MORITEX茉麗特鏡頭半導(dǎo)體應(yīng)用

在半導(dǎo)體制造工藝中，為了形成精細(xì)的圖案和結(jié)構(gòu)，通常會(huì)要求更高。高分辨率工業(yè)鏡頭的作用也是為了實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)成像。我們通過(guò)高品質(zhì)的光學(xué)元件和優(yōu)秀設(shè)計(jì)，來(lái)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的高分辨率。我們?yōu)榘雽?dǎo)體制造設(shè)備應(yīng)用而設(shè)計(jì)工業(yè)鏡頭，配合實(shí)現(xiàn)高精度貼合和檢測(cè)，并在最大限度上抑制細(xì)微的圖案層間的位置偏差，為有應(yīng)用需求的客戶提供精準(zhǔn)成像。鏡頭的定位和距離，會(huì)直接影響半導(dǎo)體設(shè)備的細(xì)微圖案形成和檢查精度，而高精度鏡頭則可實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)定位和成像，助力產(chǎn)品品質(zhì)的提升。茉麗特通過(guò)精密加工和組裝，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的高精度要求。

另外，我們還可以根據(jù)客戶需求提供定制化產(chǎn)品，為有特定需求和應(yīng)用的客戶提供理想的解決方案。

晶圓外觀檢查設(shè)備

半導(dǎo)體晶圓的外觀檢查，為了檢測(cè)細(xì)微的圖案和缺陷，對(duì)鏡頭倍率有很高要求。高分辨率工業(yè)鏡頭用來(lái)實(shí)現(xiàn)精確檢測(cè)微小的特征和缺陷。在外觀檢測(cè)中，鏡頭同軸照明光路均勻地聚集來(lái)自光源的光，為被測(cè)物表面提供均勻的照明，而均勻照明對(duì)于精確的檢測(cè)結(jié)果。另外，更高對(duì)比度的鏡頭，能清晰地顯示被測(cè)物的細(xì)微細(xì)節(jié)和特征。近年來(lái)，由于大靶面CMOS傳感器的推出，半導(dǎo)體的外觀檢測(cè)可以更高效、大范圍地進(jìn)行，這就要求鏡頭具有更大像面，以便配合大靶面相機(jī)提高檢測(cè)效率，縮短檢測(cè)時(shí)間。

推薦鏡頭

大靶面遠(yuǎn)心鏡頭MML-HR-35/43系列

高倍遠(yuǎn)心鏡頭SOD系列

晶圓測(cè)試設(shè)備

晶圓測(cè)試需要正確地識(shí)別晶圓位置，對(duì)微小的電路和器件進(jìn)行測(cè)量和檢測(cè)。工業(yè)鏡頭通過(guò)高倍率放大及大像場(chǎng)，實(shí)現(xiàn)詳細(xì)的檢測(cè)和有效的晶圓覆蓋。為了檢測(cè)晶圓上微小的圖案和缺陷，我們通過(guò)先進(jìn)的光學(xué)設(shè)計(jì)和光學(xué)材料的組合來(lái)實(shí)現(xiàn)高分辨率的鏡頭。晶圓檢測(cè)需要高速檢查大量晶圓，因此鏡頭需要能應(yīng)對(duì)高速成像，助力高速數(shù)據(jù)處理，從而提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)量。另外，為滿足各種晶圓的檢測(cè)要求，我們需要在合理且靈活的照明條件下觀察晶圓。通過(guò)鏡頭的同軸照明設(shè)計(jì)，可提供均勻照明來(lái)獲得精確的檢測(cè)結(jié)果。由于晶圓測(cè)試設(shè)備要求持續(xù)運(yùn)行，也需要鏡頭具有高可靠性和耐久性。我們通過(guò)耐用的光學(xué)材料和鍍膜，及穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可為客戶提供長(zhǎng)期穩(wěn)定的產(chǎn)品性能。

推薦鏡頭

MML-NIR 系列

MML-HR系列

定制鏡頭

劃片機(jī)

在劃片機(jī)中，為了準(zhǔn)確地切割晶圓上的電路和器件，需要很高的定位精度和與之匹配的鏡頭分辨率。鏡頭的作用是精確地顯示微小的圖案和線寬，實(shí)現(xiàn)高精度的切割。切割過(guò)程經(jīng)常是連續(xù)進(jìn)行的，所以要求鏡頭具有很好的耐用性。茉麗特采用具有耐水、耐化學(xué)品、耐磨損性的光學(xué)材料和涂層，及穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能為客戶提供長(zhǎng)期穩(wěn)定的產(chǎn)品性能。為了對(duì)應(yīng)各種晶圓類型，需要匹配合理、靈活的照明條件。通過(guò)鏡頭的同軸照明設(shè)計(jì)，可提供均勻照明來(lái)進(jìn)行精確的切割。另外，為了應(yīng)對(duì)特殊的切割要求，我們也會(huì)根據(jù)特定條件使用相應(yīng)的鏡頭。例如，在切割不同材質(zhì)或非常堅(jiān)硬的材料時(shí)，可能需要特殊的鏡頭設(shè)計(jì)和材料，且需要由可視范圍到近紅外范圍的寬波長(zhǎng)來(lái)對(duì)應(yīng)。

