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TPM200露點(diǎn)儀使用步驟及注意事項(xiàng)
TPM200露點(diǎn)儀使用步驟及注意事項(xiàng)
1.開(kāi)機(jī)系統(tǒng)自檢:在測(cè)試前5分鐘開(kāi)機(jī)，連接吹掃
2.儀器吹掃:旋開(kāi)針閥，連通高純氣體進(jìn)行吹掃（5個(gè)9的高純氣），連接儀器進(jìn)氣口氣量不需要太大，微微有氣。儀器的針閥旋到最大控制到5左右，吹掃10-15分鐘
3.儀器測(cè)試:吹掃結(jié)束后連接被測(cè)氣體，同樣需要通氣2-3分鐘時(shí)間后將流量控制2左右
4.測(cè)試結(jié)束:旋下進(jìn)氣口管路，關(guān)閉氣體
注意事項(xiàng)
1.必須提前開(kāi)機(jī)進(jìn)行儀器自檢，不能直接連接測(cè)試
2.測(cè)試前盡量用高純氣體吹掃，如果沒(méi)有就連接被測(cè)氣體持續(xù)吹掃15-20分左右，目的提高數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性與測(cè)試時(shí)效性
3.本款露點(diǎn)儀支持微量腐蝕性氣體但不支持強(qiáng)腐蝕如氯化氫，氯氣等
4.儀器測(cè)試完含腐蝕性或含水量較高氣體需進(jìn)行高純氣體吹掃
5.儀器在測(cè)試過(guò)程中會(huì)有計(jì)算，數(shù)據(jù)如停于一個(gè)階段稍等一陣，儀器系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)計(jì)算
6.連接儀器必須用儀器本身自帶的聚四氟乙烯管并保證其密封性，否則會(huì)影響數(shù)值與測(cè)試時(shí)間
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