一、多級爪式干泵（荏原 EV-SA/EV-A/EV-S/EV-X）

適用場景

1. 半導(dǎo)體潔凈輕制程

   Load-Lock 晶圓傳送腔、PVD 濺射腔體預(yù)抽、離子注入機前級、晶圓電鍍設(shè)備、半導(dǎo)體檢測機臺；

2. 實驗室 & 精密儀器

   SEM 掃描電鏡、質(zhì)譜儀 (GC-MS/LC-MS)、小型鍍膜機、高校真空實驗、冷凍干燥；

3. 小產(chǎn)能泛半導(dǎo)體

   MiniLED 封裝、小型研發(fā) PECVD、光學(xué)鍍膜。

選型口訣：潔凈小腔體、少腐蝕、空間小→選爪式風(fēng)冷 EV-SA

二、羅茨干式干泵（荏原 EV-M 系列，多級羅茨轉(zhuǎn)子、水冷、超大抽速）

適用場景

1. 半導(dǎo)體重載量產(chǎn)制程

   HDP 高密度刻蝕、PECVD/LPCVD、ALD 原子層沉積、RTP 快速退火、擴散爐、大腔體 CVD 粗抽；適配大量工藝尾氣 (SF?、O?、鹵化物)；

2. 面板 / 光伏大產(chǎn)線

   LCD/OLED 面板鍍膜、HJT 管式 PECVD、硅片燒結(jié)爐整線抽氣；

3. 化工量產(chǎn)

   真空蒸餾、大型真空熱處理爐、大容量負壓反應(yīng)釜。

選型口訣：大腔體、大排氣量、快速破真空→EV-M 羅茨干泵

三、變螺距螺桿干泵（荏原 EST/ESA 防腐螺桿）

適用場景

1. 強腐蝕半導(dǎo)體工藝

   MOCVD 外延、SiC/GaN 第三代半導(dǎo)體刻蝕、含 HF/HBr/Cl?鹵化氣體制程、干法去膠灰化（大量腐蝕副產(chǎn)物）；

2. 精細化工 / 醫(yī)藥

   原料藥真空濃縮、溶劑回收、易燃易爆有機氣體抽取；

3. 鋰電 / 新材料

   負極材料燒結(jié)、電解液負壓脫水。

選型口訣：強酸腐蝕、高水汽、粘稠粉塵多→EST 螺桿防腐款

四、渦旋干式干泵（微型小功率，市面小型國產(chǎn) / 進口）

適用場景

半導(dǎo)體工藝選型速查表

補充搭配邏輯

1. 超高真空機組：干泵（前級預(yù)抽）+ 分子泵，PVD / 離子注入可達；

2. 惡劣粉塵工況：螺桿 / 羅茨 + 前置除塵 + 氮氣反吹；潔凈輕載優(yōu)先爪式風(fēng)冷。