷卻水和氮?dú)?/span>。這一設(shè)計(jì)顯著降低了設(shè)備對(duì)廠(chǎng)房基礎(chǔ)設(shè)施的依賴(lài)——無(wú)需鋪設(shè)冷卻水管路，無(wú)需供應(yīng)高純氮?dú)?，大幅?jiǎn)化了安裝部署流程，同時(shí)降低了運(yùn)行成本。對(duì)于空間有限或輔助設(shè)施的實(shí)驗(yàn)室和生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)，這一優(yōu)勢(shì)尤為突出。

2. 無(wú)油潔凈排氣

由于泵頭內(nèi)部不使用真空油，CR60B實(shí)現(xiàn)了真正的干式無(wú)油排氣。排氣過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生油霧，不會(huì)對(duì)被抽真空腔體造成碳?xì)浠衔镂廴?，這對(duì)于半導(dǎo)體、FPD、光學(xué)鍍膜等對(duì)潔凈度要求高的工藝領(lǐng)域至關(guān)重要。

3. 長(zhǎng)壽命與高可靠性

轉(zhuǎn)子和氣缸采用非接觸式運(yùn)行設(shè)計(jì)，無(wú)機(jī)械磨損部件。配合精密的齒輪傳動(dòng)和高效的散熱設(shè)計(jì)，CR60B可實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)，使用壽命遠(yuǎn)超傳統(tǒng)油封式真空泵。維護(hù)工作主要集中在齒輪箱潤(rùn)滑油更換和進(jìn)氣過(guò)濾器清理，大幅降低了用戶(hù)的維護(hù)負(fù)擔(dān)和總擁有成本（TCO）。

4. DC密封電機(jī)，節(jié)能輕量

CR60B搭載了DC密封電機(jī)，具備節(jié)能、高氣密性和輕量化的特點(diǎn)。電機(jī)額定功率僅為0.72 kW，在同類(lèi)排氣速度的干泵中能耗處于較低水平，有助于降低長(zhǎng)期運(yùn)行的電費(fèi)支出。

5. 氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)，可處理水蒸氣

CR60B可選配氣鎮(zhèn)（Gas Ballast）機(jī)構(gòu)。通過(guò)向泵的壓縮腔引入少量干燥氣體，可有效防止水蒸氣在泵內(nèi)冷凝，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)含水蒸氣工藝氣體的穩(wěn)定抽除。最大耐水蒸氣處理量可達(dá)300 g/h，使其在真空干燥等含水蒸氣的應(yīng)用中表現(xiàn)出色。

6. 低噪音運(yùn)行

CR60B可配置專(zhuān)用消音器（RS-01+KitA），有效降低排氣噪音，改善工作環(huán)境。對(duì)于實(shí)驗(yàn)室或?qū)υ胍裘舾械纳a(chǎn)環(huán)境，這一配置尤為重要。

7. 國(guó)際安全認(rèn)證

CR60B已獲得CE和cTUVus國(guó)際安全標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，可在全球范圍內(nèi)合規(guī)使用，滿(mǎn)足不同國(guó)家和地區(qū)的設(shè)備安全要求。

五、應(yīng)用領(lǐng)域

CR60B憑借其潔凈無(wú)油、風(fēng)冷高效、穩(wěn)定可靠的特性，在以下領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用：

• 半導(dǎo)體與FPD制造：用于濺射、蒸鍍、刻蝕等真空工藝的粗抽與維持排氣

• 真空鍍膜：光學(xué)鍍膜、裝飾鍍膜等PVD工藝的真空環(huán)境維持

• 真空干燥設(shè)備：食品、藥品、電子元件的真空干燥，需配合氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)使用

• 科研實(shí)驗(yàn)室：各類(lèi)真空實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)中的潔凈真空獲取

• 惰性氣體處理：空氣、氮?dú)?、氬氣等潔凈氣體的真空排氣

六、選型指南

CR60B提供兩種配置選擇：

用戶(hù)可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用場(chǎng)景的電源條件（單相/三相）、對(duì)節(jié)能特性的要求以及對(duì)水蒸氣處理的需求，選擇適合的型號(hào)和選配件配置。

七、總結(jié)

愛(ài)發(fā)科CR60B多級(jí)羅茨型干泵以55 m3/h的最大排氣速度、≤3.0 Pa的極限壓力、0.72 kW的低功耗和48 kg的輕量化設(shè)計(jì)，在緊湊的機(jī)身內(nèi)實(shí)現(xiàn)了出色的真空獲取性能。其全風(fēng)冷無(wú)油設(shè)計(jì)、非接觸式轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)、可選配的氣鎮(zhèn)機(jī)構(gòu)以及國(guó)際安全認(rèn)證，使其成為半導(dǎo)體、FPD、真空鍍膜和真空干燥等領(lǐng)域中潔凈真空應(yīng)用的可靠選擇。無(wú)論是在追求高良率的精密制造產(chǎn)線(xiàn)，還是在要求高潔凈度的研發(fā)實(shí)驗(yàn)室，CR60B都能以低運(yùn)行成本、長(zhǎng)維護(hù)周期和穩(wěn)定的排氣性能，為用戶(hù)提供持續(xù)可靠的真空動(dòng)力保障。