一、品牌背景與技術(shù)定位

ULVAC愛發(fā)科是真空技術(shù)綜合解決方案提供商，自1952年創(chuàng)立以來，長期作為追求真空極限的技術(shù)先驅(qū)，在全球真空產(chǎn)業(yè)中占據(jù)重要地位。公司生產(chǎn)的真空裝置及相關(guān)周邊產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、平板顯示器生產(chǎn)、電子元器件制造、分析儀器及工業(yè)鍍膜等多個高科技領(lǐng)域。

GLD-137是ULVAC面向低中真空領(lǐng)域推出的高功能型油回轉(zhuǎn)真空泵，屬于GLD系列中的代表性中小規(guī)格型號。該型號采用兩級排氣系統(tǒng)，憑借400W的適中功率配置、優(yōu)異的排氣速度和極限真空性能，同時搭載氣鎮(zhèn)閥、強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)、防逆流機(jī)制和大號油液位計等多項(xiàng)高功能配置，充分體現(xiàn)了ULVAC在油回轉(zhuǎn)真空泵領(lǐng)域深厚的技術(shù)積累與設(shè)計功底。GLD-137在市場上存在GLD-137AA和GLD-137CC兩種主要子型號，分別對應(yīng)三相和單相電源規(guī)格，用戶可根據(jù)工廠供電條件靈活選擇。

二、核心技術(shù)特點(diǎn)

2.1 兩級排氣系統(tǒng)的技術(shù)優(yōu)勢

GLD-137采用兩級排氣系統(tǒng)，兩個排氣腔串聯(lián)工作。第一級泵腔將氣體壓縮至中間壓力后輸送至第二級泵腔，第二級泵腔進(jìn)一步將氣體壓縮至大氣壓以上后排出。與單級排氣系統(tǒng)相比，兩級排氣系統(tǒng)能夠獲得更低的壓力，即更好的真空度。這一結(jié)構(gòu)設(shè)計使GLD-137能夠在從大氣壓到高真空的寬壓力范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定排氣，其極限壓力可達(dá)0.67 Pa（氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉），氣鎮(zhèn)閥打開時亦能維持6.7 Pa的良好真空性能。

2.2 低振動的工程實(shí)現(xiàn)

低振動是GLD-137的核心賣點(diǎn)之一。GLD系列擁有高性能、低振動、低噪聲的特點(diǎn)，在同類產(chǎn)品中具有顯著的技術(shù)優(yōu)勢。其低振動特性源于多方面的工程優(yōu)化：

首先，直聯(lián)式設(shè)計降低了傳動環(huán)節(jié)的振動源。 與傳統(tǒng)皮帶驅(qū)動型真空泵相比，直聯(lián)式結(jié)構(gòu)省去了皮帶及帶輪系統(tǒng)，減少了因皮帶張力和輪系不平衡所引發(fā)的機(jī)械振動。

其次，精密動平衡處理的轉(zhuǎn)子組件。 轉(zhuǎn)子和葉片系統(tǒng)在制造過程中經(jīng)過精細(xì)的動平衡校正，確保在高速旋轉(zhuǎn)狀態(tài)下各運(yùn)動部件的質(zhì)量分布均勻，從根本上減少了因質(zhì)量偏心引發(fā)的周期性振動。

此外，優(yōu)化的泵體結(jié)構(gòu)設(shè)計。 兩級排氣系統(tǒng)的內(nèi)部流道經(jīng)過精心設(shè)計，氣體在壓縮和排氣過程中的壓力脈動得到有效抑制，進(jìn)一步減少了流體動力學(xué)層面的振動和噪聲。

最后，合理的散熱結(jié)構(gòu)與材料選擇。 GLD系列在散熱片部分進(jìn)行了創(chuàng)新設(shè)計，在實(shí)現(xiàn)高散熱效率的同時，也使振動能量在傳遞至泵體外殼前得到有效衰減。

低振動的工程特性使GLD-137特別適用于實(shí)驗(yàn)室環(huán)境以及對振動敏感的精密工藝場合。在電子顯微鏡前級泵應(yīng)用中，GLD-137的低振動輸出不會干擾顯微鏡的穩(wěn)定成像；在半導(dǎo)體制造設(shè)備的粗抽環(huán)節(jié)，低振動特性有助于維持高潔凈度工藝環(huán)境的穩(wěn)定。