推薦鏡頭MML-NIR系列

SWIR系列

定制產(chǎn)品

固晶機(jī)

固晶機(jī)需要將微小的零件和芯片準(zhǔn)確定位。工業(yè)鏡頭實(shí)現(xiàn)了很高的定位精度，能夠觀察到零件的細(xì)微特征并進(jìn)行精確的貼合。另外，鏡頭的高倍率和高分辨率特性，可以將微小的特征和缺陷清晰成像。在貼合過(guò)程中，均勻的照明很重要。遠(yuǎn)心鏡頭的同軸光路設(shè)計(jì)，為被測(cè)物表面提供均勻的照明，從而可以進(jìn)行準(zhǔn)確的觀測(cè)和定位。由于固晶機(jī)經(jīng)常要在連續(xù)的、惡劣的振動(dòng)環(huán)境下運(yùn)用，這就要求鏡頭具有很高的可靠性和耐久性。茉麗特的鏡頭通過(guò)具有耐久性的光學(xué)材料和鍍膜，穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可為客戶提供長(zhǎng)久穩(wěn)定的產(chǎn)品性能。近年來(lái)，由于高密度化的要求，倒裝覆晶取代了傳統(tǒng)的引線鍵合而得到廣泛應(yīng)用。在倒裝覆晶鍵合中，由于是將芯片直接貼合在基板上，由此實(shí)現(xiàn)了引線長(zhǎng)度的縮短和信號(hào)傳輸速度的提高。3D鍵合則采用了密度更高的互連技術(shù)。TSV (Through-Silicon Via)技術(shù)是在芯片內(nèi)部制造微小的垂直連接孔，堆疊和連接多個(gè)芯片。這樣就能實(shí)現(xiàn)高速、高密度的數(shù)據(jù)傳輸和多種功能集成。為了提高最新的3D貼合精度，細(xì)微的零件和芯片的定位精度非常重要，但光學(xué)系統(tǒng)的畸變和偏差會(huì)對(duì)正確的定位產(chǎn)生影響。茉麗特同時(shí)采用了獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)技術(shù)和調(diào)芯技術(shù)，觀測(cè)各種材料和結(jié)構(gòu)的特性，選擇合適的貼合工藝，覆蓋多個(gè)波段，可以對(duì)不同的材料及零件進(jìn)行評(píng)估。通過(guò)結(jié)合激光對(duì)焦，并利用不同波長(zhǎng)的光來(lái)觀察對(duì)象的多光譜成像、白干涉技術(shù)和共焦技術(shù)等一系列組合技術(shù)，可以為各種貼合工藝提供理想的光學(xué)系統(tǒng)。

推薦鏡頭標(biāo)清遠(yuǎn)心鏡頭MML-HR系列

大靶面遠(yuǎn)心鏡頭MML-SR系列

定制鏡頭

貼片機(jī)

貼片機(jī)需要對(duì)精密的零件和基板的進(jìn)行定位和貼合。高分辨率鏡頭，可清晰地觀察微小的特征和圖案。因過(guò)程中需要一次處理多個(gè)部件和基板，鏡頭需要實(shí)現(xiàn)大視場(chǎng)，并且在所有的區(qū)域都具有一致的光學(xué)性能。這樣可以提升同時(shí)處理多個(gè)零件和底板的效率。因?yàn)橐^察大視場(chǎng)，一次進(jìn)行大量的圖像處理，所以零件和基板的照射光同樣需要均勻分布。茉麗特的同軸照明設(shè)計(jì)技術(shù)，可以突出被測(cè)物表面的細(xì)微特征和結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)高對(duì)比度，并能清晰觀察被測(cè)物的凹凸和微小圖案，實(shí)現(xiàn)精密觀測(cè)，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)高效的零件定位。另外，貼片機(jī)的運(yùn)行持續(xù)且環(huán)境惡劣，因此，鏡頭需要有穩(wěn)固的設(shè)計(jì)，以便能長(zhǎng)時(shí)間在惡劣的環(huán)境下持續(xù)工作。

推薦鏡頭

低倍率遠(yuǎn)心標(biāo)清鏡頭MML-HR系列

大靶面遠(yuǎn)心鏡頭MML-SR系列

定制鏡頭