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TOMOS-80XY 8 寸電動平臺雙面顯微系統(tǒng) 全自動對位檢測
日本 FLOVEL TOMOS-80XY 是面向大尺寸半導體工件開發(fā)的雙面顯微檢測設(shè)備，憑借大行程電控載臺與雙光路成像設(shè)計，實現(xiàn)自動化對位與尺寸檢測，多用于八英寸晶圓、大型封裝基板等產(chǎn)品的品質(zhì)管控工作。設(shè)備采用上下獨立光學光路，檢測全程無需翻轉(zhuǎn)工件，可同步采集正反兩面影像，既消除了二次裝夾帶來的定位偏差，也有效提升了檢測效率，適配實驗室抽樣與產(chǎn)線連續(xù)作業(yè)等不同場景。
設(shè)備核心配置 200×200mm 電動 XY 載物臺，專門匹配八英寸工件的檢測需求。平臺采用伺服電機配合滾珠絲杠傳動，外加光柵尺實現(xiàn)全閉環(huán)控制，運行平穩(wěn)，啟停無抖動和空程現(xiàn)象，重復定位精度穩(wěn)定在微米區(qū)間。操作人員可提前編輯檢測點位與移動路徑，設(shè)備按照矩陣軌跡完成分區(qū)掃描，自動完成整片工件的全域檢測，大幅降低人工操作強度。臺面經(jīng)過結(jié)構(gòu)強化，具備良好承重能力，可穩(wěn)定放置整片晶圓、陣列式元器件等被測物件。
Z 軸集成自動對焦組件，針對工件厚度差異、擺放高度偏差等情況，可快速完成對焦動作，保障各個檢測區(qū)域成像清晰。光學端可選配多款平場消色差物鏡，靈活切換觀測倍率；成像相機分為黑白、彩色兩種規(guī)格，分別對應(yīng)精密尺寸測量與外觀缺陷篩查。上下兩組光源支持獨立調(diào)光，可切換多種照明模式，有效弱化高反光、陰影等問題，讓工件線路、對位標記、輪廓邊緣等細節(jié)清晰呈現(xiàn)。
系統(tǒng)搭載完整的圖像校正程序，能夠補償雙光路之間的倍率、光軸及傾角誤差，保證正反面圖像精準疊加。借助圖像識別功能，設(shè)備自動提取特征邊緣，測算點位偏移、同軸度等關(guān)鍵數(shù)據(jù)，檢測數(shù)據(jù)可自動存儲留存，方便后續(xù)工藝復盤與質(zhì)量追溯。設(shè)備具備外接信號對接能力，既可以單獨放置使用，也能集成至自動化產(chǎn)線，搭建在線檢測工位。
目前該設(shè)備主要應(yīng)用在八英寸半導體晶圓對位檢測、功率器件封裝校驗、MEMS 元件及光學基板篩查等領(lǐng)域。依托高精度運動控制、雙面同步成像與自動化運行能力，設(shè)備可穩(wěn)定完成微米級測量工作，幫助生產(chǎn)環(huán)節(jié)把控裝配與對位精度，降低不良品占比，是半導體自動化質(zhì)檢環(huán)節(jié)中實用性較強的配套設(shè)備。
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