SP1（ULVAC 愛發(fā)科 G?TRAN 系列 皮拉尼真空計(jì)）

一、核心特點(diǎn)

1. 一體緊湊型（傳感器 + 電路）

• 無需獨(dú)立顯示單元，直接輸出 0–5V 信號(hào)給 PLC / 上位機(jī)，省配線、省面板空間、降成本。

• 探頭可更換，兼容老款 WP 系列，維護(hù)方便、兼容性強(qiáng)。

2. 鉑金燈絲?耐腐蝕長(zhǎng)壽命

• 燈絲材質(zhì)：Pt 鉑金，耐水汽、耐輕微腐蝕，適合工業(yè) / 半導(dǎo)體工藝環(huán)境。

3. 雙設(shè)定點(diǎn) + 報(bào)警輸出

• 兩路集電極開路輸出（負(fù)邏輯），可設(shè)高 / 低真空閾值，直接聯(lián)動(dòng)泵、閥門、報(bào)警燈。

4. LED 狀態(tài)指示

• 面板 LED：電源、錯(cuò)誤、設(shè)定點(diǎn) 1、設(shè)定點(diǎn) 2，現(xiàn)場(chǎng)直觀判斷狀態(tài)。

5. UL?MOBI 軟件支持（USB?C）

• 可通過 USB?C 連 PC，用軟件校準(zhǔn)、讀數(shù)據(jù)、設(shè)參數(shù)。

二、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

• 型號(hào)：SP1（G?TRAN 系列 傳感器單元）

• 測(cè)量范圍：0.4 Pa ～ 3000 Pa（3×10?3 ～ 22 Torr）

• 精度（N?）

• 51～760 Pa：±15%

• 10～1000 Pa：±30%

• 0.4～3000 Pa：±50%

• 輸出信號(hào)：0–5VDC（非線性，最大 10V），分辨率 10mV

• 設(shè)定點(diǎn)：2 路，集電極開路（負(fù)邏輯），含錯(cuò)誤信號(hào)

• 供電：DC24V ±10%，穩(wěn)態(tài) 2.0W，啟動(dòng) 4.8W

• 探頭兼容：WP?01（R1/8）、WP?02（NW16）、WP?03（φ15）、WP?16（NW16）

• 接口：D?sub15（I/O）+ USB?C（通訊 / 校準(zhǔn)）

• 材質(zhì)：接液部 SUS304；燈絲 Pt；外殼壓鑄鋁

• 尺寸 / 重量：約 48×30×74 mm / 約 105 g

• 環(huán)境：10–40 ℃，濕度 15–80%（無凝露），IP30

• 認(rèn)證：CE、UKCA

三、型號(hào)與探頭組合（常用）

• SP1 + WP?02：標(biāo)準(zhǔn) NW16 接口，常用

• SP1 + WP?01：R1/8 螺紋接口

• SP1 + WP?03：φ15 卡套接口

• SP1 + WP?16：NW16（同 WP?02）

四、典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體 / FPD：EFEM、小型腔體、真空搬運(yùn)、低真空工藝控制。

• 工業(yè)真空：真空爐、熱處理爐、真空包裝機(jī)、回流焊爐。

• 電子 / 精密：真空烤箱、檢漏設(shè)備、鍍膜機(jī)低真空段監(jiān)測(cè)。

• 多腔設(shè)備：inline 式、枚葉式設(shè)備的多腔體壓力監(jiān)控。