TG220FCAB（大阪真空 Osaka Vacuum）

一、型號含義

• TG220F：基礎(chǔ)型號，220= 名義抽速 220 L/s；F= 脂潤滑滾珠軸承

• C：控制器分離式（Remote）

• A：強制風(fēng)冷

• B：進氣口 ISO?R63 法蘭

二、核心規(guī)格（N?）

• 抽速：220 L/s（裸泵）/210 L/s（帶保護網(wǎng)）

• 極限真空：<1×10?? Pa

• 最大壓縮比：1×10?（N?）

• 軸承：脂潤滑滾珠軸承，免維護、長壽命（>10,000 小時）

• 安裝：（任意角度），耐大氣沖擊（可承受 400 次大氣沖擊）

• 接口：進氣ISO?R63，排氣KF25

• 冷卻：強制風(fēng)冷

• 控制器：TC76（分離式）

• 重量：約8.15 kg

三、主要特點

• ? 復(fù)合結(jié)構(gòu)（渦輪 + 螺旋槽）：寬真空范圍（低真空→超高真空），大流量排氣

• ? 耐振動 / 沖擊：適合移動設(shè)備、頻繁啟停與突發(fā)大氣沖擊場景

• ? 潔凈無油：脂潤滑，無油污染，適配半導(dǎo)體 / 分析儀器

• ? 快速啟動 / 停止：縮短待機時間，提升效率

• ? 通信接口：標配RS?232C，支持遠程監(jiān)控

四、典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體 / 面板制造（沉積、刻蝕、離子注入）

• 分析儀器（SEM、XPS、SIMS、質(zhì)譜）

• 科研設(shè)備（加速器、核聚變、表面物理）

• 工業(yè)真空（熱處理、鍍膜、焊接）

五、套裝內(nèi)容

• 泵本體（TG220FCAB）

• 控制器（TC76）

• 電機電纜（3 m）

• 風(fēng)扇電纜（3 m）

  需要我把它和同系列的 TG350FCAB/TG450FCAB 做一個關(guān)鍵參數(shù)對比嗎？