2.3 強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)保障排氣速度穩(wěn)定

GLD-137安裝了強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)，可保證從大氣壓到高真空的整個排氣過程中保持穩(wěn)定的油潤滑和內(nèi)部密封性能。這一設(shè)計確保了泵在不同壓力工況下均能維持穩(wěn)定的排氣速度，有效避免了因油路壓力波動導(dǎo)致的排氣效率下降問題。強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)的存在使得GLD-137在大氣壓下即可直接啟動運(yùn)行，無需預(yù)先抽至一定真空度，大大提升了設(shè)備操作靈活性。

2.4 氣鎮(zhèn)閥：高功能性標(biāo)志

GLD-137標(biāo)配了氣鎮(zhèn)閥，這是使其被歸類為高功能型產(chǎn)品的重要技術(shù)特征之一。氣鎮(zhèn)閥的作用是在泵的壓縮腔中引入受控量的空氣或惰性氣體，從而降低被抽氣體中可凝性蒸氣（如水蒸氣或有機(jī)溶劑蒸氣）的分壓，使其在排氣過程中保持氣態(tài)并順利排出泵外，防止水分和可凝性物質(zhì)溶入泵油。用戶可根據(jù)工藝需求選擇開啟或關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥：氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉時極限壓力可達(dá)0.67 Pa，滿足對高真空度的嚴(yán)格要求；氣鎮(zhèn)閥打開時極限壓力為6.7 Pa，顯著增強(qiáng)了對含水被抽氣體的耐受性，延長泵油使用壽命。

2.5 防逆流機(jī)制的安全保護(hù)

GLD-137安裝了防回流機(jī)構(gòu)，在因停電等緊急情況導(dǎo)致泵停止時，可有效防止泵油回流至真空室。這一設(shè)計對于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等對潔凈度要求極為苛刻的應(yīng)用場景尤其重要——一旦泵油倒流進(jìn)入真空腔體，不僅可能導(dǎo)致整個批次的工藝報廢，還會造成設(shè)備污染的嚴(yán)重后果。

2.6 大號油液位計的維護(hù)便捷性

GLD-137配備大號油液位計，用戶可以直觀地觀察油位和油質(zhì)狀況，便于及時發(fā)現(xiàn)油量減少或油質(zhì)污染問題并采取相應(yīng)的維護(hù)措施。定期確認(rèn)油量減少和污染、及時添加或更換油品是保持泵性能長期穩(wěn)定的關(guān)鍵。

2.7 寬電壓馬達(dá)與國際認(rèn)證體系

GLD-137全系列產(chǎn)品配備寬電壓多范圍通用電機(jī)，其中GLD-137AA（三相型號）支持三相200-240V及380-460V兩種電壓規(guī)格；GLD-137CC（單相型號）支持單相100-120V及200-240V電壓規(guī)格。這一全球通用的電氣設(shè)計使得GLD-137可在世界各國的不同電壓標(biāo)準(zhǔn)下靈活應(yīng)用，尤其適用于出口設(shè)備和跨國生產(chǎn)平臺。

在安全認(rèn)證方面，GLD-137通過了CE自我聲明認(rèn)證，并取得TUV國際第三方產(chǎn)品安全認(rèn)證，其中GLD-137CC型號更獲得cTUVus認(rèn)證。TUV認(rèn)證意味著本產(chǎn)品是通過國際第三方產(chǎn)品安全測試和認(rèn)證、符合歐洲標(biāo)準(zhǔn)的高質(zhì)量產(chǎn)品。

三、技術(shù)規(guī)格

GLD-137AA（三相）與GLD-137CC（單相）的技術(shù)規(guī)格對比如下表所示：

需要注意的是，極限壓力為皮拉尼真空計的測量值。當(dāng)采用麥克勞德真空計測量時，對于極限壓力為1.3 Pa或更低的泵，該值低一個數(shù)量級。GLD-137在GLD系列中以400W額定功率的適中配置提供了135 L/min（50Hz）至162 L/min（60Hz）的排氣速度，兼具功率消耗較低與抽速性能充足的綜合優(yōu)勢。

四、AA與CC子型號對比

GLD-137系列提供了AA和CC兩種子型號，其核心區(qū)別體現(xiàn)在電源類型和認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)上：

• GLD-137AA（三相型號） ：采用三相電源供電，重量為26 kg，適用于工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三相配電環(huán)境。該型號未內(nèi)置過熱保護(hù)器，用戶需配置外部電機(jī)斷路器作為電機(jī)保護(hù)裝置。

