SR-D 0.1um高精度塵埃粒子計(jì)數(shù)器

1 產(chǎn)品概述

SR-D01 型激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器（0.1μm）用于測(cè)量潔凈環(huán)境中單位體積空氣內(nèi)的塵埃粒子大小及數(shù)目，最小粒徑檔可達(dá) 0.1μm，可直接檢測(cè)潔凈度等級(jí)至十級(jí)為三十萬(wàn)級(jí)的潔凈環(huán)境。本產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于電子、光學(xué)、化學(xué)、食品、化妝品、醫(yī)藥衛(wèi)生、生物制品、航空航天等部門。

本產(chǎn)品可以配套高壓擴(kuò)散器測(cè)試工藝壓縮空氣的潔凈度評(píng)價(jià)。

2 指標(biāo)參數(shù)

配套高壓擴(kuò)散器做壓縮空氣的潔凈度測(cè)試

超凈間環(huán)境潔凈度測(cè)試

SR-D01與美國(guó)TSI0.1um塵埃粒子計(jì)數(shù)器對(duì)比曲線圖

在半導(dǎo)體光刻、生物醫(yī)藥無(wú)菌灌裝、精密光學(xué)鍍膜等制造領(lǐng)域，一顆0.1微米的隱形顆粒，就可能引發(fā)產(chǎn)品良率崩塌、批次報(bào)廢甚至安全事故。過(guò)去，能精準(zhǔn)捕捉0.1微米粒子的設(shè)備幾乎被進(jìn)口品牌壟斷，高昂的價(jià)格、繁瑣的維護(hù)讓許多企業(yè)望而卻步。如今，廣東鑠瑞科技有限公司憑借深厚技術(shù)積累，推出SR-D01型激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器，以0.1μm真實(shí)檢測(cè)下限 + 28.3L/min大流量采樣 + 全粒徑檔位覆蓋，讓高精度潔凈檢測(cè)變得觸手可及。

突破極限，從0.1微米開(kāi)始掌控潔凈度

SR-D01最小粒徑檔位低至0.1μm，相比常規(guī)0.3μm起測(cè)的儀器，它能發(fā)現(xiàn)更隱蔽的超微污染源。無(wú)論是光刻膠顆粒、細(xì)菌載體，還是工藝氣體中的微量雜質(zhì)，都無(wú)處遁形。更關(guān)鍵的是，它提供六個(gè)粒徑檔位（0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm），既能看清納米級(jí)的“敵人”，又能兼顧常規(guī)ISO等級(jí)判定，一機(jī)滿足從十級(jí)到三十萬(wàn)級(jí)潔凈環(huán)境的全范圍檢測(cè)需求。

28.3L大流量，測(cè)得更快、更準(zhǔn)、更具代表性

流量是粒子計(jì)數(shù)器的核心參數(shù)。SR-D01采用28.3L/min（1CFM）大流量氣路設(shè)計(jì)，相比2.83L/min的小流量設(shè)備，采樣效率提升10倍——在相同時(shí)間內(nèi)捕獲更多粒子，顯著降低統(tǒng)計(jì)誤差，尤其適用于等級(jí)較高、粒子濃度極低的十級(jí)或百級(jí)潔凈室。同時(shí)，大流量能更快完成單點(diǎn)采樣，提升巡檢效率，降低生產(chǎn)線的等待時(shí)間。

不止于潔凈室：工藝壓縮空氣也能輕松應(yīng)對(duì)

很多潔凈事故的元兇不是室內(nèi)環(huán)境，而是管道內(nèi)攜帶油水、塵埃的壓縮空氣。SR-D01可配套高壓擴(kuò)散器，直接對(duì)壓縮空氣管路進(jìn)行等動(dòng)力采樣，精準(zhǔn)評(píng)價(jià)工藝用氣的潔凈度等級(jí)，為氣動(dòng)設(shè)備、吹掃工序加上一道“保險(xiǎn)”。從電子廠的光刻氣路到藥廠的灌裝用氣，SR-D01都能提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

數(shù)據(jù)說(shuō)話：與進(jìn)口對(duì)標(biāo)，計(jì)量院認(rèn)證

進(jìn)口0.1μm粒子計(jì)數(shù)器往往價(jià)格數(shù)倍于國(guó)產(chǎn)設(shè)備。鑠瑞科技敢于亮出硬實(shí)力——SR-D01與美國(guó)TSI 0.1μm塵埃粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行平行對(duì)比測(cè)試（見(jiàn)下方趨勢(shì)圖），兩者在不同粒徑檔位的計(jì)數(shù)結(jié)果高度吻合，曲線幾乎重疊。這意味著，SR-D01已具備與國(guó)際同臺(tái)競(jìng)技的能力。此外，產(chǎn)品送檢中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院，獲得校準(zhǔn)報(bào)告，每一臺(tái)出廠設(shè)備均可溯源至國(guó)家基準(zhǔn)，無(wú)懼各類GMP、ISO14644、GB/T 16292等法規(guī)審核。

工業(yè)級(jí)設(shè)計(jì)，穩(wěn)定可靠

• 304不銹鋼外殼，抗腐蝕、易清潔，滿足制藥、食品等行業(yè)的潔凈室材質(zhì)要求。

• 自凈時(shí)間≤10分鐘，快速恢復(fù)待測(cè)狀態(tài)，避免交叉污染。

• 超大存儲(chǔ)（≥10000組數(shù)據(jù)） + RS232通訊，便于數(shù)據(jù)追溯與系統(tǒng)集成。

• 可調(diào)測(cè)量周期（1s~1000s），靈活適應(yīng)不同濃度場(chǎng)景。

• 鋰電池續(xù)航約3小時(shí)，兼顧便攜性與持續(xù)作業(yè)需求。

應(yīng)用場(chǎng)景全覆蓋

• 半導(dǎo)體與面板：光刻區(qū)、刻蝕區(qū)、黃光區(qū)的0.1μm級(jí)控塵

• 生物制藥：GMP無(wú)菌灌裝線、隔離器、凍干機(jī)進(jìn)出口檢漏

• 精密光學(xué)/航天：鍍膜前基片潔凈度驗(yàn)證

• 食品/化妝品：灌裝車間、包裝車間潔凈度日常監(jiān)測(cè)

• 醫(yī)院/疾控：潔凈手術(shù)室、ICU、實(shí)驗(yàn)室空氣質(zhì)量控制

SR-D01送檢中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院報(bào)告