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日本坂本電機(jī)SEM SELN-001B 數(shù)顯水平儀 簡介
SELN-001B 是日本坂本電機(jī)原裝出品分體式超高精密雙軸數(shù)顯水平儀，精密制造、半導(dǎo)體設(shè)備校準(zhǔn)行業(yè)標(biāo)配機(jī)型，分體探頭搭配觸屏主機(jī)，測值微米級精準(zhǔn)，專門用來精密調(diào)平設(shè)備基準(zhǔn)面、檢測工件傾斜角度，多用于無塵車間、精密機(jī)床、光學(xué)設(shè)備點(diǎn)檢校準(zhǔn)。
一、技術(shù)規(guī)格
測量方式：X/Y 雙軸同步檢測，分體傳感器有線 2 米連線測量量程：X/Y 軸 ±0.3°測量精度：±0.001°（約 17.5μm/m）顯示分辨率：0.0002°，屏幕最小顯示 0.0001°零點(diǎn)重復(fù)性：≤±0.001°響應(yīng)速度：≤50ms，讀數(shù)實時跟進(jìn)探頭規(guī)格：Φ50×19mm 不銹鋼底座，單探頭 70g主機(jī)規(guī)格：96×35×145mm，整機(jī) 280g，4.3 英寸彩色觸控屏供電方式：4 節(jié) 5 號干電池 / DC6V 適配器雙供電適用溫度：-10℃~+50℃，適配恒溫潔凈廠房單位切換：°、μm/m、度分秒一鍵切換，三檔量程可調(diào)
二、工作原理
儀器搭載高精度 MEMS 電容傳感模組，探頭貼附被測平面后，內(nèi)部傳感器捕捉 X、Y 兩個方向細(xì)微傾角變化，經(jīng)過 32 位處理器 + 14 位模數(shù)轉(zhuǎn)換運(yùn)算，直接把傾斜數(shù)值換算成數(shù)據(jù)在觸屏顯示；自帶濾波與電磁抗干擾算法，車間震動、弱電干擾環(huán)境下數(shù)值不飄移，不用人工肉眼判讀水泡，全數(shù)字化讀數(shù)。
三、現(xiàn)場使用優(yōu)勢
1、雙軸同測，調(diào)平效率翻倍
傳統(tǒng)單軸水平儀需要來回測 X、Y 兩個方向、反復(fù)微調(diào)，這款一次擺放就能同步讀取兩軸傾角，一次性完成找平，調(diào)校工時直接節(jié)省一半，新手也能快速調(diào)好基準(zhǔn)。
2、分體小巧探頭，攻克狹小測量死角
圓形迷你探頭體積小、重量輕，能伸進(jìn)設(shè)備腔體、機(jī)臺夾縫、晶圓臺窄縫等常規(guī)水平儀放不下的位置，密閉設(shè)備內(nèi)部點(diǎn)位也能輕松測數(shù)據(jù)。
3、觸屏智能設(shè)定，合格范圍一鍵管控
觸屏可自定義合格公差區(qū)間，實測數(shù)值達(dá)標(biāo)屏幕提示 GOOD、超差提示 NG，不用人工換算比對，批量設(shè)備驗收、產(chǎn)線點(diǎn)檢標(biāo)準(zhǔn)化作業(yè)更省心。
4、抗干擾穩(wěn)定，復(fù)雜工況數(shù)據(jù)靠譜
內(nèi)置電磁屏蔽 + 振動補(bǔ)償，半導(dǎo)體射頻環(huán)境、機(jī)床啟停震動工況下讀數(shù)穩(wěn)定，零點(diǎn)不容易偏移，長期反復(fù)測量重復(fù)性好。
5、多單位自由切換，適配不同行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
角度、毫米每米多單位一鍵切換，機(jī)械加工、光學(xué)、半導(dǎo)體不同行業(yè)公差標(biāo)準(zhǔn)都能適配，數(shù)據(jù)可留存做驗收臺賬。
四、適用場景
半導(dǎo)體：光刻機(jī)、鍵合機(jī)、CMP 拋光臺、真空腔體水平校準(zhǔn)
精密加工：五軸機(jī)床、磨床、三坐標(biāo)工作臺導(dǎo)軌調(diào)平
光學(xué)儀器：光學(xué)平臺、檢測設(shè)備、鏡頭裝配基準(zhǔn)校正
實驗室：精密量具校驗、恒溫試驗臺水平核查
自動化設(shè)備：非標(biāo)設(shè)備機(jī)架、伺服平臺傾角調(diào)試
五、日常維護(hù)
日常保持探頭底座清潔無磕碰，避免硬質(zhì)硬物刮傷基準(zhǔn)平面；閑置時斷電存放干燥環(huán)境；建議每年返廠校準(zhǔn)一次，整體故障率低，長期使用精度穩(wěn)定。
坂本 SELN-001B 是工業(yè)精密級分體式數(shù)顯水平儀，主打微米級高精度、雙軸同步測量、狹小空間適配，沒有多余冗余功能，專攻高精設(shè)備基準(zhǔn)調(diào)平，是半導(dǎo)體與精密機(jī)械行業(yè)認(rèn)可度很高的進(jìn)口傾角測量儀器。
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