• GLD-137CC（單相型號） ：采用單相電源供電，重量為29 kg，適用于實(shí)驗(yàn)室及一般工業(yè)環(huán)境的單相配電系統(tǒng)。該型號內(nèi)置了自動復(fù)位型熱保護(hù)器，可在電機(jī)溫度過高時自動切斷電源，溫度下降后自動恢復(fù)運(yùn)行。

兩者在排氣速度、極限壓力、油量等核心性能指標(biāo)上一致，在氣鎮(zhèn)閥、防逆流機(jī)構(gòu)、強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)等功能配置上也無區(qū)別。用戶可根據(jù)現(xiàn)場電源條件和認(rèn)證要求選擇相應(yīng)的子型號，另外GLD-137CC還額外通過了cTUVus認(rèn)證，符合美國與加拿大的產(chǎn)品安全標(biāo)準(zhǔn)。

五、設(shè)計特點(diǎn)的綜合分析

GLD-137作為高功能型油回轉(zhuǎn)真空泵，其核心設(shè)計理念可概括為“高性能、高安全性、高維護(hù)性”三位一體。高性能方面，400W適中功率、135 L/min（50Hz）排氣速度與0.67 Pa極限真空的組合使其在同功率級別產(chǎn)品中占據(jù)優(yōu)勢地位；高安全性方面，防逆流機(jī)制和內(nèi)置熱保護(hù)器（CC型號）有效降低了故障風(fēng)險和事故隱患；高維護(hù)性方面，大號油液位計和定位銷輔助連接設(shè)計簡化了日常檢查和維修操作。

GLD-137還體現(xiàn)了ULVAC在散熱設(shè)計方面的持續(xù)優(yōu)化。為了更好地提高散熱效果，GLD系列產(chǎn)品在散熱片部分進(jìn)行了創(chuàng)新設(shè)計，從而實(shí)現(xiàn)了同類產(chǎn)品的高真空性能。良好的散熱性能確保泵在高負(fù)荷連續(xù)運(yùn)行時溫度保持在合理范圍內(nèi)，延長了泵油的使用壽命和泵體本身的工作壽命。

六、應(yīng)用領(lǐng)域

6.1 實(shí)驗(yàn)室與科學(xué)研究

GLD-137在理化學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備、分析儀器及激光應(yīng)用系統(tǒng)中應(yīng)用廣泛。其低振動、低噪聲的特性非常適合對設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)性要求較高的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。400W的適中功率意味著其能耗較低，適合長期運(yùn)行而不會帶來顯著的電力消耗負(fù)擔(dān)。

6.2 電子顯微鏡的背景泵

電子顯微鏡對振動極為敏感——任何微小的機(jī)械振動都可能傳遞至電鏡主體，導(dǎo)致圖像分辨率下降和成像不穩(wěn)定。GLD-137的低振動特性使其成為電子顯微鏡前級泵的理想選擇，在提供可靠真空的同時不干擾電鏡的精密成像。

6.3 半導(dǎo)體制造設(shè)備

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，GLD-137廣泛應(yīng)用于濺射裝置、真空蒸鍍裝置等工藝設(shè)備中。0.67 Pa的極限壓力能夠滿足多數(shù)半導(dǎo)體工藝的中真空需求。防逆流機(jī)制和強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)的配置確保了在頻繁啟停和工藝切換時泵油的潔凈度和排氣速度的穩(wěn)定性。GLD-137同樣適用于LED和真空鍍膜制造領(lǐng)域的類似工藝環(huán)節(jié)。

6.4 真空干燥與冷凍干燥

GLD-137在真空干燥器和冷凍干燥器中應(yīng)用價值顯著。在干燥過程中，大量水蒸氣通過氣鎮(zhèn)閥被有效排除，防止水分溶解于泵油中導(dǎo)致油質(zhì)乳化變質(zhì)，顯著延長了泵油的使用壽命，降低了維護(hù)頻率和成本。

6.5 分析儀器

氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀（GC-MS）、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀（ICP-MS）等高分析儀器對前級真空泵的振動水平和潔凈度都有嚴(yán)格要求。GLD-137的低振動特性和穩(wěn)定的排氣速度，使其成為分析儀器制造商的優(yōu)選配套泵型。

