告別鏡面反光干擾:CCS LFV3同軸光源如何在半導體Wafer表面缺陷無損檢測?

1. 直面挑戰(zhàn):為何半導體檢測需要“同軸”?
2. 技術革新:IR2系列帶來的三大核心升級
統(tǒng)一24VDC輸入,簡化系統(tǒng)集成
IR2系列全線產(chǎn)品(包括LFV3)均已統(tǒng)一為 24VDC 輸入電壓。這一標準化設計消除了不同顏色光源(如紅、白、紫外、紅外)電壓不兼容的煩惱,使得控制單元可以通用,極大地降低了自動化檢測設備(AOI)的布線復雜度和維護成本。輸出功率大幅提升,穿透力更強
搭載最新的LED芯片技術,LFV3系列在 940nm 波段的輸出功率相比前代提升了 1.5倍。更高的亮度意味著在高速產(chǎn)線中也能獲得清晰的圖像,同時增強了紅外光對硅片(Silicon)的穿透能力,有助于檢測晶圓內部的隱性損傷。低熱損傷設計,守護高價值工件
傳統(tǒng)的鹵素燈在照射時會產(chǎn)生大量熱量,容易對敏感的半導體材料造成熱損傷。LFV3采用的紅外LED僅輻射特定波長的能量,發(fā)熱量極低,確保了在長時間檢測過程中,晶圓的物理特性不會受到任何影響。
3. 精準匹配:波長與型號的選擇
波長選擇:提供 850nm 和 94純nm 兩種標準波長。其中,940nm波長對硅材料的穿透性更佳,特別適合用于檢測晶圓背面或封裝內部的缺陷;而850nm則在表面成像上具有更高的對比度。
尺寸覆蓋:從緊湊的 20×20mm 到大型的 100×100mm 發(fā)光面,LFV3提供了多種尺寸選擇,能夠適配不同規(guī)格的晶圓搬運平臺和檢測工位。
①. 電氣參數(shù)
工作電壓:統(tǒng)一為 24V。
功率范圍:從 LFV3-CP-13SW 的 2.3W 到 LFV3-200SW 的 64W 不等。
②. 光學參數(shù)
紅色 LED:峰值波長 630nm 或 635nm。
白色 LED:色溫 6,000K 或 6,500K。
藍色 LED:波長 460nm、470nm 或 480nm。
③. 附件選項
部分型號配備漫射板、偏振板或支持光控功能。
④. 推薦控制器
主要推薦使用 PD3 系列控制單元(如 PD3CC8T-1024、PSBPTU2 等)。
⑤. 重量范圍
最輕為 LFV3-CP-13RD(37g),最重為 LFV3-200RD(A)(4,350g)。
⑥. 標準型號
包括 LFV3-34、35、40、50、50×100、70、100、130、200 等多種尺寸。
⑦. 緊湊型號(CP 系列)
包括 LFV3-CP-13 和 LFV3-CP-18。
4. 實戰(zhàn)應用:從“看見”到“看透”
表面缺陷檢測:無論是微米級的劃痕、針孔,還是微小的顆粒異物(Particle),在LFV3均勻的同軸光照射下,都能呈現(xiàn)出清晰的陰影對比,極大降低了漏檢率。
圖案識別與對位:在需要穿透表面氧化層或特定涂層進行內部結構識別時,LFV3的高穿透性紅外光能夠“過濾”掉表層干擾,精準捕捉底層的對位標記(Mark)或電路圖案。
結語
在追求非常良率的半導體制造領域,光源的選擇直接決定了檢測的精度上限。CCS LFV3同軸光源通過消除鏡面反光干擾、提升紅外輸出功率以及標準化的電壓設計,為半導體Wafer的無損檢測樹立了新的標準。對于正在尋求高穩(wěn)定性、高精度視覺解決方案的制造商而言,LFV3無疑是一款值得信賴的核心組件。
相關產(chǎn)品
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的,應在授權范圍內使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關權利。
手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號:chem17
掃碼關注視頻號












采購中心