6.6 真空包裝與真空加工

在食品真空包裝、真空模塑等工業(yè)應(yīng)用中，GLD-137可在大氣壓下直接啟動運(yùn)行的特點(diǎn)使其能夠適應(yīng)啟停頻繁的工況要求。緊湊的170mm寬度和約26～29kg的重量便于設(shè)備集成和現(xiàn)場布置。

七、使用注意事項(xiàng)

為確保GLD-137的安全和長期穩(wěn)定運(yùn)行，用戶應(yīng)注意以下事項(xiàng)：

1. 真空泵油會隨著運(yùn)行而逐漸劣化，是導(dǎo)致泵性能不足的重要原因之一。請定期確認(rèn)油量減少和油質(zhì)污染情況，及時補(bǔ)充或更換油品，推薦使用SMR-100真空泵油。

2. 防回流閥機(jī)構(gòu)在停電等緊急情況下可防止泵油回流到真空槽側(cè)。當(dāng)泵長期停用時，請將吸入側(cè)恢復(fù)至大氣壓。

3. 在較高壓力下運(yùn)行時，排氣側(cè)會產(chǎn)生油霧，尤其在接近大氣壓運(yùn)行時更為明顯。用戶可根據(jù)實(shí)際需求考慮在排氣口加裝油霧過濾器。

4. GLD-137AA（三相型號）沒有內(nèi)置電機(jī)保護(hù)功能，用戶應(yīng)使用電機(jī)斷路器對電機(jī)進(jìn)行保護(hù)。GLD-137CC（單相型號）內(nèi)置了自動復(fù)位型過熱保護(hù)器，運(yùn)行中如果過熱保護(hù)器啟動，電機(jī)繞組溫度下降后會自動恢復(fù)運(yùn)行；為預(yù)防事故，請在過熱保護(hù)器啟動時立即拔下電源插頭。

5. 該泵不適合在10 kPa或更高的高吸入壓力下連續(xù)運(yùn)行。

6. 切勿堵塞排氣口或在排氣口側(cè)安裝阻塞氣體通道的設(shè)備。否則泵內(nèi)壓力升高可能導(dǎo)致泵體爆裂、油位計彈出或電機(jī)過載，存在爆炸風(fēng)險。

八、總結(jié)與展望

ULVAC愛發(fā)科GLD-137油回轉(zhuǎn)真空泵是一款集兩級排氣系統(tǒng)、強(qiáng)制供油機(jī)構(gòu)、氣鎮(zhèn)閥、防逆流機(jī)制和大號油液位計等多項(xiàng)高功能技術(shù)于一身的中小型規(guī)格油回轉(zhuǎn)真空泵。該泵以400W額定功率、135 L/min至162 L/min的有效排氣速度、0.67 Pa的極限壓力等核心性能指標(biāo)，在功耗與抽速之間取得了良好的平衡。

低振動是GLD-137最為突出的技術(shù)優(yōu)勢之一。通過直聯(lián)式傳動、精密動平衡轉(zhuǎn)子、優(yōu)化的泵體結(jié)構(gòu)設(shè)計以及創(chuàng)新的散熱結(jié)構(gòu)，GLD-137實(shí)現(xiàn)了實(shí)驗(yàn)室級振動控制水平，使其在電子顯微鏡前級泵、半導(dǎo)體制造設(shè)備和分析儀器等對振動高度敏感的應(yīng)用場景中具備顯著的競爭優(yōu)勢。

GLD-137AA與GLD-137CC兩種子型號的分型設(shè)計，分別覆蓋了三相工業(yè)和單相實(shí)驗(yàn)室兩種典型的配電環(huán)境，配合寬電壓馬達(dá)設(shè)計和CE/TUV/cTUVus等多重國際安全認(rèn)證，使該產(chǎn)品具備出色的全球化適應(yīng)能力和系統(tǒng)集成便利性。

隨著先進(jìn)制造、科學(xué)儀器和新能源產(chǎn)業(yè)對中真空泵性能要求的持續(xù)提升，兼具高功能配置與低振動優(yōu)勢的GLD-137，將在全球真空技術(shù)應(yīng)用市場中繼續(xù)扮演重要角色。ULVAC在油回轉(zhuǎn)真空泵領(lǐng)域的技術(shù)積淀與持續(xù)創(chuàng)新，為精密工業(yè)、科學(xué)研究及新興應(yīng)用領(lǐng)域提供了兼具性能、可靠性與使用便利性的中真空解決方案